一种掩模版保护膜框卸除装置的制作方法

本技术涉及掩模版，尤其涉及一种掩模版保护膜框卸除装置。

背景技术：

1、掩模版保护膜用于保护掩模版，防止在使用过程中颗粒掉落到掩模版版面上，从而影响曝光图形的精确性，同时减少划伤版面的风险，延长掩模版的使用寿命。

2、在实际贴膜工序,由于环境、人员等因素，在贴膜过程中会有颗粒掉落，在出货前颗粒检测时不合格被要求返工;同时，掩模在晶圆厂使用多次以及储存环境的影响，保护膜会破损以及被污染，需要进行需要将保护膜拆除、清洗后再进行贴膜工序。

3、目前这样的移除几乎仅通过手工进行。去除保护膜框一般方式是人工用简易撬棒直接撬膜，在操作过程中，由于胶的粘附力极大，利用人工直接去除时，操作不准确性较大，容易对掩膜版造成伤害，形成缺陷导致掩膜版的报废。并且较容易在掩模版上留有残胶。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种掩模版保护膜框卸除装置。

2、为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种掩模版保护膜框卸除装置，包括基座和设置其上的滑台、固定平台、驱动组件、升降组件和加热装置，所述固定平台用于承载产品并设置在所述滑台上，所述升降组件设置在所述驱动组件上，在所述升降组件上设置有分离件；

3、所述滑台包括滑轨和设置其上的支撑板，所述支撑板与所述滑轨滑动连接并能带动所述固定平台沿第一方向移动，所述驱动组件设置在所述滑轨的一端并能驱动所述升降组件沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直设置；

4、所述升降组件在第二方向上对称设置有两个，包括升降台和设置其上的悬臂，所述分离件设置在所述悬臂上并与其滑动连接，所述悬臂与所述滑轨平行设置且位于其上方，所述加热装置设置在所述基座上且位于所述悬臂下方，且加热装置位于所述固定平台下方，并与所述掩膜版保持一定距离。

5、进一步的，所述固定平台包括底板和设置其上的承载座和夹具，在所述底板和所述支撑板上均对应所述加热装置设置有开口；

6、所述承载座在所述开口四周设置有多个，所述夹具在多个所述承载座外圈设置有多个。

7、进一步的，在所述承载座上设置有第一限位槽，所述第一限位槽包括沿水平方向设置的第一弧面和第二弧面；

8、所述第一弧面和所述第二弧面相连接，且均朝向所述承载座外侧凸起设置。

9、进一步的，所述夹具固定在安装座上，并通过设置其上的压头将所述产品掩模版压固在所述承载座上；

10、在所述压头上设置有第二限位槽，所述压头通过所述第二限位槽与所述产品掩模版的边沿棱角相抵接。

11、进一步的，在所述滑台处还设置有第一定位块和第二定位块，所述加热装置、所述第一定位块和所述第二定位块依次沿第一方向设置在两所述滑轨之间；

12、所述第一定位块靠近所述加热装置，所述第二定位块位于所述滑轨远离所述升降组件的一端，在所述支撑板上对应所述第一定位块和所述第二定位块设置有定位锁扣。

13、进一步的，所述驱动组件包括沿第二方向设置的导轨，对应所述导轨沿其长度方向设置有第一固定座、第二固定座和第三固定座；

14、在所述第一固定座和所述第二固定座之间设置有第一丝杆和第一连接座，在所述第二固定座和所述第三固定座之间设置有第二丝杆和第二连接座，所述第一连接座和所述第二连接座与所述导轨滑动连接，且分别与所述第一丝杆和所述第二丝杆螺接；

15、两所述升降组件分别设置在所述第一连接座和所述第二连接座上。

16、进一步的，所述第一丝杆的两端分别与所述第一固定座和所述第二固定座转动连接，所述第二丝杆的两端分别与所述第二固定座和所述第三固定座转动连接；

17、在所述第一固定座和所述第三固定座上分别设置有第一转轮和第二转轮，所述第一转轮和所述第二转轮分别与所述第一丝杆和所述第二丝杆同轴转动。

18、进一步的，所述升降组件还包括竖直设置的导向柱和第三丝杆，所述升降台与所述导向柱滑动连接，并与所述第三丝杆螺接。

19、进一步的，所述分离件包括滑块、连接杆和撬针，所述滑块与所述悬臂滑动连接，所述连接杆竖直设置在所述滑块上，所述撬针设置在所述连接杆远离所述滑块的一端，且朝向所述固定平台设置。

