一种光刻机取片装置的制作方法

本技术涉及光刻机辅助装置，具体为一种光刻机取片装置。

背景技术：

1、在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中，需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出，而然后在传递给其他的送片机构，最后将硅片送光刻工位光刻，光刻完成后，又需要通过取片装置将硅片回送至片盒中。

2、根据中国专利cn212749519u一种光刻机的取片装置中具备的，在需要取片时，可按下启闭开关，从而可启动电动滑台，通过调速器可调节电动滑台的滑动速度，调节完毕后，电动滑台可带动连接块向前滑动，从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动，拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片，并将基片拨动至支撑架板上，防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦，达到防滑的效果，从而完成取片，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题。

3、上述该取出方式在取出过程易发生硅片发生磨损的情况，导致硅片发生损坏造成生产成本提高，而现有采用吸盘取出的装置中，其吸盘顶部的导压管易发生妨碍其它设备工作的情况，导致硅片在取出时效率不高。故而提出一种光刻机取片装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻机取片装置，具备取出方便，硅片不易发生磨损损坏的情况等优点，解决了现有硅片在取出时易发生磨损损坏，取出装置易发生干扰其它设备运行的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机取片装置，包括光刻机工作台，所述光刻机工作台的左右两侧均固定连接有液压杆，两个所述液压杆活动端的顶部固定连接有同一顶板，所述顶板的底部固定连接有数量为两个连接块，右侧所述连接块的右侧外表面固定连接有电动机，所述电动机输出轴的一端固定连接有螺纹杆，左侧所述连接块的内部转动连接有转动块，所述螺纹杆远离电动机的一端与转动块固定连接，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有套筒，所述套筒的顶部固定连接有导向块，所述套筒的底部固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有数量网两个的电动推杆，两个所述电动推杆的活动端固定连接有同一安装板，所述安装板的顶部设置有取片设备本体，两个所述电动推杆相离一侧均固定连接有安装板二，两个所述安装板二的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块的底部均固定连接有弹簧，两个所述弹簧的底部均固定连接有环块。

3、进一步，所述光刻机工作台的左右两侧均固定连接有固定块，两个所述液压杆均通过紧固螺栓与两个固定块固定连接，所述顶部顶板的形状为长方形板。

4、进一步，两个所述连接块的内部均开设有传动轴孔，所述螺纹杆的两端均通过传动轴孔在两个连接块的内部旋转，左侧所述连接块的内部开设有转动空腔，所述转动块通过转动空腔在左侧所述连接块的内部旋转。

5、进一步，所述套筒的内部开设有螺纹杆孔，所述螺纹杆通过螺纹杆孔与套筒连接，所述顶板的内部开设有导向槽，所述导向块通过导向槽在顶板的内部滑动。

6、进一步，所述连接板的形状均为方形板，所述安装板的内部固定连接有数量为两个的紧固螺杆，所述安装板的内表面通过紧固螺栓固定连接有电动滑台，所述取片设备本体的输出端设置有数量为两个的吸嘴本体。

7、进一步，所述取片设备本体的输出端设置有数量为四个的吸嘴本体，四个所述吸嘴本体的顶部均设置有安装架，四个所述吸嘴本体分别以每两个为一组对称分布于两个安装架的底部。

8、进一步，两个所述安装板二的形状均为长方形板，两个所述安装板二的内部均开设有滑块槽，两个所述滑块均通过滑块槽为两个安装板二的内部滑动。

9、进一步，两个所述滑块的形状均为t字形滑块，两个所述环块的内部均设置有海绵垫，所述取片设备本体的导管均通过海绵垫与环块滑动连接。

10、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

11、1、该光刻机取片装置，当硅片需要放置在光刻机工作台或是从顶部取走时，通过启动液压杆带动吊板上下移动，同时启动电动机带动螺纹杆在连接块的内部旋转，使得套筒在有限位块与顶板滑动连接的情况下，套筒由旋转运动变为左右移动，从而让连接板移动到硅片的顶部，再启动两个电动推杆使得取片设备本体向下移动，并且取片设备本体带动四个吸嘴本体在有电动滑台的情况下，调整到硅片的表面将其吸取起来，放置到设定的位置即可，从而使得硅片在取出时不易磨损损坏。

