一种显影液的浓度调制装置的制作方法

本技术涉及显影液的浓度调制，特别涉及一种显影液的浓度调制装置。

背景技术：

1、显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂。对于负显影工艺，显影液通常是一种有机溶剂，如二甲苯。对于正显影工艺，显影液是一种用水稀释的强碱溶液，最普便的是四甲基氢氧化铵(tmah)，近年来，电子电路印刷、构图的高密度化，要求构图宽度微细，这就对显影工序中对光刻胶用的显影液的质量提出了高要求，为了获得高分辨率、构图的清晰度、稳定性及高合格率，必须要严格的管理显影液的成分及浓度，通常调制显影液的浓度的过程是将显影液原液与纯水按一定的比例混合来达到不同需求浓度的调制。

2、现有技术中，经过检索，发现中国专利公开了“一种显影液的浓度调制装置”，其申请号为“cn201821760229.5”，该专利主要利用采集管提取标量值，快速转移至可拆卸的测定试管中，使测定结果更加快捷、安全。

3、但是该装置只限于少量的显影液浓度调制，调制前需要利用采集管对显影液定量采集，且采集后显影液会与空气中的二氧化碳(co2)产生反应，容易使显影液变质。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种显影液的浓度调制装置，能够对大量的显影液浓度进行调制，在调制过程中可以调整显影液与纯水的搭配，调制的浓度更精准，且在调制后能够使产品长时间储存不变质。

2、为实现上述目的，提供一种显影液的浓度调制装置，包括底板、第一调制桶、第二调制桶、储存桶，所述底板的上表面固定有第一调制桶，所述底板的上表面固定有第二调制桶，所述底板的上表面固定有储存桶，所述第一调制桶的侧表面固定连接有第一导管，所述第一调制桶的侧表面固定连接有第二导管，所述第一导管的表面固定连接有第一阀门，所述第二导管的表面固定连接有第二阀门，所述第一调制桶的另一侧表面固定连接有第三导管，所述第三导管的表面固定连接有第一浓度计，所述第三导管的表面固定连接有第一液泵，所述第三导管的另一端固定连接有第二调制桶，所述第二调制桶的表面固定连接有第四导管，所述第四导管的表面固定连接有第三阀门，所述第二调制桶的上端表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有搅拌叶片；

3、所述第二调制桶的另一侧表面固定连接有第五导管，所述第五导管的表面固定连接有第二浓度计，所述第五导管的表面固定连接有第六导管，所述第六导管的表面固定连接有第二液泵，所述第六导管的另一端固定连接有第一调制桶，所述第五导管的表面固定连接有第四阀门，所述第五导管的表面固定连接有第三液泵，所述第五导管的另一端固定连接有储存桶；

4、所述储存桶的内部固定连接有检测杆，所述检测杆的上端固定连接有二氧化碳含量检测计，所述储存桶的上表面固定连接有抽风机，所述储存桶的上表面固定连接有进气孔，所述抽风机的吸入端固定连接有抽风管，所述储存桶的内端上表面固定连接有过滤箱，所述过滤箱的内部设有聚乙烯醇板；所述过滤箱的内部设有钠石灰吸收颗粒。

5、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述检测杆贯穿储存桶的内部。

6、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述抽风管贯穿过滤箱。

7、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述储存桶的外表面设有透明挡板，所述储存桶的外表面设有测量刻度。

8、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述进气孔的下端与过滤箱的上表面固定连接。

9、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述搅拌叶片设置在第二调制桶的内部。

10、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述过滤箱的内侧表面与聚乙烯醇板的外侧表面滑动连接。

11、根据所述的一种显影液的浓度调制装置，所述过滤箱的内侧表面与钠石灰吸收颗粒的外侧表面滑动连接。

12、本实用新型具有如下有益效果：

13、1、与现有技术相比，该一种显影液的浓度调制装置，通过设置有第一调制桶和第二调制桶的二次调制，可以多量的对显影液的浓度进行调制，使调制过程中显影液浓度的调制更精准，保证了产品的质量，提高了调制的效率

14、2、与现有技术相比，该一种显影液的浓度调制装置，通过设置有储存箱以及过滤箱，可以对调制后的显影液进行密封处理，使显影液可以长时间的储存，提高了产品的保持期，降低了成本。

15、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，包括底板(1)、第一调制桶(2)、第二调制桶(3)、储存桶(4)，所述底板(1)的上表面固定有第一调制桶(2)，所述底板(1)的上表面固定有第二调制桶(3)，所述底板(1)的上表面固定有储存桶(4)，所述第一调制桶(2)的侧表面固定连接有第一导管(5)，所述第一调制桶(2)的侧表面固定连接有第二导管(6)，所述第一导管(5)的表面固定连接有第一阀门(7)，所述第二导管(6)的表面固定连接有第二阀门(8)，所述第一调制桶(2)的另一侧表面固定连接有第三导管(9)，所述第三导管(9)的表面固定连接有第一浓度计(10)，所述第三导管(9)的表面固定连接有第一液泵(11)，所述第三导管(9)的另一端固定连接有第二调制桶(3)，所述第二调制桶(3)的表面固定连接有第四导管(12)，所述第四导管(12)的表面固定连接有第三阀门(13)，所述第二调制桶(3)的上端表面固定连接有电机(14)，所述电机(14)的输出端固定连接有搅拌叶片(15)；

2.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述检测杆(23)贯穿储存桶(4)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述抽风管(28)贯穿过滤箱(31)。

4.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述储存桶(4)的外表面设有透明挡板(30)，所述储存桶(4)的外表面设有测量刻度(29)。

5.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述进气孔(25)的下端与过滤箱(31)的上表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述搅拌叶片(15)设置在第二调制桶(3)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述过滤箱(31)的内侧表面与聚乙烯醇板(26)的外侧表面滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种显影液的浓度调制装置，其特征在于，所述过滤箱(31)的内侧表面与钠石灰吸收颗粒(27)的外侧表面滑动连接。

技术总结
本技术公开了一种显影液的浓度调制装置，包括底板、第一调制桶、第二调制桶、储存桶，所述第一调制桶的表面固定连接有第三导管，所述第三导管的表面固定连接有第一浓度计，所述第三导管的另一端固定连接有第二调制桶，所述第二调制桶的表面固定连接有第四导管，所述第二调制桶的上端表面固定连接有电机，所述第二调制桶的另一侧表面固定连接有第五导管，所述第五导管的表面固定连接有第二浓度计，所述第五导管的另一端固定连接有储存桶，所述储存桶的上表面固定连接有抽风机，所述储存桶的内端上表面固定连接有过滤箱。通过上述结构，该装置提高了显影液浓度调制的效率，保证了产品的质量。

技术研发人员：郑新国,王博,宋亚静
受保护的技术使用者：石家庄太行科工有限公司
技术研发日：20230718
技术公布日：2024/1/5