本技术属于掩膜版，更具体地说，特别涉及一种高精度led光刻掩膜版。
背景技术：
1、掩膜版是光刻过程中的重要部件，是下游行业产品制造过程中的图形“底片”，在led光刻过程中，光源透过掩膜版后，将图案通过透镜蚀刻在晶圆表面。
2、根据申请号：cn201320259846.8公开的一种掩膜版，所述掩膜版包括：掩膜版主体；设置于所述掩膜版主体第一表面上的第一保护膜；第一连接装置，所述第一连接装置设置于所述掩膜版主体四周，将所述掩膜版主体与所述第一保护膜连接成一第一密闭结构；以及第一液体保护层，所述第一液体保护层设置于所述第一密闭结构中。通过设置第一液体保护层，可以溶解掩膜版主体因长时间曝光析出的各种离子；并且第一连接装置无需开孔来平衡第一密闭结构内外的大气压强，空气中的离子无法进入所述掩膜版内部，有效的杜绝掩膜版晶体的析出，提高光刻图案的精度；同时延长了掩膜版的使用时间。
3、基于上述，现有的高精度led光刻掩膜版在使用过程中，当掩膜版在闲置时，基板与其他物体接触，容易在基板上产生划痕，导致无法使用，造成经济损失。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种高精度led光刻掩膜版，以解决现有的高精度led光刻掩膜版在使用过程中，当掩膜版在闲置时，基板与其他物体接触，容易在基板上产生划痕，导致无法使用，造成经济损失的问题。
2、本实用新型一种高精度led光刻掩膜版的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
3、一种高精度led光刻掩膜版，包括边框、顶板、直角板、固定杆、基板、支撑机构和防护机构；所述顶板设有两个，两个顶板均固定连接在边框的上端面；所述直角板设有两个，两个直角板均固定连接在边框的下端面；所述固定杆设有两个，两个固定杆均固定连接在边框的内侧；所述基板固定安装在两个固定杆的内侧；所述支撑机构设置在顶板的上端面；所述防护机构设置在边框的内侧。
4、进一步的，所述支撑机构包括：固定筒、垫脚和压缩弹簧；所述固定筒设有两组，两组固定筒分别固定连接在两个顶板的上端面；所述垫脚设有两组，两组垫脚分别滑动连接在两组固定筒的内侧；所述压缩弹簧设有两组，两组压缩弹簧分别固定连接在两组固定筒的内侧，两组压缩弹簧上端分别抵在两组垫脚的下端面。
5、进一步的，所述防护机构包括：转轴和防护膜；所述转轴设有两个，两个转轴均转动连接在边框的内侧；所述防护膜包覆在前端转轴的外侧。
6、进一步的，所述防护机构还包括：连接线辊、连接绳和涡卷弹簧；所述连接线辊设有两个，两个连接线辊均固定连接在后端转轴的外侧；所述连接绳设有两根，两个连接绳后端分别包覆在两个连接线辊的外侧，两根连接绳前端均固定连接在防护膜上端的后端面；所述涡卷弹簧设有两个，两个涡卷弹簧均固定连接在边框的内侧，两个涡卷弹簧的内圈固定连接在后端转轴的外侧。
7、进一步的，所述防护机构还包括：滑槽、连接杆、滑块、固定块、固定线辊、旋转轮和拉绳；所述滑槽设有两个，两个滑槽均开设在边框的下端面；所述连接杆滑动连接在边框的下端；所述滑块设有两个，两个滑块均固定连接在连接杆的外侧，两个滑块分别滑动连接在两个滑槽的内侧；所述固定块设有两个，两个固定块均固定连接在连接杆的外侧；所述固定线辊设有两个，两个固定线辊均固定连接在前端转轴的外侧；所述旋转轮设有两个，两个旋转轮均转动连接在边框的外侧；所述拉绳设有两根，两根拉绳前端分别缠绕在两个固定线辊的外侧，两跟拉绳分别包覆在两个旋转轮的外侧，两根拉绳分别固定连接在两个固定块的外侧。
8、进一步的，所述防护机构还包括：限位板和复位弹簧；所述限位板滑动连接在后端直角板的内侧；所述复位弹簧固定连接在限位板的下端面，复位弹簧下端固定连接在后端直角板的内侧。
9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
