一种DMD光刻投影镜头的制作方法

本技术涉及光刻机镜头，特别涉及一种dmd光刻投影镜头。

背景技术：

1、dmd数字无掩模光刻系统是成熟的现有技术，新一代基于数字微镜阵列(digitalmicro-mirror device，dmd)空间光调制器的数字无掩模光刻技术大幅简化了传统光刻掩膜制作工艺的繁琐流程，使得新犁数字光刻掩膜的制作变得简单易控，显著提升了光刻图形的复杂度，并进一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位，位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平，同时，倾斜偏差度要小于一微米。现有技术的dmd光刻投影镜头主要存在镜片安装同轴度差的问题，导致位置精度达不到使用要求。

2、所以，针对现有技术存在的不足，有必要设计一种dmd光刻投影镜头，以解决上述问题。

技术实现思路

1、为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种dmd光刻投影镜头。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种dmd光刻投影镜头，包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。

3、优选的技术方案为：所述气垫圈采用圆环形气囊结构并包括气囊主体，所述气囊主体内圈形成有和所述镜片外圈相互契合的镜片支撑环，所述气囊主体外圈形成有和所述环形安装槽内圈相互契合的气垫圈支撑环。

4、优选的技术方案为：所述气囊主体上设有连通气囊内部的充放气阀。

5、优选的技术方案为：所述镜筒外壁上设有连通所述环形安装槽的窗口，所述窗口和所述充放气阀匹配设置。

6、优选的技术方案为：所述窗口配置有可开合的翻盖。

7、由于上述技术方案运用，本实用新型具有的有益效果为：

8、本实用新型提供的一种dmd光刻投影镜头，镜片通过气垫圈安装于镜筒中，气垫圈采用圆环形气囊结构，通过充放气实现镜片的装配与拆卸，并可保证多块镜片之间同轴布置，其结构简单，使用方便，解决了目前dmd光刻投影镜头中的镜片同轴度难以保证一致的问题。

技术特征：

1.一种dmd光刻投影镜头，其特征在于：包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。

2.根据权利要求1所述的一种dmd光刻投影镜头，其特征在于：所述气垫圈采用圆环形气囊结构并包括气囊主体，所述气囊主体内圈形成有和所述镜片外圈相互契合的镜片支撑环，所述气囊主体外圈形成有和所述环形安装槽内圈相互契合的气垫圈支撑环。

3.根据权利要求2所述的一种dmd光刻投影镜头，其特征在于：所述气囊主体上设有连通气囊内部的充放气阀。

4.根据权利要求3所述的一种dmd光刻投影镜头，其特征在于：所述镜筒外壁上设有连通所述环形安装槽的窗口，所述窗口和所述充放气阀匹配设置。

5.根据权利要求4所述的一种dmd光刻投影镜头，其特征在于：所述窗口配置有可开合的翻盖。

技术总结
本技术提供一种DMD光刻投影镜头，包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。本技术提供的一种DMD光刻投影镜头，镜片通过气垫圈安装于镜筒中，气垫圈采用圆环形气囊结构，通过充放气实现镜片的装配与拆卸，并可保证多块镜片之间同轴布置，其结构简单，使用方便，解决了目前DMD光刻投影镜头中的镜片同轴度难以保证一致的问题。

技术研发人员：刘华,邰赛,钱琪
受保护的技术使用者：苏州点赞光学科技有限公司
技术研发日：20230228
技术公布日：2024/1/14