一种光栅飞秒光刻机的制作方法

本申请涉及光栅尺蚀刻，尤其涉及一种光栅飞秒光刻机。

背景技术：

1、光栅尺是一种利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置，可用作直线位移或者角位移的检测；由于其具备量程长、精度高、灵活易用等优点，应用较广。光栅尺制作时需要制作光栅，也即在物料(如金属带)上形成一条一条明暗交替的栅线，才能被读数头读取。

2、光栅尺的制造方法可以分为刻划法和光刻法；刻划法是使用激光对金属直接进行刻划；光刻法采用曝光显影的方式在物料上刻出光栅。

3、其中，现有的刻划法在加工完后，需等待物料重新上下料而无法连续生产，导致生产效率较低；而光刻法需要用到掩膜板，在涉及图案变化时，则需要使用不同的掩膜板，导致在需生产不同图案的光栅尺时的灵活性较低。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种光栅飞秒光刻机，用于解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。

2、为达到上述技术目的，本申请提供一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；

3、所述支撑台固定于所述装置主体上；

4、所述振镜组件沿x轴可滑动设置于所述支撑台上；

5、两个所述载物台均沿y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。

6、进一步地，所述振镜组件包括：z轴丝杆座与振镜；

7、所述z轴丝杆座沿x轴可滑动设置于所述支撑台上；

8、所述振镜沿z轴可滑道设置于所述z轴丝杆座上。

9、进一步地，所述振镜组件还包括：转动驱动件；

10、所述振镜可转动连接所述z轴丝杆座；

11、所述转动驱动件传动连接所述振镜，用于根据所述振镜组件沿x轴的移动速度和所述载物台沿y轴的移动速度带动所述振镜转动，以使所述振镜按预设路径加工栅线。

12、进一步地，所述振镜组件还包括：抽风罩；

13、所述抽风罩固定连接所述振镜，且位于所述振镜下方。

14、进一步地，所述装置主体上设置有两道沿y轴方向平行并列设置的滑轨；

15、两个所述载物台分别可滑动设置于两道所述滑轨上。

16、进一步地，两个载物台的外侧均连接有抵接所述装置主体的导向滑轮。

17、进一步地，所述装置主体上设置有防护壳；

18、所述支撑台位于所述防护壳内部；

19、所述滑轨部分位于所述防护壳内部，另一部分伸出所述防护壳外。

20、进一步地，所述载物台上设置有多个用于向物料提供吸力的吸附孔。

21、进一步地，所述装置主体上设置有大理石平台；

22、所述支撑台与载物台均设置于所述大理石平台上。

23、进一步地，还包括：旋转dd平台；

24、所述旋转dd平台设置于所述装置主体上，且位于所述支撑台下方，用于固定圆环形物料以加工圆环形光栅尺。

25、从以上技术方案可以看出，本申请提供一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；所述支撑台固定于所述装置主体上；所述振镜组件沿x轴可滑动设置于所述支撑台上；两个所述载物台均沿y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。本方案提供的光栅飞秒光刻机通过设置两个载物台，使得在应用中两个载物台可以交替使用，从而振镜组件无需等待载物台上下料的时间而实现连续性生产，可以有效提高作业效率，有效解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。

技术特征：

1.一种光栅飞秒光刻机，其特征在于，包括：装置主体(1)、两个载物台(2)、支撑台(3)与振镜组件(4)；

2.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)包括：z轴丝杆座(41)与振镜(42)；

3.根据权利要求2所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)还包括：转动驱动件；

4.根据权利要求2或3所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述振镜组件(4)还包括：抽风罩(43)；

5.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述装置主体(1)上设置有两道沿y轴方向平行并列设置的滑轨(12)；

6.根据权利要求5所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，两个载物台(2)的外侧均连接有抵接所述装置主体(1)的导向滑轮(21)。

7.根据权利要求5所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述装置主体(1)上设置有防护壳(13)；

8.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述载物台(2)上设置有多个用于向物料提供吸力的吸附孔。

9.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，所述装置主体(1)上设置有大理石平台(11)；

10.根据权利要求1所述的光栅飞秒光刻机，其特征在于，还包括：旋转dd平台(5)；

技术总结
本申请公开了一种光栅飞秒光刻机，包括：装置主体、两个载物台、支撑台与振镜组件；所述支撑台固定于所述装置主体上；所述振镜组件沿X轴可滑动设置于所述支撑台上；两个所述载物台均沿Y轴设置于所述装置主体上，且均设置于所述支撑台下方。本方案提供的光栅飞秒光刻机通过设置两个载物台，使得在应用中两个载物台可以交替使用，从而振镜组件无需等待载物台上下料的时间而实现连续性生产，可以有效提高作业效率，有效解决现有的光栅尺制造方法无法兼顾可连续生产且灵活性较高的问题。

技术研发人员：陶雄兵,蒋小君
受保护的技术使用者：东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司
技术研发日：20230306
技术公布日：2024/1/13