一种带灯源冷却机构的曝光机的制作方法

文档序号:8606559阅读:132来源:国知局
一种带灯源冷却机构的曝光机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种曝光机,尤其涉及一种带灯源冷却机构的曝光机。
【背景技术】
[0002]如图1所示,为现有技术中的曝光机结构,其包括外壳a,外壳a的下部是风机室b,风机室b的后侧设有过滤网C,风机室b内安装有风机d。外壳a的上部是风室e,风室e内设有积光罩f和位于积光罩f内的灯管g,风室e内还设有送风管h,送风管h的一端连接至积光罩f内,另一端在风室e内。外壳a的顶部设有排风管j,排风管j的一端与风室e连通,另一端伸至无尘室外面。
[0003]工作时,灯管g会产生大量的热,而无尘室的冷风通过过滤网c进入到风机室b内,风机室b内的风机d将冷风送到风室e内,再通过送风管h将冷风吹到积光罩f和灯管g上,来达到冷却积光罩f和灯管g的目的,热风经过排风管j排放到无尘室外面。在冷却过程中,由于风量为不可调,故不能根据灯室温度来调节冷却效果;而且在冷却过程中,风中小颗粒尘埃会聚集在积光罩f和灯管g的表面,因而降低积光罩f和灯管g的使用寿命;在冷却的同时,需从工作区域抽取大量的冷风,导致无尘室冷风的大量浪费;风机在抽风过程中,会产生一定的噪音,对环境造成影响。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种带灯源冷却机构的曝光机,结构简单,实用性强,在积光罩和灯管的表面无尘埃聚集,可有效提高积光罩和灯管的使用寿命和使用效果,也能避免产生噪音对环境及人员产生影响,同时还能防止对无尘室冷风的大量浪费,达到节能的目的。
[0005]为实现上述目的,本实用新型提供一种带灯源冷却机构的曝光机,包括外壳,所述外壳内设有灯源室,所述灯源室内设有积光罩和灯管,所述灯管位于积光罩内部,所述灯源室内设有环设在积光罩外围的热交换器。
[0006]作为本实用新型的进一步改进,所述热交换器是螺旋状的冷却水管,所述冷却水管的进水端和出水端均连接至曝光机外部的循环水路。
[0007]作为本实用新型的更进一步改进,所述冷却水管的进水端连接有进水管路,所述冷却水管的出水端连接有出水管路,所述进水管路和出水管路连接至曝光机外部的循环水路,所述进水管路上设有流量计。
[0008]作为本实用新型的更进一步改进,所述灯源室内设有温度检测器,所述温度检测器和流量计均连接至一控制装置。
[0009]作为本实用新型的更进一步改进,所述积光罩的上方设有一中空板,所述温度检测器安装在中空板上。
[0010]作为本实用新型的更进一步改进,所述进水管路上设有进水球阀,所述出水管路上设有出水球阀。
[0011]与现有技术相比,本实用新型的带灯源冷却机构的曝光机的有益效果如下:
[0012](I)通过在灯源室内设有环设在积光罩外围的热交换器,可以冷却积光罩和灯管的环境温度,从而达到冷却积光罩和灯管的目的,代替了传统的风冷却方式,从而在积光罩和灯管的表面无尘埃聚集,可有效提高积光罩和灯管的使用寿命和使用效果,也能避免产生噪音对环境及人员产生影响,同时还能防止对无尘室冷风的大量浪费,达到节能的目的;且结构简单,实用性强。
[0013](2)热交换器采用螺旋状的冷却水管,从而对积光罩和灯管是采用冷却水冷却,从而成本低,节能,且罗旋转的冷却水管结构简单,制造容易,降低制造成本;冷却水管连接至曝光机外部的循环水路,冷却水经过热交换器后,再回流到外部循环水路上,经过冷却后,再循环使用,从而无水的浪费,降低成本。
[0014](3)进水管路上设有流量计,可防止积光罩和灯管过热或过冷,从而有效提高积光罩和灯管的使用寿命。
[0015](4)灯源室内设有温度检测器,温度检测器和流量计均连接至一控制装置,从而通过温度检测器检测的温度,自动调节进水管路上流量计的流量,来达到自动控制积光罩和灯管的环境温度,达到对积光罩和灯管冷却的准确控制,防止积光罩和灯管过热或过冷,从而有效提尚积光罩和灯管的使用寿命。
[0016]通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中的输送网的示意图。
[0018]图2为本实用新型的输送网的示意图。
