一种长弧形偏振光双凸透镜的制作方法

本技术涉及平行光、偏正光及光学透镜，具体为一种长弧形偏振光双凸透镜。

背景技术：

1、深紫外光源主要波长为245nm-310nm，该光源是由led-uv光源产生的，但该光源不能直接用于晶圆曝光、蚀刻，必须通过偏振光镜产生的偏振光，再辐射到本案设计的长弧形偏振光双凸透镜上，即直接辐射会出现反射光，将无法满足纳米级曝光、蚀刻要求；然后再通过焦距校正，产生光功率较弱的平行光，才能用于晶圆曝光、蚀刻的光源，而深紫外光源本身如果光路越长，光衰也就越大；现有的凸透镜透光率及出光率低，影响了凸透镜的使用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种长弧形偏振光双凸透镜，以解决上述背景技术中提出的现有凸透镜透光率及出光率低的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，左边沿卡端布置在凸面体左侧上，右边沿卡端布置在凸面体右侧上，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜。

4、优选的，所述一号增透膜与二号增透膜采用电镀方式镀在凸面体上，该一号增透膜与二号增透膜皆为200-450nm增透膜。

5、优选的，所述凸面体为高纯度熔融石英凸面体，该凸面体的中心厚度h301为29-40mm，凸面体的长度l301为200-400mm，凸面体的宽度w301为40-70mm。

6、优选的，所述上凸面的上表面为受光面，所述下凸面的下表面为出光面，该受光面与出光面均为非球面状长弧形结构。

7、优选的，所述上凸面相应的球面半径为r1，所述下凸面相应的球面半径为r2，r1、r2的数值皆为1200-1300mm。

8、本实用新型的有益效果是：本实用新型依靠上凸面与下凸面皆为非球面状长弧形结构设置，能够制造出非球面状长弧形结构的双凸透镜，并且双凸透镜的中心厚度较薄设定，能提高双凸透镜的出光效率，同时通过一号增透膜与二号增透膜的配合，提升双凸透镜整体的透光率，使得光源均匀性更高，能够在晶圆曝光、蚀刻曝光机上作为偏振光平行光扫描光源使用。

技术特征：

1.一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；其特征在于：所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，左边沿卡端布置在凸面体左侧上，右边沿卡端布置在凸面体右侧上，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜。

2.根据权利要求1所述的长弧形偏振光双凸透镜，其特征在于：所述一号增透膜与二号增透膜采用电镀方式镀在凸面体上，该一号增透膜与二号增透膜皆为200-450nm增透膜。

3.根据权利要求1所述的长弧形偏振光双凸透镜，其特征在于：所述凸面体为高纯度熔融石英凸面体，该凸面体的中心厚度h301为29-40mm，凸面体的长度l301为200-400mm，凸面体的宽度w301为40-70mm。

4.根据权利要求1所述的长弧形偏振光双凸透镜，其特征在于：所述上凸面的上表面为受光面，所述下凸面的下表面为出光面，该受光面与出光面均为非球面状长弧形结构。

5.根据权利要求1或4所述的长弧形偏振光双凸透镜，其特征在于：所述上凸面相应的球面半径为r1，所述下凸面相应的球面半径为r2，r1、r2的数值皆为1200-1300mm。

技术总结
本技术公开了一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜；本技术非球面状长弧形结构的双凸透镜中心厚度较薄，提高了双凸透镜的出光效率，同时在增透膜的配合下来提升双凸透镜整体的透光率，使得光源均匀性更高，能够在晶圆曝光、蚀刻曝光机上作为偏振光平行光扫描光源使用。

技术研发人员：兰卫国
受保护的技术使用者：深圳优卫乐得科技有限公司
技术研发日：20230825
技术公布日：2024/3/21