12、2、该光刻机取片装置，当取片设备本体的导管在运动时，两个滑块则通过弹簧的连接，可以自由来回移动，弹簧则带动环块上下移动，从而保证导管在跟随安装架的移动时，尽量避免发生随意乱晃的情况，干扰到其它设备的正常工作即可。当电动滑台在安装到安装板的内表面时，可以通过紧固螺杆进行连接固定，并在损坏或是维修时方便更换下来，使得本装置的实用性更强。

技术特征：

1.一种光刻机取片装置，包括光刻机工作台(1)，其特征在于：所述光刻机工作台(1)的左右两侧均固定连接有液压杆(2)，两个所述液压杆(2)活动端的顶部固定连接有同一顶板(3)，所述顶板(3)的底部固定连接有数量为两个连接块(4)，右侧所述连接块(4)的右侧外表面固定连接有电动机(5)，所述电动机(5)输出轴的一端固定连接有螺纹杆(6)，左侧所述连接块(4)的内部转动连接有转动块(7)，所述螺纹杆(6)远离电动机(5)的一端与转动块(7)固定连接，所述螺纹杆(6)的外表面螺纹连接有套筒(8)，所述套筒(8)的顶部固定连接有导向块(9)，所述套筒(8)的底部固定连接有连接板(10)，所述连接板(10)的底部固定连接有数量网两个的电动推杆(11)，两个所述电动推杆(11)的活动端固定连接有同一安装板(12)，所述安装板(12)的顶部设置有取片设备本体(13)，两个所述电动推杆(11)相离一侧均固定连接有安装板二(15)，两个所述安装板二(15)的内部均滑动连接有滑块(16)，两个所述滑块(16)的底部均固定连接有弹簧(17)，两个所述弹簧(17)的底部均固定连接有环块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：所述光刻机工作台(1)的左右两侧均固定连接有固定块，两个所述液压杆(2)均通过紧固螺栓与两个固定块固定连接，所述顶板(3)的形状为长方形板。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：两个所述连接块(4)的内部均开设有传动轴孔，所述螺纹杆(6)的两端均通过传动轴孔在两个连接块(4)的内部旋转，左侧所述连接块(4)的内部开设有转动空腔，所述转动块(7)通过转动空腔在左侧所述连接块(4)的内部旋转。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：所述套筒(8)的内部开设有螺纹杆孔，所述螺纹杆(6)通过螺纹杆孔与套筒(8)连接，所述顶板(3)的内部开设有导向槽，所述导向块(9)通过导向槽在顶板(3)的内部滑动。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：所述连接板(10)的形状均为方形板，所述安装板(12)的内部固定连接有数量为两个的紧固螺杆，所述安装板(12)的内表面通过紧固螺栓固定连接有电动滑台，所述取片设备本体(13)的输出端设置有数量为两个的吸嘴本体(14)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：所述取片设备本体(13)的输出端设置有数量为四个的吸嘴本体(14)，四个所述吸嘴本体(14)的顶部设置有安装架，四个所述吸嘴本体(14)分别以每两个为一组对称分布于两个安装架的底部。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：两个所述安装板二(15)的形状均为长方形板，两个所述安装板二(15)的内部均开设有滑块槽，两个所述滑块(16)均通过滑块槽为两个安装板二(15)的内部滑动。

8.根据权利要求1所述的一种光刻机取片装置，其特征在于：两个所述滑块(16)的形状均为t字形滑块，两个所述环块(18)的内部均设置有海绵垫，所述取片设备本体(13)的导管均通过海绵垫与环块(18)滑动连接。

技术总结
本技术涉及一种光刻机取片装置，包括光刻机工作台，光刻机工作台的左右两侧均固定连接有液压杆，两个液压杆活动端的顶部固定连接有同一顶板，顶板的底部固定连接有数量为两个连接块。该光刻机取片装置，当硅片需要放置在光刻机工作台或是从顶部取走时，通过启动液压杆带动吊板上下移动，同时启动电动机带动螺纹杆在连接块的内部旋转，使得套筒在有限位块与顶板滑动连接的情况下，套筒由旋转运动变为左右移动，从而让连接板移动到硅片的顶部，再启动两个电动推杆使得取片设备本体向下移动，并且取片设备本体带动四个吸嘴本体在有电动滑台的情况下，调整到硅片的表面将其吸取起来，放置到设定的位置即可，从而使得硅片在取出时不易磨损损坏。

技术研发人员：邵玉成
受保护的技术使用者：九奕半导体设备（上海）有限公司
技术研发日：20230426
技术公布日：2024/1/15