【具体实施方式】
[0019]现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。
[0020]请参考图2,所述的带灯源冷却机构的曝光机包括外壳1,所述外壳I内设有灯源室2,所述灯源室2内设有积光罩3和灯管4,所述灯管4位于积光罩3内部,所述灯源室2内设有环设在积光罩3外围的热交换器5。所述热交换器5是螺旋状的冷却水管,所述冷却水管的进水端和出水端均连接至曝光机外部的循环水路(图中未示出)。所述冷却水管的进水端连接有进水管路(图中未示出),所述冷却水管的出水端连接有出水管路(图中未示出),所述进水管路和出水管路连接至曝光机外部的循环水路,所述进水管路上设有进水球阀6,所述出水管路上设有出水球阀7。所述进水管路上设有流量计8,所述灯源室2内设有温度检测器9,所述温度检测器9和流量计8均连接至一控制装置(图中未示出)。所述积光罩2的上方设有一中空板10,所述温度检测器9安装在中空板10上。
[0021]使用时,通过曝光机外部的循环水路供应冷水进入进水管路,冷水经过流量计8的流量控制,由进水管路输入螺旋状的热交换器内,以直接冷却积光罩3和灯管4的环境温度,冷却水经过热交换后,再从出水管路回流到曝光机外部的循环水路上,再经过冷却后,再循环使用,从而无水的浪费。所述流量计8的流量控制是通过温度检测器9检测到灯源室2内的温度后,发出信号给控制装置,由控制装置对流量计8进行控制而实现的,从而能够达到自动的调节流量计的流量的目的,从而自动控制积光罩3和灯管4的环境温度,准确的控制积光罩3和灯管4的冷却,防止积光罩3和灯管4过热或过冷,有效提高积光罩3和灯管4的使用寿命,也避免了风冷所夹带的尘埃聚集在积光罩3和灯管4的表面而导致的降低积光罩3和灯管4的使用寿命的情形发生,同时也避免了风冷装置导致的噪音和对无尘室冷风的大量浪费,达到节能的目的。
[0022]以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述,但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
【主权项】
1.一种带灯源冷却机构的曝光机,包括外壳,所述外壳内设有灯源室,所述灯源室内设有积光罩和灯管,所述灯管位于积光罩内部,其特征在于:所述灯源室内设有环设在积光罩外围的热交换器。
2.如权利要求1所述的带灯源冷却机构的曝光机,其特征在于:所述热交换器是螺旋状的冷却水管,所述冷却水管的进水端和出水端均连接至曝光机外部的循环水路。
3.如权利要求2所述的带灯源冷却机构的曝光机,其特征在于:所述冷却水管的进水端连接有进水管路,所述冷却水管的出水端连接有出水管路,所述进水管路和出水管路连接至曝光机外部的循环水路,所述进水管路上设有流量计。
4.如权利要求3所述的带灯源冷却机构的曝光机,其特征在于:所述灯源室内设有温度检测器,所述温度检测器和流量计均连接至一控制装置。
5.如权利要求4所述的带灯源冷却机构的曝光机,其特征在于:所述积光罩的上方设有一中空板,所述温度检测器安装在中空板上。
6.如权利要求3所述的带灯源冷却机构的曝光机,其特征在于:所述进水管路上设有进水球阀,所述出水管路上设有出水球阀。
【专利摘要】本实用新型公开了一种带灯源冷却机构的曝光机,包括外壳,所述外壳内设有灯源室,所述灯源室内设有积光罩和灯管,所述灯管位于积光罩内部,所述灯源室内设有环设在积光罩外围的热交换器。本实用新型的带灯源冷却机构的曝光机结构简单,实用性强,在积光罩和灯管的表面无尘埃聚集,可有效提高积光罩和灯管的使用寿命和使用效果,也能避免产生噪音对环境及人员产生影响,同时还能防止对无尘室冷风的大量浪费,达到节能的目的。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN204314604
【申请号】CN201420768529
【发明人】黄建
【申请人】志圣科技(广州)有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年12月8日
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