专利名称：受激准分子灯装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种受激准分子灯装置。
背景技术：
例如在专利文献1或专利文献2中公知有如下技术在装载有受激准分子灯的受激准分子灯装置中，将从受激准分子灯所放射的200nm以下100nm以上的范围的紫外线，照射于被处理物的表面，通过所产生的臭氧和透过后的紫外线的复合效果，使被处理物表面的有机物等分解飞散而进行洗净。最近，随着作为被处理物的液晶显示装置的玻璃基板的大型化，受激准分子灯装置中，强烈需求有可大面积处理的照射面积增大化。因而，装载的受激准分子灯的发光管持续增长化，而收容受激准分子灯的灯室的内部容积或重量也增加中。
然而上述的受激准分子灯装置中，有以下的问题。
(1)受激准分子灯，其发光管长度超过1000mm，则灯的更换操作会变得困难。也即灯较长会容易产生挠曲，加上使用至寿命末期的受激准分子灯的发光管的玻璃会因紫外线而劣化，如果不慎重进行处理，则操作中的震动或冲击可能会使发光管容易破损。而且专利文献1所记载的灯室在取光窗玻璃上进行灯更换操作，当灯更换时发光管破损时，会有其碎片等掉到窗玻璃上而污染灯收容室，或灯基座等构件掉到窗玻璃上而产生破损等问题。另外，专利文献2所记载不具备取光窗的受激准分子灯装置中，在搬运基板的输送机装置上设置灯室的状态下进行灯更换，在灯更换时发光管破损的情况下，会有该碎片等污染输送机室内等问题。
(2)灯室的框体部分，因为受到受激准分子灯的热影响，而随着受激准分子灯的亮熄来反复进行热膨胀、收缩，但因灯室本身已经大型化，因而热膨胀所导致的伸长的绝对量会增加，在与装载有该灯室的输送机装置的接触部会产生摩擦，构件彼此之间产生摩擦，粉末飞散，而有污染基板内及输送机装置内的情况。
(3)在如专利文献1所述具备石英玻璃板所构成的取光窗的装置中，虽然向灯室内部导入并填充不活泼气体，维持比被处理室更高的状态，但若如上所述使装置大型化而窗面积变大，则构成窗的玻璃向外侧弯曲膨胀时，取光窗的中心部会极为接近基板，而在窗的周边部和中心部产生处理斑纹，或是接触到基板。
如专利文献2所述，根据不具备取光窗的受激准分子灯装置，虽然可解决取光窗向外膨胀而产生的不良问题，但并无法解决其他问题。
专利文献1日本特开2001-160376号公报专利文献2日本特开2004-113984号公报发明内容本发明是鉴于上述情况而做出的，本发明的目的在于提供一种即使对超过1000mm的长尺寸灯，也可简单且安全地进行更换，而可避免灯室内或输送机室内被污染，可靠度较高的受激准分子灯装置。
而且，其目的在于提供一种可避免灯室热膨胀，不会因灯室与输送装置等之间的摩擦而产生或漂浮有金属粉等，可防止被处理物或装置内部的污染或破损、劣化，而可谋求可靠度提高的受激准分子灯装置。
本发明的受激准分子灯装置，是在灯室内收容受激准分子灯，而将来自灯的紫外线照射往外部的受激准分子灯装置，其特征在于，具备在灯室内部平行排列的多个板状框架、成形为大致矩形箱型，形成有灯收容部的单元、和收容于上述灯收容部的受激准分子灯，上述单元，插入相对配置的框架之间，同时可取出地被该框架支撑。
另外，其特征在于，上述灯收容部形成于单元的底部。
另外，其特征在于，上述单元具备形成有取光部的壳体。
另外，其特征在于，上述单元经由壳体而支撑于上述框架。
另外，其特征在于，上述框架具备有冷却机构。
另外，其特征在于，上述冷却机构在框架主体形成有流路，在该流路内流通有冷却用流体。
另外，其特征在于，上述单元其内部为中空。
另外，其特征在于，具备供给气体的气体供给装置，上述气体流通于上述单元的内部，而从穿设于底面的喷出孔喷出。
另外，其特征在于，上述喷出孔设置在与受激准分子灯的最上部相对的位置。
另外，其特征在于，上述单元设置有灯的冷却机构。
另外，其特征在于，上述框架在底部形成有凸缘部，该凸缘部的上面形成有凹处。
发明效果本发明中，固定有受激准分子灯的单元可取出地被装载于相对配置的板状框架内，因而灯更换时，可按照每个单元将受激准分子灯取出至灯室的外部，而放置到安全场所，因而可防止灯更换时发光管破裂而污染处理室内部的意外。
