专利名称：面板处理用排气推车的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在将等离子体显示板等面板多层状层叠后导入处理炉对各面板内进行密封排气处理时使用的面板处理用排气推车。尤其涉及特征在于能使该面板处理用排气推车小型化、从而可以减少各种成本的面板处理用排气推车。
背景技术：
以往，在对等离子体显示板等面板进行密封排气处理时，如日本专利公开的特开2003-146409号公报及特开2004-127900号公报中公开的那样，将上述面板多层状层叠在面板处理用排气推车上，利用该面板处理用排气推车将层叠的各面板导入处理炉，以对各面板进行密封排气处理。
另外，作为以往的面板处理用排气推车，一般如图1(A)、(B)所示，配设有内部收容有真空泵(未图示)等、下部设有在导轨R上行驶的车轮11并在后部设有隔壁12的推车本体10；在该推车本体10上多层状层叠所述面板P后进行保持的面板保持构架20；以及对各面板P进行密封排气处理的排气处理构件。
在此，在所述面板保持构架20中，在所述推车本体10的上面配置有构成为平面四边形的四根构架支柱21，在这些构架支柱21上设有多层支撑梁22，在各支撑梁22上设有保持所述面板P的支撑构件23。
另外，在所述排气处理构件中，在所述推车本体10上面的一根构架支柱21的附近设有排气头支柱31。另外，在该排气头支柱31上，对应所述支撑梁22安装多层排气头安装构件32，且在各排气头安装构件32上设有对面板P内的密封排气处理用的端管33进行保持的排气头34。另外，在所述面板保持构架20的附近设有隔热箱35。
另外，如图2所示，在该隔热箱35内收容有分开地将冷却水导入所述各排气头34中的冷却水独立导入管36a；分开地使冷却各排气头34后的冷却水返回的冷却水独立排出管36b；将用于使端管33保持在排气头34上的压缩空气导入各排气头34中的各高压空气引导管36c；以及用于从各排气头34通过端管33对各面板P内进行真空排气处理的各排气管36d，这些管子36a～36d分别与各排气头34相连。
然而，如上所述，如果在隔热箱35的内部配置许多管子36a～36d，则存在如下问题该隔热箱35将变大，而且由于将冷却水导入各排气头34中的冷却水独立导入管36a和进行各面板P的真空排气处理的排气管36d一起收容在该隔热箱35内，故该排气管36d的热量将传给所述冷却水独立导入管36a，使冷却水的温度上升，从而使隔热箱35的隔热效率变差。
另外，如上所述，由于将大的隔热箱35设置在推车本体10上，故还存在如下问题推车本体10变大，使面板处理用排气推车大型化，其制造成本高，而且在将层叠在该面板处理用排气推车中的各面板P导入处理炉进行密封排气处理时，加热处理效率低下，运行成本高。
另外，近年来，为了提高将层叠在面板处理用排气推车中的各面板P导入处理炉进行密封排气处理时的加热处理效率，提出了如下技术如图3所示，在推车本体10上分别设置两个如上所述的面板保持构架20和排气处理构件，并利用一辆面板处理用排气推车对配置在各面板保持构架20中的两列面板P进行密封排气处理。
然而，即使像这样在推车本体10上分别设置两个面板保持构架20和排气处理构件，如上所述，由于隔热箱35大，故依然存在与上述情况相同的问题，无法取得很好的效果。
本发明课题在于，解决在将等离子体显示板等面板多层状层叠后导入处理炉对各面板内进行密封排气处理时使用的面板处理用排气推车中存在的上述问题。
即，在本发明的面板处理用排气推车中，以在对多层状层叠的各面板内进行密封排气处理时使冷却各排气头的冷却水的配管及其隔热等有效地进行为课题。
另外，在本发明的面板处理用排气推车中，以缩小所述隔热箱，使面板处理用排气推车小型化，减少其制造成本，并提高将各面板导入处理炉中进行密封排气处理时的加热处理效率，减少运行成本为课题。
发明内容
在本发明中，为了解决上述问题，在包括推车本体、在该推车本体上多层状层叠面板后进行保持的面板保持构架、以及相对各面板设有对面板内的真空排气处理用的端管进行保持的排气头的排气处理构件的面板处理用排气推车中，在所述面板保持构架的附近设置隔热箱，在该隔热箱内设置将冷却所述各排气头的冷却水导入的冷却水集合导入管和使冷却各排气头后的冷却水返回的冷却水集合排出管，在所述各排气头上分别连接有从所述冷却水集合导入管及冷却水集合排出管引出的引导管，另一方面，在隔热箱外设有用于从所述各排气头通过端管来进行各面板内的排气的各排气管、以及对用于使端管保持在排气头上的压缩空气向各排气头进行引导的高压空气引导管。
在此，作为所述的面板保持构架，可以采用在所述推车本体上竖立设置至少两对构架支柱、且在各对构架支柱之间跨设保持面板的支撑梁结构，在该面板保持构架的附近设置隔热箱时，最好将隔热箱设置在所述的一对构架支柱之间的空间部。
