本公开的实施例主要涉及集成电路，并且更具体地，涉及用于确定掩模图案的方法、设备和存储介质。
背景技术：
1、随着晶圆上特征尺寸的不断缩小，传统的光学临近效应校正（optical proximitycorrection, opc）方法已难以满足先进工艺节点对光刻工艺窗口的要求。反演光刻技术（inverse lithography technology, ilt）作为一种严格的数学逆向求解方法，可以基于期望的晶圆成像轮廓，反推出与之对应的掩模图案，从而获得更接近目标的光刻结果。然而，反演光刻计算过程通常涉及大规模迭代和复杂数值计算，计算开销巨大。
2、因此，如何在降低计算复杂度和资源消耗的同时，保证所确定掩模图案的成像质量，成为光刻技术中值得关注的问题。
技术实现思路
1、在本公开的第一方面中，提供了一种用于确定掩模图案的方法。该方法包括：将目标图案划分为多个区域；基于目标图案，分别确定多个区域中的每个区域的掩模图案；确定多个区域之间的多个重叠区域；以及通过对在多个重叠区域中的相应掩模图案的图案变化信息进行融合，确定与目标图案对应的目标掩模图案。
2、在本公开的第二方面中，提供了一种用于确定掩模图案的方法。该方法包括：针对目标图案的多个区域之间的多个重叠区域中的每个重叠区域，基于交汇于该重叠区域的至少两个区域的相应掩模图案，计算至少两个区域中的每个区域在该重叠区域中的梯度信息；基于交汇于该重叠区域的至少两个区域的相应梯度信息和权重，确定该重叠区域的融合梯度信息；以及基于针对多个重叠区域分别确定的融合梯度信息，确定与目标图案对应的目标掩模图案。
3、在本公开的第三方面中，提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器、以及与处理器耦合的存储器。该存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使电子设备执行根据本公开的第一方面或第二方面的方法。
4、在本公开的第三方面中，提供了一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质上存储有计算机程序。计算机程序在被处理器执行时实现根据本公开的第一方面或第二方面的方法。
5、通过下文的描述将会理解，根据本公开的实施例，首先可以将目标图案划分为多个区域。进一步地，可以基于目标图案，分别确定多个区域中的每个区域的掩模图案。然后，可以确定多个区域之间的多个重叠区域。再进一步地，可以通过对在多个重叠区域中的相应掩模图案的图案变化信息进行融合，确定与目标图案对应的目标掩模图案。以此方式，可以更大程度地还原边界处的图案连续性，减少传统分块拼接过程中可能出现的错位、断连或信息丢失问题。
6、应当理解，本
技术实现要素：
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键特征或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其他特征将通过以下的描述而变得容易理解。
1.一种用于确定掩模图案的方法，其特征在于，包括：
2. 根据权利要求1所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，将目标图案划分为多个区域包括：
3.根据权利要求1所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，确定所述多个区域中的每个区域的掩模图案包括：
4.根据权利要求1所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，确定所述多个区域之间的多个重叠区域包括：
5.根据权利要求1所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述图案变化信息包括梯度信息，并且对与所述多个重叠区域对应的所述掩模图案的图案变化信息进行融合包括：
6.根据权利要求5所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述区域包括拓展子区域，所述拓展子区域包括第一拓展区、第二拓展区和第三拓展区，并且计算所述梯度信息包括：
7. 根据权利要求5所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述权重通过以下至少一项确定：
8. 根据权利要求5所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，确定所述重叠区域的融合梯度信息还包括：
9.根据权利要求5所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，确定与所述目标图案对应的目标掩模图案包括：
10.一种用于确定掩模图案的方法，其特征在于，包括：
11. 根据权利要求10所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述每个区域在该重叠区域中的所述梯度信息是通过对所述每个区域在该重叠区域中的每个像素点和相邻像素点的信号值进行差分计算确定的。
12.根据权利要求11所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述梯度信息是根据下式来计算的
13.根据权利要求10所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，该重叠区域的所述融合梯度信息是通过对交汇于该重叠区域的多个区域的梯度信息进行加权求和确定的。
14.根据权利要求13所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述融合梯度信息是根据下式确定的：
15. 根据权利要求10所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，确定所述目标掩模图案包括：
16.根据权利要求15所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述泊松方程是根据下式构建的：
17.根据权利要求15所述的用于确定掩模图案的方法，其特征在于，所述泊松方程是根据下式求解的：
18. 一种电子设备，其特征在于，包括：
19.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序可由处理器执行以实现根据权利要求1至9或权利要求10至17中任一项所述的方法。