因单元被配置于一对框架之间，同时被此一对框架所支撑，因而单元为可前后移动的状态，其可容易抽出，从而可简单进行灯的更换操作。
然后，通过在框架上部侧面和单元侧面之间设置空隙，即使框架和/或单元因灯在点灯时的热而膨胀，也可预先防止两构件摩擦，而避免金属粉等飞散于灯室内或处理室内。
而且在单元底部形成灯收容部，可将灯与工件的距离配置得比较近，因而可在灯所放射的光线衰减较少的状态下，以高效率照射工件。
而且在单元中设置壳体，万一灯破损时也可避免灯碎片飞散于被处理室内。
在框架具备冷却机构，可抑制灯室的热膨胀。
而且冷却机构优选为在框架主体形成流路，且在该流路内流通有冷却用流体的冷却机构。
另外，若使多个框架不产生温度差，则热膨胀的程度会平均化，而避免在灯室产生歪曲。
例如，若使用在每个框架中独立形成流路而对每个框架导入流体的机构，则通过循环于框架而使冷却流体的温度不会上升，在多个框架之间难以产生温度差。
单元内部形成为中空，比起单元内部形成实心的结构，重量可大幅减轻，而可降低因本身重量而产生的挠曲。
而且通过对单元的中空内部供给氮等不活泼气体并向被处理物喷出，可以通过使被处理物附近的氧气分压降低而使从灯所放射的紫外线的吸收降低，从而提高处理能力。
而且，若将喷出孔设置于包围灯的发光管的部分，则发光管周围会流过氮气，而可冷却灯。
图1以部分剖面表示本发明的受激准分子灯装置的侧视图；图2为图1的灯室的分解构造图；图3为图1的灯室部分的剖视图，也即A-A剖视图；图4为图1的灯室部分的剖视图，也即B-B剖视图；图5为放大表示单元与框架的接触部分的剖视图；图6说明供电连接部的构造的放大图；图7说明设置于单元上部的扣合机构的放大图；图8表示灯被保持的状态的放大剖视图；图9说明受激准分子灯的构造，(a)是管轴方向的剖视图，(b)是与管轴垂直方向的剖视图；图10单元底面的平面图；图11说明单元冷却装置的主要部分剖视图；图12说明本发明其他实施方式的图，取出1个单元加以表示的主要部分放大剖视图；图13说明本发明其他实施方式的图，取出1个单元加以表示的主要部分放大剖视图；图14说明本发明其他实施方式，(a)是从侧部看的分解构造图，(b)是侧视图；图15为图14的剖视图；
图16取出图15中的1个单元加以表示的放大图；图17表示另外的实施方式，放大表示1个单元的剖视图；图18表示另外的实施方式，放大表示1个单元的剖视图。
具体实施例方式
参考图1～图6说明本发明的第1实施方式。
图1是以部分剖面表示本发明的受激准分子灯装置整体的侧视图，图2是图1的灯室的分解构造图。图3及图4都是图1的灯室部分的剖视图，图3为A-A剖视图，图4为B-B剖视图。另外，图5是放大表示单元与框架的接触部分剖面的说明图，图6是供电连接部的构造的说明图。
参考图1～图4说明装置整体。如图1所示，大致矩形箱型的灯室10下方形成有处理室20。该处理室20下方具备输送器等未图示的搬运机构，搬运玻璃基板等工件W而照射有来自灯室10的准分子光，并施加规定处理。
灯室10是具备形成侧面的框体11、覆盖其上部开口的盖12，和配置于框体11下方的基座13，经由该基座13而配置于处理室20上。另外，图1中117是冷却流体流通用管路，118是处理气体供给用管路，在后详述。
灯室下部开放(参考图1、图4)，受激准分子灯121的发光管面对处理室20的内部空间而配置。
另外，在受激准分子灯121的上部，如图1所示在一端121a侧具备电源部130，电源部130如图3所示被固定安装于框架110之间。
在灯室10内部平行且等间隔地并列配置有多个厚板状框架110(参考图2)，灯室10内部被框架110划分为细长的矩形。如图3、图4所示，邻接配置的框架110、110之间配置有箱状单元120。另外图2中115是框架冷却用导管，116是按压构件，图3、图4中，设置于框架110的壁厚部分的F是由上述导管115所形成的流路。在后对它们进行说明。