另外，作为所述面板保持构架，可以采用在所述推车本体上竖立设置三对构架支柱、且在相邻对的构架支柱之间跨设保持面板的支撑梁结构，在该面板保持构架上最好配置两列面板。
另外，像这样在面板保持构架上设置两列面板的情况下，最好在两对构架支柱之间的空间部分别设置所述隔热箱。另外，最好将用于从对应于两列面板设置的各列排气头通过端管来进行各面板内的排气的各列排气管分别与位于中间的主排气管相连。
在本发明的面板处理用排气推车中，如上所述，由于在隔热箱内设置对冷却各排气头的冷却水进行引导的冷却水集合导入管和使冷却各排气头后的冷却水返回的冷却水集合排出管，且在各排气头上分别连接从所述冷却水集合导入管及冷却水集合排出管引出的引导管，故与像以往那样、将冷却水分开地导入各排气头的冷却水独立导入管和分开地使冷却各排气头后的冷却水返回的冷却水独立排出管设置在隔热箱内的情况相比，可以使隔热箱小型化。
另外，在本发明的面板处理用排气推车中，由于将用于从各排气头通过端管来进行各面板内的排气的各排气管设置在隔热箱外，故可以使隔热箱更加小型化，而且排气管的热量也不会传给所述冷却水集合导入管而导致冷却水的温度上升，从而可提高隔热箱的隔热效率。
另外，如上所述，由于可以使隔热箱小型化，其结果是也可以将该隔热箱设置在面板保持构架的一对构架支柱之间的空间部，从而可以减小面板处理用排气推车的整体尺寸。
其结果是，可减少面板处理用推车的制造成本，而且还可提高将层叠在该面板处理用排气推车上的各面板导入处理炉进行密封排气处理时的加热处理效率，并可减少运行成本。
另外，作为所述面板保持构架，如果采用在所述推车本体上竖立设置三对构架支柱、且在相邻的各对构架支柱之间跨设保持面板的支撑梁结构，在该面板保持构架上配置两列面板，并在两对构架支柱之间的空间部分别设置隔热箱，那么可以减轻面板保持构架的重量、减少热负载，而且还可以缩短面板处理用排气推车的长度，从而可以进一步提高将层叠在该面板处理用排气推车上的各面板导入处理炉进行密封排气处理时的加热处理效率，进一步减少运行成本。
从下面的描述，并参照图示本发明的具体实施例的附图，可了解本发明的这些及其它的目的、优点和特征。
图1是以往的面板处理用排气推车的概略俯视图及概略侧视图。
图2是表示在以往的面板处理用排气推车中，各排气头与设于隔热箱内的各管子连接状态的概略说明图。
图3是载置有两列面板的、以往的面板处理用排气推车的概略俯视图及概略侧视图。
图4是在本发明的一实施形态中，载置有两列面板的面板处理用排气推车的概略俯视图及概略侧视图。
图5是表示在同一实施形态的面板处理用排气推车中，各排气头与设于隔热箱内外的各管子连接状态的概略说明图。
图6是表示在同一实施形态的面板处理用排气推车中，进行各面板内的排气的各排气管的配管状态的概略俯视图及概略侧视图。
图7是载置有一列面板的其它实施形态的面板处理用排气推车的概略俯视图及概略侧视图。
(元件符号说明)10推车本体11车轮12隔壁20面板保持构架21构架支柱22支撑梁23支撑构件32排气头安装构件33端管34排气头35隔热箱36c高压空气引导管36d排气管37冷却水集合导入管37a引导管38冷却水集合排出管38a引导管39主排气管P面板R导轨具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施形态的面板处理用排气推车进行具体的说明。另外，本发明的面板处理用排气推车并不局限于下述实施形态，可以在不改变本发明的主旨的范围内作适当的改变。
如图4所示，在本实施形态的面板处理用排气推车中设有内部收容有真空泵(未图示)等、下部设有在导轨R上行驶的车轮11且在后部设有隔壁12的推车本体10；在该推车本体10上多层状层叠所述面板P后进行保持的面板保持构架20；以及对各面板P进行密封排气处理的排气处理构件。
另外，在本实施形态的面板处理用排气推车中，作为所述面板保持构架20，在所述推车本体10上配置构成为两个四边形的三对(六根)构架支柱21，并设置多层跨设在相邻的各对构架支柱21之间的对面板P进行保持的支撑梁22，在各支撑梁22上设置对所述面板P进行保持的支撑构件23，从而可以载置两列面板P。
另外，作为对各面板P进行密封排气处理的排气处理构件，在第一列和第二列的一侧的构架支柱21上，对应所述支撑梁22安装多层排气头安装构件32。另外，在所述各排气头安装构件32上设置对面板P内的密封排气处理用的端管33进行保持的排气头34。另外，在第一列和第二列的成对的所述构架支柱21之间的空间部分别设置隔热箱35。
另外，如图5所示，在所述各隔热箱35内设置对冷却各排气头34的冷却水进行引导的冷却水集合导入管37和使冷却各排气头34后的冷却水返回的冷却水集合排出管38，在各排气头34上分别连接有从所述冷却水集合导入管37及冷却水集合排出管38引出的引导管37a、38a。
