本发明涉及光刻机设备，尤其涉及一种双面卷对卷激光直写光刻机。
背景技术：
1、在现代制造业中，特别是在高精度电路板制造领域，激光直写光刻技术因其无接触、无掩膜的特性而受到广泛关注。
2、目前市面上只有ldi单面卷对卷扫描曝光机，对于正反面都需要曝光的产品在双面曝光时需要翻转操作，这不仅增加了曝光流程的复杂性，还可能因对位精度问题影响最终的曝光效果，为此我们提出一种双面卷对卷激光直写光刻机，用以解决上述提出的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的是为了解决现有技术中在双面曝光时需要翻转操作，这不仅增加了曝光流程的复杂性，还可能因对位精度问题影响最终的曝光效果问题，而提出的一种双面卷对卷激光直写光刻机。
2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
3、一种双面卷对卷激光直写光刻机，包括曝光平台，所述曝光平台的两侧分别设置有出料平台和收料平台，所述出料平台和收料平台上均设置有收放组件，所述出料平台和收料平台上均设置有对卷材张紧调节的张紧组件，对称设置的ccd对位相机组和激光读写器，位于曝光平台内分布在贯穿卷材的上下两侧，用于对贯穿的卷材曝光读写操作；可调节的纠偏辊，设置在曝光平台的一侧端，用于对卷材位置居中纠偏处理；夹料板，设置在ccd对位相机组和激光读写器之间，当双面卷材进行曝光读写时，通过所述夹料板对卷材四周夹紧限位。
4、优选的，所述收放组件包括安装在曝光平台上的转动盘，所述转动盘的一侧面安装有呈环形分布的电动推杆，所述电动推杆的输出端固定有弧形支撑块。
5、优选的，所述张紧组件包括安装在曝光平台上的支撑架，所述支撑架上通过轴承转动连接有辅助辊，所述支撑架上滑动连接有调节块，所述调节块的一侧面通过轴承转动连接有调节辊，所述调节块上设置有调节螺栓，所述支撑架的一端顶部安装有吸尘器。
6、优选的，所述曝光平台上固定安装有连接板，所述连接板的表面通过轴承转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆上螺纹连接有移动板，多个所述纠偏辊对称安装在移动板上，所述移动板滑动连接在第一导向轨上，所述第一导向轨安装在连接板的两侧壁上，其中一个所述第一导向轨的一侧面安装有纠偏传感器，所述双向丝杆的一端固定有安装在固定板侧壁的第一驱动部。
7、优选的，所述夹料板的底部安装有第二驱动部，所述第二驱动部的底部安装有底板，所述第二驱动部和底板均为口字形状。
8、优选的，所述曝光平台的顶部设置有拉料件，拉料件包括安装在曝光平台顶部的第二导向轨，所述第二导向轨上滑动连接有滑座，所述滑座安装在移动架上，所述移动架上安装有两个固定板，其中一个所述固定板固定在移动架上，另一个所述固定板的顶部固定有第三驱动部，所述第三驱动部固定在移动架上。
9、优选的，所述曝光平台的底部设置有支撑组件，支撑组件包括固定在曝光平台顶部的开口，所述开口的表面开设有安装座，所述安装座的内部滑动连接有滑块，所述滑块的一侧面通过轴承转动连接有升降辊，所述滑块的另一侧面设置有调节件。
10、优选的，调节件包括固定在滑块另一侧面的升降块，所述升降块的表面螺纹连接有单向丝杆，所述单向丝杆的端部通过轴承与安装座转动相连。
11、优选的，所述单向丝杆的表面固定有斜形齿轮，所述斜形齿轮的表面啮合有契合齿轮，所述契合齿轮的轴心处安装有转动把手，所述转动把手的一端延伸至安装座的外部。
12、优选的，所述曝光平台上安装有显示器，所述曝光平台的顶部安装有ffu高效过滤器。
13、与现有技术相比，本发明提供了一种双面卷对卷激光直写光刻机，具备以下有益效果：
14、1、该一种双面卷对卷激光直写光刻机，通过设置的ccd对位相机组和激光读写器，对称分布设置在贯穿的卷材上下两侧表面，当需要进行曝光读写时，可对卷材两侧面同时进行曝光读写操作，省去传统方式正反面单独曝光操作的麻烦，有效提高装置的工作效率。
15、2、该一种双面卷对卷激光直写光刻机，在使用时，通过设置的纠偏辊，可对贯穿在曝光平台的卷材传输位置进行自动感应纠偏，有效预防输送的卷材发生偏移，导致后续曝光读写不精准的现象发生，提高装置对卷材的定位效果。
16、3、该一种双面卷对卷激光直写光刻机，通过设置的夹料板，可在双面曝光的状态下，对曝光区域的卷材四周表面进行压紧限位，防止抖动跑偏褶皱，进一步提高装置曝光读写操作的精准度。
