一种基于光微环的带宽可调光滤波器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于一种集成光学器件，特别涉及一种带宽可调光滤波器。
【背景技术】
[0002]智能网络是未来光通讯发展的重要方向。其中多业务匹配、波长资源灵活分配的目标要求作为其中核心设备的可重构光上下插分复用(ROADM)具有灵活栅格功能，即要求带宽可调的光滤波器。
[0003]传统的基于耦合系数可调的微环的带宽可调滤波器其带宽可调范围受微环本身带宽影响较大，应用价值有限；而基于双微环滤波器结合马赫曾德尔干涉仪(MZI)相干合谱的带宽可调滤波器差损较大。
【发明内容】
[0004]本实用新型为了解决上述提到的现有技术中的滤波器带宽可调范围易受影响、带宽可调滤波器差损较大的技术问题，提供一种具有带宽及中心波长可调功能的光波段滤波器件。
[0005]本实用新型提供的一种基于光微环的带宽可调光滤波器，包括由第一任意闭环形状光微环和第二任意闭环形状光微环构成的第一光微环组、由第三任意闭环形状光微环和第四任意闭环形状光微环构成的第二光微环组、输入波导、输出波导、第一下载波导、第二下载波导；所述第一下载波导分别与输入波导、输出波导垂直相交，所述第二下载波导也分别与输入波导、输出波导垂直相交，四个任意闭环形状光微环分别位于所述的垂直相交处，并分别与相交的两条直波导耦合，构成位于同一平面的井形波导结构；所述的四个任意闭环形状光微环的上各设置有一个加热电极，所述的第一下载波导或第二下载波导上设置有一个加热电极。
[0006]优选地，所述的井形波导结构具有可扩展性，该结构上下左右可延伸出与之对称的井形波导结构。
[0007]优选地，基于光微环的带宽可调光滤波器采用新型硅基集成电路材料利用平面工艺制作完成。
[0008]本实用新型所提供的基于微环的带宽可调光滤波器满足了 ROADM的功能需要，实现了滤波器带宽和中心波长可调的功能。本实用新型的有益效果为:与其他带宽可调滤波器相比，本实用新型提供了一种基于微环的带宽可调光滤波器，此种利用组合微环的滤波器，在保证了带宽和中心波长可调功能的同时，具有带宽及中心频率可调范围大、精度高，损耗低等特点，克服了传统带宽可调滤波器的诸多缺点。由于本实用新型设计合理，能完成光通讯网路中的光信号下载、上传等功能，且集成度高，可以应用于光通讯网络中的信息下载与上传等领域，对光通讯网络的信息传输具有较大的意义。
【附图说明】
[0009]图1是一种基于微环的带宽可调光滤波器的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
[0011]实施例1
[0012]如图1所示，一种基于光微环的带宽可调光滤波器，包括由第一任意闭环形状光微环41和第二任意闭环形状光微环42构成的第一光微环组、由第三任意闭环形状光微环43和第四任意闭环形状光微环44构成的第二光微环组、输入波导1、输出波导2、第一下载波导31、第二下载波导32 ;所述第一下载波导31分别与输入波导1、输出波导2垂直相交，所述第二下载波导32也分别与输入波导1、输出波导2垂直相交，四个任意闭环形状光微环41、42、43、44分别位于所述的垂直相交处，并分别与相交的两条直波导親合，构成位于同一平面的井形波导结构；所述的四个任意闭环形状光微环41、42、43、44的上各设置有一个加热电极5，所述的第一下载波导31或第二下载波导32上设置有一个加热电极6。
[0013]优选地，所述的井形波导结构具有可扩展性，该结构上下左右可延伸出与之对称的井形波导结构。
[0014]优选地，此基于光微环的带宽可调光滤波器采用新型硅基集成电路材料利用平面工艺制作完成。
[0015]一种基于光微环的带宽可调光滤波器的制作材料为顶层硅为220nm的新型硅基集成电路材料。在深紫外光刻后，通过干法刻蚀获得硅基光子线波导结构。最后覆盖二氧化硅上包层，完成器件的光波导部分制作。实现器件可调功能所需要的加热电极通过在二氧化硅上沉积铝金属层，并进行光刻、腐蚀制作。器件的光输入与输出将采用光栅面耦合方式。
【主权项】
1.一种基于光微环的带宽可调光滤波器，其特征在于，包括由第一任意闭环形状光微环(41)和第二任意闭环形状光微环(42)构成的第一光微环组、由第三任意闭环形状光微环(43)和第四任意闭环形状光微环(44)构成的第二光微环组、输入波导(1)、输出波导(2)、第一下载波导(31)、第二下载波导(32);所述第一下载波导(31)分别与输入波导(1)、输出波导(2)垂直相交，所述第二下载波导(32)也分别与输入波导(I)、输出波导(2)垂直相交，四个任意闭环形状光微环(41 ；42 ;43 ;44)分别位于所述的垂直相交处，并分别与相交的两条直波导耦合，构成位于同一平面的井形波导结构；所述的四个任意闭环形状光微环(41 ；42 ;43 ;44)的上各设置有一个加热电极(5)，所述的第一下载波导(31)或第二下载波导(32)上设置有一个加热电极(6)。2.根据权利要求1所述的一种基于光微环的带宽可调光滤波器，其特征在于，所述的井形波导结构具有可扩展性，该结构上下左右可延伸出与之对称的井形波导结构。3.根据权利要求1所述的一种基于光微环的带宽可调光滤波器，其特征在于，采用新型硅基集成电路材料利用平面工艺制作完成。
【专利摘要】本实用新型提供一种基于光微环的带宽可调滤波器，该滤波器包括主要由两组任意形状光微环、四条直波导、四个微环加热电极及一个波导加热电极构成的井形型波导结构。所述井形波导结构，包含四条直波导，其中上下两条平行直波导分别为输入和输出波导。所述两组任意形状微环，分别处于直波导垂直相交处，并分别连接一个微环加热电极。所述波导加热电极，可位于任意一条直波导上。与现有的带宽可调光滤波器相比，本实用新型设计合理，具有带宽及中心频率可调范围大、精度高，低损耗等特点，能完成光通讯网路中的光信号下载、上传等功能，且集成度高，可以应用于光通讯网络中的信息下载与上传等领域，对光通讯网络的信息传输具有较大的意义。
【IPC分类】G02B6/293
【公开号】CN204855864
【申请号】CN201520515566
【发明人】杨建义, 詹士杰, 沈奥
【申请人】浙江大学
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月16日