20、进一步的，所述分离件对应框架上工艺孔在所述悬臂上设置有多个。

21、本实用新型的有益效果为：

22、在本申请中，将产品置于固定平台上，并固定在滑台上移至卸除工位，通过加热装置对产品中掩模版与保护膜的粘连部位进行均匀加热，并能够精确调温，有利于保护膜的顺利脱离，减少胶在掩模版上的残留。并且独特的固定平台支撑承载座，有效避免在掩模版表面留下印迹。

23、通过升降组件调节分离件的竖直高度，配合分离件自身沿悬臂长度方向移动，使分离件对准保护膜框架上的工艺孔，再通过驱动组件驱动升降组件并带动其上的分离件朝向产品移动，使分离件与框架上的工艺孔相扣合，撬动保护膜框上的框架与掩模版脱离，且掩模版可以由滑台滑动脱离分离工位，便于产品取放。

24、根据保护膜框架上工艺孔完成分离件的初次定位后，在后续产品卸除保护膜框时能够通过已知定位状态完成再次精准定位，实现分离件与框架上工艺孔的快速插拔；掩模版在保护膜框脱离后借助滑台便于移动，避免掩模版受到伤害。

技术特征：

1.一种掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，包括基座(1)和设置其上的滑台(2)、固定平台(3)、驱动组件(4)、升降组件(5)和加热装置(7)，所述固定平台(3)用于承载产品(8)并设置在所述滑台(2)上，所述升降组件(5)设置在所述驱动组件(4)上，在所述升降组件(5)上设置有分离件(6)；

2.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述固定平台(3)包括底板(31)和设置其上的承载座(32)和夹具(33)，在所述底板(31)和所述支撑板(22)上均对应所述加热装置(7)设置有开口(311)；

3.根据权利要求2所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，在所述承载座(32)上设置有第一限位槽(321)，所述第一限位槽(321)包括沿水平方向设置的第一弧面(321a)和第二弧面(321b)；

4.根据权利要求2所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述夹具(33)固定在安装座(34)上，并通过设置其上的压头(331)将所述产品(8)掩模版(81)压固在所述承载座(32)上；

5.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，在所述滑台(2)处还设置有第一定位块(23)和第二定位块(24)，所述加热装置(7)、所述第一定位块(23)和所述第二定位块(24)依次沿第一方向设置在两所述滑轨(21)之间；

6.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述驱动组件(4)包括沿第二方向设置的导轨(41)，对应所述导轨(41)沿其长度方向设置有第一固定座(42)、第二固定座(43)和第三固定座(44)；

7.根据权利要求6所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述第一丝杆(45)的两端分别与所述第一固定座(42)和所述第二固定座(43)转动连接，所述第二丝杆(47)的两端分别与所述第二固定座(43)和所述第三固定座(44)转动连接；

8.根据权利要求6所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述升降组件(5)还包括竖直设置的导向柱(53)和第三丝杆(54)，所述升降台(51)与所述导向柱(53)滑动连接，并与所述第三丝杆(54)螺接。

9.根据权利要求1所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述分离件(6)包括滑块(61)、连接杆(62)和撬针(63)，所述滑块(61)与所述悬臂(52)滑动连接，所述连接杆(62)竖直设置在所述滑块(61)上，所述撬针(63)设置在所述连接杆(62)远离所述滑块(61)的一端，且朝向所述固定平台(3)设置。

10.根据权利要求9所述的掩模版保护膜框卸除装置，其特征在于，所述分离件(6)对应所述产品(8)框架(82)上工艺孔(821)在所述悬臂(52)上设置有多个。

技术总结
本技术涉及掩模版技术领域，尤其涉及一种掩模版保护膜框卸除装置，其中，固定平台和升降组件分别设置在滑台和驱动组件上，驱动组件设置在滑台一端，并能驱动升降组件沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直设置；升降组件包括升降台和设置其上的悬臂，分离件设置在悬臂上并能沿其长度方向移动。将产品置于固定平台上，并固定在滑台上移至卸除工位，通过升降组件调节分离件的竖直高度，配合分离件自身沿悬臂长度方向移动，使分离件对准保护膜框架上的工艺孔，再通过驱动组件驱动升降组件并带动其上的分离件朝向产品移动，使分离件与框架上的工艺孔相扣合，撬动保护膜框使其与掩模版脱离，掩模版可以由滑台滑动脱离卸除工位，便于产品取放。

技术研发人员：潘国军
受保护的技术使用者：常州兰利电器科技有限公司
技术研发日：20230413
技术公布日：2024/1/13