10、本实用新型通过支撑机构的设置，实现了对掩膜版的支撑，可以在掩膜版闲置时，将掩膜版撑起，防止基板受到磕碰刮伤，降低了经济损失；通过防护机构的设置，实现了在掩膜版闲置时对基板的防护，在将掩膜版拆下时，限位板会在复位弹簧的作用下向上滑动，使连接杆脱离限制，此时涡卷弹簧回弹带动后端转轴旋转，对连接绳进行收卷，连接绳在被收卷时，会将防护膜拉出，对基板进行防护，防止基板在闲置时受到划伤，降低了经济损失，且在闲置时，将边框翻转，使直角板向下还可以防止基板表面沾染灰尘需要进行清洗，提高了工作效率；通过上述机构的设置，实现了对掩膜版的支撑，降低了经济损失，还实现了在掩膜版闲置时对基板的防护，降低了经济损失，提高了工作效率。
1.一种高精度led光刻掩膜版，包括边框(1)、顶板(2)、直角板(3)、固定杆(4)、基板(5)、支撑机构和防护机构；所述顶板(2)设有两个，两个顶板(2)均固定连接在边框(1)的上端面；其特征在于：所述直角板(3)设有两个，两个直角板(3)均固定连接在边框(1)的下端面；所述固定杆(4)设有两个，两个固定杆(4)均固定连接在边框(1)的内侧；所述基板(5)固定安装在两个固定杆(4)的内侧；所述支撑机构设置在顶板(2)的上端面；所述防护机构设置在边框(1)的内侧。
2.如权利要求1所述一种高精度led光刻掩膜版，其特征在于：所述支撑机构包括：固定筒(6)、垫脚(7)和压缩弹簧(8)；所述固定筒(6)设有两组，两组固定筒(6)分别固定连接在两个顶板(2)的上端面；所述垫脚(7)设有两组，两组垫脚(7)分别滑动连接在两组固定筒(6)的内侧；所述压缩弹簧(8)设有两组，两组压缩弹簧(8)分别固定连接在两组固定筒(6)的内侧，两组压缩弹簧(8)上端分别抵在两组垫脚(7)的下端面。
3.如权利要求1所述一种高精度led光刻掩膜版，其特征在于：所述防护机构包括：转轴(9)和防护膜(10)；所述转轴(9)设有两个，两个转轴(9)均转动连接在边框(1)的内侧；所述防护膜(10)包覆在前端转轴(9)的外侧。
4.如权利要求3所述一种高精度led光刻掩膜版，其特征在于：所述防护机构还包括：连接线辊(11)、连接绳(12)和涡卷弹簧(13)；所述连接线辊(11)设有两个，两个连接线辊(11)均固定连接在后端转轴(9)的外侧；所述连接绳(12)设有两根，两个连接绳(12)后端分别包覆在两个连接线辊(11)的外侧，两根连接绳(12)前端均固定连接在防护膜(10)上端的后端面；所述涡卷弹簧(13)设有两个，两个涡卷弹簧(13)均固定连接在边框(1)的内侧，两个涡卷弹簧(13)的内圈固定连接在后端转轴(9)的外侧。
5.如权利要求4所述一种高精度led光刻掩膜版，其特征在于：所述防护机构还包括：滑槽(101)、连接杆(14)、滑块(1401)、固定块(1402)、固定线辊(15)、旋转轮(16)和拉绳(17)；所述滑槽(101)设有两个，两个滑槽(101)均开设在边框(1)的下端面；所述连接杆(14)滑动连接在边框(1)的下端；所述滑块(1401)设有两个，两个滑块(1401)均固定连接在连接杆(14)的外侧，两个滑块(1401)分别滑动连接在两个滑槽(101)的内侧；所述固定块(1402)设有两个，两个固定块(1402)均固定连接在连接杆(14)的外侧；所述固定线辊(15)设有两个，两个固定线辊(15)均固定连接在前端转轴(9)的外侧；所述旋转轮(16)设有两个，两个旋转轮(16)均转动连接在边框(1)的外侧；所述拉绳(17)设有两根，两根拉绳(17)前端分别缠绕在两个固定线辊(15)的外侧，两跟拉绳(17)分别包覆在两个旋转轮(16)的外侧，两根拉绳(17)分别固定连接在两个固定块(1402)的外侧。
6.如权利要求5所述一种高精度led光刻掩膜版，其特征在于：所述防护机构还包括：限位板(18)和复位弹簧(19)；所述限位板(18)滑动连接在后端直角板(3)的内侧；所述复位弹簧(19)固定连接在限位板(18)的下端面，复位弹簧(19)下端固定连接在后端直角板(3)的内侧。