17、该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本发明通过设置对称分布的ccd对位相机组和激光读写器，可以对需曝光的材料进行同步曝光读写操作，同时在曝光操作时，通过纠偏辊对传输的材料进行自动纠偏居中操作，使得输送的卷材得到纠正避免出现跑偏的现象发生，且配合夹料板多次限位，提高双面曝光读写的精准度，有效提高装置的工作效率。
1.一种双面卷对卷激光直写光刻机，包括曝光平台（1），所述曝光平台（1）的两侧分别设置有出料平台（2）和收料平台（3），所述出料平台（2）和收料平台（3）上均设置有收放组件（4），所述出料平台（2）和收料平台（3）上均设置有对卷材张紧调节的张紧组件（5），其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述收放组件（4）包括安装在曝光平台（1）上的转动盘（40），所述转动盘（40）的一侧面安装有呈环形分布的电动推杆（41），所述电动推杆（41）的输出端固定有弧形支撑块（42）。
3.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述张紧组件（5）包括安装在曝光平台（1）上的支撑架（51），所述支撑架（51）上通过轴承转动连接有辅助辊（54），所述支撑架（51）上滑动连接有调节块（52），所述调节块（52）的一侧面通过轴承转动连接有调节辊（53），所述调节块（52）上设置有调节螺栓，所述支撑架（51）的一端顶部安装有吸尘器（55）。
4.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述曝光平台（1）上固定安装有连接板（71），所述连接板（71）的表面通过轴承转动连接有双向丝杆（72），所述双向丝杆（72）上螺纹连接有移动板（73），多个所述纠偏辊（7）对称安装在移动板（73）上，所述移动板（73）滑动连接在第一导向轨（74）上，所述第一导向轨（74）安装在连接板（71）的两侧壁上，其中一个所述第一导向轨（74）的一侧面安装有纠偏传感器（75），所述双向丝杆（72）的一端固定有安装在连接板（71）侧壁的第一驱动部（76）。
5.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述夹料板（8）的底部安装有第二驱动部（81），所述第二驱动部（81）的底部安装有底板（82），所述第二驱动部（81）和底板（82）均为口字形状。
6.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述曝光平台（1）的顶部设置有拉料件，拉料件包括安装在曝光平台（1）顶部的第二导向轨（94），所述第二导向轨（94）上滑动连接有滑座（93），所述滑座（93）安装在移动架（92）上，所述移动架（92）上安装有两个固定板（9），其中一个所述固定板（9）固定在移动架（92）上，另一个所述固定板（9）的顶部固定有第三驱动部（91），所述第三驱动部（91）固定在移动架（92）上。
7.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述曝光平台（1）的底部设置有支撑组件，支撑组件包括固定在曝光平台（1）顶部的开口（103），所述开口（103）的表面开设有安装座（101），所述安装座（101）的内部滑动连接有滑块（102），所述滑块（102）的一侧面通过轴承转动连接有升降辊（10），所述滑块（102）的另一侧面设置有调节件。
8.根据权利要求7所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，调节件包括固定在滑块（102）另一侧面的升降块（104），所述升降块（104）的表面螺纹连接有单向丝杆（105），所述单向丝杆（105）的端部通过轴承与安装座（101）转动相连。
9.根据权利要求8所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述单向丝杆（105）的表面固定有斜形齿轮（106），所述斜形齿轮（106）的表面啮合有契合齿轮（107），所述契合齿轮（107）的轴心处安装有转动把手（108），所述转动把手（108）的一端延伸至安装座（101）的外部。
10.根据权利要求1所述的一种双面卷对卷激光直写光刻机，其特征在于，所述曝光平台（1）上安装有显示器（11），所述曝光平台（1）的顶部安装有ffu高效过滤器（12）。