框架110例如由铝构成。框架110被固定于基座13上，下部形成有在宽度方向扩张的凸缘部112，剖面形成为倒T字形(参考图3、图4)。单元120以放置在所述框架110的凸缘部112上的状态而被设置。
框架110虽以其凸缘部112支撑单元120，但由于具备侧壁部111并形成某种程度的高度，可谋求灯室10的机械强度提高，难以产生灯室挠曲或歪曲。
另一方面，单元120例如由铝构成的厚度2～8mm的板材组合构成，内部形成为中空，顶板122上部设置有单元120取出用的把手123。如果使单元120内部为中空，则可谋求轻量化，而成为灯室10难以挠曲的构造。
图4中，单元120的宽度S1形成为比框架110的间隔S2窄0.5～5mm，如图5的放大图所示，单元120和框架110之间形成有空隙d。因此即使受激准分子灯121发热使单元120热膨胀，由于与框架110之间形成有充分的空隙，因而可防止单元120和框架110之间产生摩擦或歪曲。
另外，在框架110上产生单元120与框架110摩擦的金属粉时，为了能将其暂时回收而在凸缘部112的上面设置有凹处113。该凹处113例如由延伸于框架110长边方向的长槽构成，由此即使金属粉等产生时也可避免其马上飞散，而维持处理室或灯室内部的清洁。
单元120，在图1中可取下灯室10的盖12，拿着把手123提起单元120的一端120a侧，向离开电源130的方向拉出，从而简单地自灯室10取出。
从而，更换受激准分子灯121时，可将单元120运出至受激准分子灯装置100外部来进行操作，可以安全且操作性良好地进行，即使在更换操作中灯破损，灯的碎片也不会污染处理室内或灯室内。
根据以上的本发明，因单元120是被放置支持于框架110上的构造，因而单元120能自由出入于灯室10，可简单地将单元120运出至灯室10的外部，可以安全而简单地进行灯的更换。
另外，使其高度较框架110的侧壁部111更高，可增加机械强度，可以制作难以产生挠曲或歪曲的灯室10。
接着参考图3及图6说明供电连接部的构造。图6是说明供电连接部的构造的放大图，对于前段说明过的构造以相同标号表示并省略说明。
在电源部130的下部，对应每个受激准分子灯121而突设有弯曲板簧形成的供电端子131。根据图6(a)，若将从灯室10取出的单元120再度收容至灯室10，则被设置于单元120的供电凸环(給電突子)124会如图6(b)所示按压接触供电端子131，由此使电源部130和受激准分子灯121电连接。如此的供电连接虽如图3所示设置于各受激准分子灯121，但因其与上述将单元120收容至灯室10的操作同时进行，因而操作极为简单并也可确实地进行供电连接。
如此一来，受激准分子灯121和电源部130的连接关系仅以供电端子131与供电凸环124的按压状态的接触来形成，在安装单元120的同时就可供电结合，因而不需要在各受激准分子灯121构成供电连接，而可以极为简单的进行灯的更换操作。
单元与框架以例如图7所示的机构来定位。图7是图4所示的灯室剖视图中单元与框架的定位机构部分的放大图。图7(a)是单元的长度方向垂直剖视图，图7(b)是(a)的C-C剖视图。在单元120的顶板122的侧面上，通过压入等方法设置有在宽度方向上突出的导向销122a，与此导向销122a嵌合的嵌合槽111a形成于框架110的阶部上面。将单元120收容于灯室时，若使单元120在框架110上沿长边方向滑动，则导向销122a会嵌合于嵌合槽111a而进行单元120与框架110的定位，同时限制单元120在灯室内的长边方向的移动。通过此处的定位，可得到之前所说明的供电端子与供电凸环的电连接，而确实达成受激准分子灯的供电接合。
受激准分子灯例如下所述被装配于单元中。
如图4所示在各单元120的底面120c的大致中央部，例如在长边方向两处形成有向内侧突出且剖面为半圆状的槽，分别设置有灯收容部125。各灯收容部125，如图8的放大图所示，突设有一对保持部件126a、126b，受激准分子灯121则被此保持部件126a、126b支撑而被装配于单元120。另外图8中的127是喷出孔，箭头是表示处理气体的流动，都在以下加以说明。
