一种便于维护的光刻机的制作方法

本技术涉及光刻机维护，具体为一种便于维护的光刻机。

背景技术：

1、光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序光刻的意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

2、经检索，专利申请号为cn202021107984.0的申请书中，公开了一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门，所述光刻机本体正表面的两侧均固定连接有固定结构。本实用新型通过固定结构起到了对柜门的固定和释放，进行使用六角扳手操作固定结构，将柜门进行释放，即可将柜门开启。上述申请文件通过设置相应组件来替代螺栓进行柜门启闭，但是仍采用旋动式启闭，占用空间相对较大，并且上述组件仍需手动旋动进行启闭。

3、因此，我们提出了一种便于维护的光刻机。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种便于维护的光刻机，解决了现有旋动式柜门占用空间较大同时需要额外启闭操作进而导致实用性较低的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种便于维护的光刻机，包括光刻机，且光刻机前侧的槽口上装配有第一挡门和第二挡门；

3、所述光刻机的前侧装配有套座，所述套座中套装有第一挡门，所述第一挡门中套装有第二挡门，所述第一挡门与第二挡门均为u形挡门，且光刻机的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门内侧的卡座。

4、优选的，所述套座为u型座，所述套座的侧壁上开设有主卡槽，且第一挡门的右侧壁活动套装在套座内侧的主卡槽中。

5、优选的，所述第一挡门的左侧壁上开设有副卡槽，且第二挡门的右侧壁活动套装在副卡槽中。

6、优选的，所述光刻机前壁的外侧开设有两组位置相对的第一滑槽，且第一滑槽中滑动套装有第一挡门。

7、优选的，所述光刻机前壁的外侧开设有两组位置相对的第二滑槽，且第二滑槽中滑动套装有第一挡门。

8、优选的，所述第二挡门的外壁上固定安装有拉柄，所述第二挡门由铁质材料制作而成，且卡座的顶侧固定套装有与第二挡门内侧壁相接触的磁板。

9、优选的，所述光刻机的前壁上固定安装有位于两组槽门之间的套座，所述套座为倒u型座，且套座的两个侧壁上均开设有主卡槽。

10、本实用新型提供了一种便于维护的光刻机。具备以下有益效果：

11、该便于维护的光刻机，通过光刻机外侧第一挡门与第二挡门的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门，推动其至第一挡门内侧的副卡槽中，同时将第一挡门推送纸套座内侧的主卡槽中，完成柜门的压缩，以便于露出槽门，不占用额外空间，同时无需手动对其进行启闭，只需通过磁板与第二挡门间的吸引力即可达到对其进行限位的效果，同时其本身横向套装的设置也具备一定的限位效果，解决了现有旋动式柜门占用空间较大同时需要额外启闭操作进而导致实用性较低的问题。

技术特征：

1.一种便于维护的光刻机，包括光刻机（1），且光刻机（1）前侧的槽口上装配有第一挡门（3）和第二挡门（4）；

2.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述套座（2）为u型座，所述套座（2）的侧壁上开设有主卡槽（6），且第一挡门（3）的右侧壁活动套装在套座（2）内侧的主卡槽（6）中。

3.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述第一挡门（3）的左侧壁上开设有副卡槽（11），且第二挡门（4）的右侧壁活动套装在副卡槽（11）中。

4.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述光刻机（1）前壁的外侧开设有两组位置相对的第一滑槽（8），且第一滑槽（8）中滑动套装有第一挡门（3）。

5.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述光刻机（1）前壁的外侧开设有两组位置相对的第二滑槽（9），且第二滑槽（9）中滑动套装有第一挡门（3）。

6.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述第二挡门（4）的外壁上固定安装有拉柄（10），所述第二挡门（4）由铁质材料制作而成，且卡座（5）的顶侧固定套装有与第二挡门（4）内侧壁相接触的磁板（7）。

7.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述光刻机（1）的前壁上固定安装有位于两组槽门之间的套座（2），所述套座（2）为倒u型座，且套座（2）的两个侧壁上均开设有主卡槽（6）。

技术总结
本技术公开了一种便于维护的光刻机，属于光刻机维护领域，所要解决的问题是现有光刻机柜门启闭操作繁琐且占用空间较大的问题；采用的技术方案如下：该方案包括光刻机，且光刻机前侧的槽口上装配有第一挡门和第二挡门；所述光刻机的前侧装配有套座，所述套座中套装有第一挡门，所述第一挡门中套装有第二挡门，且光刻机的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门内侧的卡座；该便于维护的光刻机，通过光刻机外侧第一挡门与第二挡门的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门，推动其至第一挡门内侧的副卡槽中，同时将第一挡门推送纸套座内侧的主卡槽中，完成柜门的压缩，以便于露出槽门，本技术适用于光刻机维护领域。

技术研发人员：胡德立
受保护的技术使用者：杭州芯微影半导体有限公司
技术研发日：20230506
技术公布日：2024/1/15