另一方面，在所述隔热箱35外，分别配置有将用于使端管33保持在排气头34上的压缩空气导入各排气头34中的各高压空气引导管36c和从各排气头34通过端管33用于进行各面板P的真空排气处理的各排气管36d。
这样，可以像上述那样使隔热箱35小型化，将其配置在构架支柱21之间的空间部，而且排气管36d的热量不会传给所述冷却水集合导入管37而导致冷却水的温度上升。另外，与将排气管36d设置在隔热箱35内的情况相比，由于排气管36d内部的温度上升，故可促进排气管36d的内壁面上的逸出气体的排出，从而可以更快地排气成高真空。
另外，在本实施形态的面板处理用排气推车中，如上所述，为了实现用于从对应于两列面板P设置的各列排气头34通过端管33来进行各面板P内的排气，在进行各列排气管36d配管时，如图6(A)、(B)所示，在位于中间的直径较大的主排气管39的两侧上分别连接各列排气管36d，通过该主排气管39将从各列排气管36d引出的空气排出。另外，根据需要，通过所述主排气管39将填充到各面板P内的气体导入各列排气管36d中，将导入各排气管36d中的气体从所述各排气头34通过端管33填充到各面板P内。如果像这样，那么只要设置一个直径较大的主排气管39即可，与对应各列排气管36d设置两个主排气管39的情况相比，可以减少成本。
另外，在本实施形态的面板处理用排气推车中，为了在所述面板保持构架20中载置两列面板P，在推车本体10上配置构成为两个四边形的三对(六根)构架支柱21，共用第二列的构架支柱21，由于采用了如上结构，故该面板保持构架20变小，从而可使面板处理用排气推车进一步小型化。其结果是，可以减少面板处理用排气推车的制造成本，而且可以进一步提高将层叠在该面板处理用排气推车上的各面板P导入处理炉(未图示)进行密封排气处理时的加热处理效率，减少运行成本。
另外，在本实施形态的面板处理用排气推车中，在所述面板保持构架20上载置了两列面板P，但如图7所示，也可以在推车本体10上配置构成为一个四边形的两对(四根)构架支柱21，在面板保持构架20上载置一列面板P。
虽然本发明已通过例子完全地描述，但应该注意，各种变更或修正对于熟悉本技术领域的人员来说是明显的。
因此，除非这种变更或修正背离本发明的范围，否则应该认为包括它们。
权利要求
1.一种面板处理用排气推车，包括推车本体、在该推车本体上将所述面板层叠为多层后进行保持的面板保持构架、以及针对各面板设有对面板内的密封排气处理用的端管进行保持的排气头的排气处理构件，其特征在于，在所述面板保持构架的附近设置有隔热箱，在该隔热箱内设置有将冷却所述各排气头的冷却水导入的冷却水集合导入管和使冷却了各排气头后的冷却水返回的冷却水集合排出管，在所述各排气头上分别连接有从所述冷却水集合导入管及冷却水集合排出管引出的引导管，另一方面，在隔热箱外设有从所述各排气头通过端管来进行各面板内的排气的各排气管、以及对用于使端管保持在排气头上的压缩空气向各排气头进行引导的各高压空气引导管。
2.如权利要求1所述的面板处理用排气推车，其特征在于，在所述面板保持构架中，在所述推车本体上竖立设置有至少两对构架支柱，且在各对构架支柱之间跨设有保持面板的支撑梁，所述隔热箱设置在面板保持构架的一对构架支柱之间的空间部。
3.如权利要求1所述的面板处理用排气推车，其特征在于，在所述面板保持构架中，在所述推车本体上竖立设置有三对构架支柱，且在相邻对的构架支柱之间跨设有保持面板的支撑梁，在面板保持构架上配置有两列所述面板。
4.如权利要求3所述的面板处理用排气推车，其特征在于，在所述面板保持构架的两对构架支柱之间的空间部分别设置有所述隔热箱。
5.如权利要求3所述的面板处理用排气推车，其特征在于，用于从与配置在所述面板保持构架上的两列面板对应设置的各列排气头通过端管来进行各面板内的排气的各列排气管分别与位于中间的主排气管相连。
全文摘要
一种面板处理用排气推车，包括将面板(P)多层状层叠在推车本体(10)上后进行保持的面板保持构架(20)、以及设有对进行各面板内的密封排气处理的端管(33)进行保持的排气头(34)的排气处理构件，在面板保持构架的附近配设的隔热箱(35)内设有冷却水集合导入管(37)和冷却水集合排出管(38)，在各排气头上分别连接有从冷却水集合导入管和冷却水集合排出管引出的引导管(37a、38a)，另一方面，在隔热箱外设有用于进行各面板内的排气的各排气管(36d)和对用于使端管保持在排气头上的压缩空气进行引导的各高压空气引导管(36c)。由此，可使将多层状层叠的面板导入处理炉并对各面板内进行密封排气处理的面板处理用排气推车小型化，并可减少各种成本。
文档编号H01J11/48GK101022069SQ200610110909
公开日2007年8月22日 申请日期2006年7月31日 优先权日2006年2月14日
发明者新谷昌德, 山村正道 申请人:中外炉工业株式会社