灯保持部件126a、126b，例如由形成为U字形的线型弹簧所构成，U字部分可向相互离开的方向发生变形，仅将灯插入上方即可装配于单元120，可自由且容易地装卸。这种保持部件126a、126b虽然并未在此图示，但在受激准分子灯121的长边方向设置有多处。
图9是说明受激准分子灯的构造的剖视图，(a)是管轴方向剖视图，(b)是与管轴垂直的方向的剖视图。
受激准分子灯121例如构成为，具备由合成石英玻璃构成且内部封存有氙气的直管状发光管121b，该发光管121b外表面上附加设置有半圆筒状的外部电极121c，另一方面，发光管121b内部配置有线圈状的内部电极121d，内部电极121d与外部电极121c之间施加有高频电压。121e是由为了放电稳定化而具备的电介质所构成的筒管，例如玻璃管。此筒管121e内部插入有内部电极121d。
内部电极121d的两端分别连接有钼所构成的金属箔121f，此金属箔121f被埋设于形成在发光管121b端部的缩封部(ピンチシ一ル部)121g中，使内部电极121d悬架于发光管内，同时发光管121b被密封。金属箔121f的外端部焊接有外部导棒(リ一ド棒)121h，该外部导棒被取出至发光管外部。另外121i是为了限制玻璃管121e的半径方向的移动而从发光管121b的内壁向中心方向突出形成的支柱。
若在内部电极121d和外部电极121c之间施加电压，则会经由发光管121b及玻璃管121e产生放电，氙气在放电空间内被激发而产生波长172nm的准分子光，并放射至发光管121b外部。
根据上述构成的受激准分子灯121，可得到良好放电特性，同时灯构造比较简单，且可容易制作长尺寸的灯。
当然，受激准分子灯构造并不限定于上述构成而可适当变更。
上述受激准分子灯装置中，也可在框架具备冷却机构。
例如图2所示，在框架110的侧壁部111的一侧面，沿框110的长边方向形成有2条剖面U字的贯通槽。贯通槽114的内部以折返部115a突出至框架110外部的状态嵌入有外形成大致U字形的导管115，其上面附加设置板状的按压构件116而一体化固定。通过此导管115，可在各框架110上形成图3、图4等所示的流路F。
根据此实施方式，则如图2所示在导管115的一方开口形成冷却用流体的供给口115b，另一方开口形成排出口115c，前图1所示的冷却流体流通用管117的一方连接于供给口115b，而另一方的管(117)则连接于排出口115c。
若向导管115供给冷却流体，则流体会流过形成于导管115内部的流路F，一边传递框架110的热量一边循环，由此使框架110冷却。流体最后会由排出口115c排出至灯室10外部。
另外，如图3、图4所示具备多个框架110、110、…时，可使各框架110、110、…的导管115、115、…连通，而成为冷却用流体循环于多个框架110、110、…之间的构造，也可对每个框架110、110、…设置独立的冷却用流体的供给排出装置的构造。对每个框架独立流入流体时，若像该实施方式那样在框架长边方向来回形成导管115，则冷却流体的导出导入部会被收集在框架110的单侧，因而可良好地使流体的导出导入路径的构成简单化。
使流体循环时，流体本身因通过多个框架110、110、…而升温，预想到其冷却效能会逐渐降低，因而在每个框架110、110、…设置独立的冷却路径较好。该情况下，可防止框架110、110、…之间产生温度差，从而框架110、110、…不会产生热膨胀差，而可避免灯室10发生歪曲。
如上所述，在框架110具备冷却机构，即使受激准分子灯121发热而加热单元120，也可抑制框架110成为高温，而避免热膨胀。因此，可防止灯室10发生歪曲，灯室10与处理室20之间的接合部不会产生摩擦，而可防止金属粉等的产生。而且，独立冷却框架110时，减少框架110之间的热膨胀差，可有效消除灯室10的歪曲。
受激准分子灯装置中，为了对氮等不活泼气体或工件施加规定处理，也可设置供给处理气体的装置。
