本技术涉及机器视觉,尤其涉及一种面光源及机器视觉检测装置。
背景技术:
1、在半导体制造业中,对生产得到的半导体,比如芯片进行缺陷检测是质量管控的关键点。芯片的检测项目很多,不同的检测项目需要用到不同光源,比如芯片缺陷这类检测项目需要用到红外光源照射,而轮廓检测或者尺寸测量这些类检测项目则需要用到白光光源照射。目前,传统的芯片检测方式为:在一个位置设置红外光光源,在另一个位置设置白光光光源,红外光光源和白光光源之间彼此独立,不仅成本高,空间占用大,而且红外光光源和白光光源只能分次照射,检测效率低。
2、因此,需要对现有技术进行改进。
3、以上信息作为背景信息给出只是为了辅助理解本公开,并没有确定或者承认任意上述内容是否可用作相对于本公开的现有技术。
技术实现思路
1、本实用新型提供一种面光源及机器视觉检测装置,以解决现有技术中的不足。
2、为实现上述目的,本实用新型提供以下的技术方案:
3、第一方面,本实用新型提供一种面光源,包括:壳体、扩散板和灯板;其中,
4、所述壳体为一端开口结构;
5、所述灯板设置在所述壳体的内部;
6、所述扩散板设置在所述壳体的开口处,且位于所述灯板的出光方向上;
7、所述灯板上划分有红外光发光区域和白光发光区域,所述白光发光区域围绕所述红外光发光区域设置。
8、进一步地,所述面光源中,所述灯板包括pcb板、红外灯珠和白色灯珠;
9、所述红外灯珠设置在所述pcb板上,以形成所述红外光发光区域;
10、所述白色灯珠设置在所述pcb板上,且围绕所述红外灯珠设置,以形成所述白光发光区域。
11、进一步地,所述面光源还包括增光膜;
12、所述增光膜设置在所述壳体的开口处,且在所述灯板的出光方向上位于所述扩散板的前方。
13、进一步地,所述面光源还包括透明压板;
14、所述透明压板设置在所述壳体的开口处,且在所述灯板的出光方向上位于所述增光膜的前方。
15、进一步地,所述面光源中,所述增光膜包括横向增光膜和纵向增光膜;
16、所述横向增光膜和所述纵向增光膜层叠设置。
17、进一步地,所述面光源中,所述壳体的内壁对应所述扩散板的位置开设有第一卡槽;
18、所述壳体的内壁对应所述灯板的位置开设有第二卡槽;
19、所述扩散板卡设在所述第一卡槽内;
20、所述灯板卡设在所述第二卡槽内。
21、进一步地,所述面光源中,所述壳体包括底板和四个侧板;
22、四个所述侧板依次连接形成两端开口的四边形框体;
23、所述底板连接于所述四边形框体的其中一端开口处。
24、进一步地,所述面光源中,所述灯板靠近所述底板设置;
25、所述底板采用散热性能好的金属制成。
26、进一步地,所述面光源还包括红外光光源线和白光光源线;
27、所述红外光光源线和所述白光光源线分别穿过所述壳体而与所述灯板连接。
28、第二方面,本实用新型提供一种机器视觉检测装置,包括相机和如上述第一方面所述的面光源。
29、与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
30、本实用新型提供的一种面光源及机器视觉检测装置,包括壳体和设置在壳体内的灯板和扩散板,灯板上划分有红外光发光区域和围绕所述红外光发光区域设置的白光发光区域,由于集成了可同时照射的红外光线和白光光线,这不仅提高了检测效率,而且成本低,空间占用小,适于大范围推广应用。
1.一种面光源,其特征在于,包括:壳体(1)、灯板(2)和扩散板(3);其中,
2.根据权利要求1所述的面光源,其特征在于,所述灯板(2)包括pcb板(201)、红外灯珠(202)和白色灯珠(203);
3.根据权利要求1所述的面光源,其特征在于,还包括增光膜(4);
4.根据权利要求3所述的面光源,其特征在于,还包括透明压板(5);
5.根据权利要求3所述的面光源,其特征在于,所述增光膜(4)包括横向增光膜(401)和纵向增光膜(402);
6.根据权利要求1所述的面光源,其特征在于,所述壳体(1)的内壁对应所述扩散板(3)的位置开设有第一卡槽;
7.根据权利要求1所述的面光源,其特征在于,所述壳体(1)包括底板(101)和四个侧板(102);
8.根据权利要求7所述的面光源,其特征在于,所述灯板(2)靠近所述底板(101)设置;
9.根据权利要求1所述的面光源,其特征在于,还包括红外光光源线(6)和白光光源线(7);
10.一种机器视觉检测装置,其特征在于,包括相机和如权利要求1-9中任一项所述的面光源。