例如从图1所示的气体供给用管118，将气体导入至单元120主体的中空内部。在单元120中如图8的剖视图所示形成有喷出孔127，被导入至单元120内部的气体，如箭头所示，穿过灯收容部125的壁与受激准分子灯121的空隙，向着下方处理室喷射。
如该实施方式所示，将喷出孔127形成在对应受激准分子灯121的发光管最上部的位置(参考图8)，会使气体流动于受激准分子灯121的周围，因而气体也有助于冷却灯而尤其理想。这样的喷出孔，如图10的由单元底面侧看的平面图所示，跨单元的长边方向均等形成，可使处理气体的浓度变得平均而理想。
以上，使用不活泼气体做为处理气体时，通过降低被搬运至处理室内的工件附近的氧气浓度，可减少受激准分子灯121所放射的紫外线被氧的吸收，因此可对工件进行高效率的光照射。当然，此外也可根据工件处理而选定适当的处理气体。
图11是设置了冷却装置的单元的说明图，是取出一个单元加以表示的主要部分放大剖视图。此图相当于之前图1的B-B剖面。
如同图所示，单元120的内部形成为中空，在与形成于其底面的灯收容部125对应的内面，设置有形成为槽状的导管保持部128。然后在此导管保持部128放置冷却流体流过的导管P，通过省略图示的安装构件来紧贴固定。另外，冷却流体例如由水等构成。
如此一来，通过在单元120中设置冷却装置，受激准分子灯121会被冷却而提高灯效率，同时单元120主体的热膨胀会被抑制，而可有效抑制装置整体产生歪曲。
以上，虽说明了本发明的第1实施方式，但上述构造仅为一例，当然可适当变更为可置换的构造。
例如第1实施方式中，虽将电源部安装于框架而固定于装置(参考图3)，但也可将该电源部安装于单元侧。此情况下，在灯更换时，可接连着将灯安装于单元的操作，当场完成灯与电源部的供电连接，确实达成供电连接，而得到高可靠度。
另外，对于电源部与灯之间的供电连接构造，并不限定于使用板状端子与凸环按压的连接装置，也可使用公知的供电连接构造。例如公母头连接器或使用压接端子进行螺旋固定等理想方法。
而且上述实施方式中，虽将处理气体的喷出孔设置为对应灯的最上部(参考图8)，但并不限定于此，也可设置在其下侧的位置，或是设置在灯收容部与灯收容部之间。
另外，图8中，虽表示受激准分子灯与单元未接触的状态的例子，但当然不限定于此，也可在灯与单元底面接触的状态下进行保持。另外灯与单元紧贴而保持的情况下，即使单元轻微振动，灯的移动也会被限制，因而可抑制灯发生不理想的转动或上下方向的振动。
另外，灯的保持部件也不限定于图8所示结构。例如也可使用具有剖面形成半圆弧状的支撑部的板状支撑构件，从下方支撑灯并螺旋固定于单元上。
另外上述第1实施方式中，虽然是单元放置在框架的凸缘部上而被支撑的构造，但本发明并非限定于此方式。
例如图12，是说明本发明其他实施方式的图，是取出1个单元来表示的主要部分放大剖视图。另外，在此对与图1～图11已所说明的构造相同的构造，附加相同标号而省略其说明。
图12中，单元120的顶板122，其两侧缘部向下方箱状的单元侧面的外侧延伸而突出，突出部122A、122A被放置在设置于一对框架110的侧壁部111上的阶部111A、111A上，可自由取出地被支撑。
如此一来，形成于框架110的单元120的支撑部，就不限于上述的凸缘部，在至少一部分上放置单元即可。
另外此例中，被设置于框架的凸缘部112因不支撑单元，因而不需勉强设置凸缘部112，但若预先形成凸缘部112，当框架110与单元120摩擦产生金属粉等时，可暂时对其进行回收，因而可维持处理室或灯室内部的清洁。
图13是说明本发明另一实施方式的图，是取出1个单元来表示的主要部分放大剖视图。另外，在此对与图1～图12已说明的构造相同的构造，附加相同标号而省略其说明。
此实施方式中，一对框架110、110，其侧面111B、111B向着下方使间隔距离逐渐变窄地形成为圆锥状。单元120，其侧面120B、120B形成为向着下方而宽度变小，通过嵌合于上述一对框架110、110之间，而被可装卸地支撑。如此一来，即使单元与一对框架的侧面成为圆锥状，使两者嵌合而支撑，也可容易进行单元的取出。
另外此例中，虽也没有必要勉强设置凸缘部112，但若预先形成凸缘部112，当框架110与单元120摩擦产生金属粉等时，可暂时对其进行回收，因而可维持处理室或灯室内部的清洁。
接着，说明本发明的另一实施方式。图14用于说明另一实施方式，(a)为由侧部看的分解构造图，(b)是侧视图。图15是图14的剖视图，图16是取出图15中1个单元来表示的放大图。此实施方式，是对上述第1实施方式的基本构造进一步设置覆盖灯收容部的壳体的例子。此实施方式中框架与单元的构造与第1实施方式相同，在将单元放置于框架之间这一点上，有同样的作用效果。另外在以下的说明中，对与之前图1～图13所说明的构造相同的构造，以相同符号进行表示而省略其说明。
壳体200，例如具备由侧板201a与端板201b所构成的框构件201、和覆盖框构件201的开口部的窗构件202而构成。框构件201，配合单元120的底面形状而形成为矩形形状，其上端紧贴于单元120的顶板122或底面上，以省略图示的螺栓等来结合。如图15、图16所示，框构件201的下端部设置有窗构件202安装用的支撑构件201A，而窗构件202的侧边部嵌合于此支撑构件201A与框部主体201之间所形成的固定槽D。
窗构件202如图14所示，是覆盖2支受激准分子灯121程度的大小，而材质以合成石英玻璃为佳。这样的窗构件202虽为适合受激准分子灯121的长度的大小，但可对应工件W的大小而缩短窗构件202的短边方向长度。
如图15所示，在灯收容部125下方，在灯的短边方向多个位置设置有延伸于灯短边方向的臂状灯保持部件126c，受激准分子灯121由此从下方被支撑，而收容于灯收容部125内。
如图16所示，在单元120的灯收容部125及底部设置有喷出孔127，从前述图14的气体供给用管路118被导入至单元120内的气体，会如该图箭头所示通过该喷出孔127，向着由单元120底面与壳体200所形成的空间H内，或向着外部空间(被处理室)排出。流入壳体200所包围的空间H的气体，会从框构件201与窗构件202的嵌合部之间的空隙漏出，或是从省略图示的排气口排出。
处理气体例如是不活泼气体(具体来说为氮气)，在壳体200的内部空间H填充不活泼气体，可使从受激准分子灯121所放射的光线更有效的照射于工件。如此在壳体200的内部空间H填充不活泼气体时，虽然有将内部压力维持于比外部(被处理室)气氛更高的状态的情况，但因为窗构件202的大小可如上所述对应工件面积而缩小，因而可避免玻璃向外侧弯曲膨胀，减少窗构件202的最大挠曲量，而可使该窗构件202与工件之间的距离在整个窗构件202范围内都为一定地进行支撑。因此，可避免在窗的周边部与中心部产生处理斑纹，或窗构件202接触到基板。另外，窗构件202与工件的距离例如为0.5～10mm(以3～5mm为佳)。
图17表示另外一个实施方式，是放大表示1个单元的剖视图。另外，对与之前图1～图16所说明的构造相同的构造，以相同符号进行表示而省略其说明。
此实施方式，相比之前图16所示结构，是沿着灯121安装反射镜203的例子，该反射镜203将受激准分子灯121所放射的光线向着纸面上的下方(窗构件202侧)进行反射。反射镜203以光洁的铝板弯折形成，跨灯121的长边方向的全长而配置。
处理气体喷出孔127仅形成于对应灯收容部125的顶部的部分，被导入至单元120内部的处理气体沿受激准分子灯121的外周流过，同时更有效率地被导入壳体200的内部空间H侧。而且壳体200中，在框构件201上多个位置形成有喷出孔204，在壳体200的内部空间H填充不活泼气体，而可减少内部的氧浓度。通过这样的处理气体和其流路的设定内容，即使以金属的光洁材料构成反射镜203，因为可以使壳体200内部氧浓度降低，因而可有效防止紫外线照射造成金属构件的氧化现象。
图18表示另外的实施方式，是放大表示1个单元的剖视图。另外，对与之前图1～图17所说明的构造相同的构造，以相同符号进行表示而省略其说明。
此实施方式，是将壳体200的框构件201(具体为支撑构件201A)放置在框架110中的凸缘部112上，来进行单元120的支撑的例子。如此一来在本发明中，也可经由壳体200来支撑单元120。该情况下，也可将框架中的冷却机构扩大至壳体200的侧面。
另外，同图所示的实施方式中，也具备之前图11所说明的单元的冷却装置。也即，在对应灯收容部125的内面，设置有形成为槽状的导管保持部128，该导管保持部128放置有冷却流体流过的导管P。如此一来，通过对单元120设置冷却装置，受激准分子灯121会被冷却而提高灯效率，同时单元120主体的热膨胀会被抑制，而可有效抑制装置整体产生歪曲。
以上，虽说明了本发明的各种实施方式，但本发明并不限定于上述构造，可适当进行变更。例如壳体200与单元120之间的结合部构造不限于以螺栓等结合固定的方式，也可在其间介入密封材料等而连接固定为气密状态。
如以上所述，根据本发明，即使对超过1000mm的长尺寸灯，也可简单且安全地进行更换，同时可抑制装置整体产生的歪曲，而有效避免灯室内或输送机室内被污染。
权利要求
1.一种受激准分子灯装置，是在灯室内收容受激准分子灯，而将来自灯的紫外线照射往外部的受激准分子灯装置，其特征在于，具备在灯室内部平行排列的多个板状框架、被成形为大致矩形箱型，底部形成有灯收容部的单元、和被收容于所述灯收容部的受激准分子灯，所述单元，被插入于相对配置的框架之间，并可取出地被该框架支撑。
2.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述灯收容部形成于单元的底部。
3.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述单元具备形成有取光部的壳体。
4.如权利要求3所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述单元经由壳体而支撑于所述框架。
5.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述框架具备有冷却机构。
6.如权利要求5所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述冷却机构在框架主体中形成有流路，在该流路内流通有冷却用流体。
7.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述单元其内部为中空。
8.如权利要求7所述的受激准分子灯装置，其特征在于，具备用于供给气体的气体供给装置，所述气体在所述单元的内部流通，而从穿设于底面的喷出孔喷出。
9.如权利要求8所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述喷出孔设置于与受激准分子灯的最上部相对的位置。
10.如权利要求7所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述单元设置有灯的冷却机构。
11.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述框架在底部形成有凸缘部，在该凸缘部的上面形成有凹处。
全文摘要
提供一种即使对超过1000mm的长尺寸灯，也可简单且安全地进行更换，而可避免灯室内或输送室内被污染，可靠度较高的受激准分子灯装置。一种在灯室内收容受激准分子灯，而将来自灯的紫外线照射往外部的受激准分子灯装置，其特征在于，具备在灯室(10)内部平行排列的多个板状框架(110)、成形为大致矩形箱型且底部形成有灯收容部(125)的单元(120)和被收容于灯收容部的受激准分子灯(121)，所述单元(120)被插入相对配置的框架(110、110)之间，同时可取出地被该框架(110、110)支撑。
文档编号H01J65/00GK1750230SQ20051009998
公开日2006年3月22日 申请日期2005年9月13日 优先权日2004年9月13日
发明者村上悟司, 藤次英树, 广濑贤一 申请人:优志旺电机株式会社