专利名称：一种超高压短弧水银灯的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光刻制造领域，尤其涉及一种超高压短弧水银灯
背景技术：
一直以来，超高压短弧汞灯的爆炸问题，一直困扰着制造业，业界投入了大量人力 和物力，因一直无法找到造成爆炸的原因，所以爆炸的问题一直无法得到解决。参见图1，为超高压短弧水银灯的结构示意图，其中，金属帽7通过钼箔8与包含有 垫片92的金属杆9相焊接导通。现有技术中，由于超高压短弧水银灯金属帽需要与灯的内部形成电连接，因此，超 高压短弧水银灯需要使用焊接材料将不同的部件包括导电钼箔和电极之间焊接起来以灯 内外电的导通。目前，超高压短弧水银灯的导电钼箔的焊接方法通常使用钼金箔(即纯钼 金或基材为钼，表面镀钼金的焊接材料)固定钼箔8在垫片92上，由于钼金是超高压短弧 水银灯焊接工艺中的基本焊料，其不仅应用于钼箔8与包含有圆形垫片金属杆的焊接中， 还应用于钼箔8与包含有浆形垫片金属杆的焊接中。公司经过大量的研究发现，超高压短 弧水银灯的爆炸，是由于白金焊料会致使超高压短弧水银灯在使用中存在安全隐患，具体 的，在超高压短弧水银灯工作中，公司经过研究发现，钼金与超高压短弧水银灯中的水银蒸 气会发生反应，从而使钼箔与垫片间的连接逐步松动而导致脱落，接触电阻及温度都会随 之升高发生爆炸，这种隐患不仅会炸坏光学刻机而且会对光学系统造成一定程度的损坏， 更可造成生产的停顿。公司改用钽箔或铌箔后，经过大量实验发现，钽和铌对水银及其蒸汽有非凡的耐 蚀性，也随之解决一直困扰业界的超高压短弧水银灯爆炸问题。
实用新型内容本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种超高压短弧水银灯，所述 钼箔与所述垫片或所述钼杯之间设置钽箔层或铌箔层，提高了产品的寿命以及使用安全 性。为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种超高压短弧水银灯，包括: 所述垫片或所述钼杯固定设置在所述金属杆上，所述钼箔固定在所述垫片或所述钼杯上， 所述钼箔与所述垫片或所述钼杯间设置焊料层，所述焊料层至少包括钽箔层或铌箔层中的一种。优选的，所述垫片包括圆形垫片，所述钽箔层或铌箔层焊接固定在所述圆形垫片 与所述钼箔之间。优选的，所述垫片包括浆形垫片，所述钽箔层或铌箔层焊接固定在所述浆形垫片 与所述钼箔之间。优选的，所述钽箔层或铌箔层焊接固定在所述钼杯与所述钼箔之间。 优选的，所述钽箔层包括钽合金箔层，所述铌箔层包括铌合金箔层。
3[0012]实施本实用新型实施例的超高压短弧水银灯，由于垫片或钼杯固定设置在金属杆 上，钼箔固定在垫片或钼杯上，钼箔与垫片或钼杯间设置焊料层，所述焊料层至少包括钽箔 层或铌箔层中的一种。钽箔层(包括钽合金箔层)或铌箔层(铌合金箔层)不会与高温的 水银蒸气发生反应，避免了使用钼金焊料安全隐患的发生，提高了超高压短弧水银灯产品 的寿命以及使用安全性。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前 提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有技术中超高压短弧水银灯的结构示意图；图2是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的金属杆与圆形垫片相连接的结构 示意图；图3是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的圆形垫片与钼箔相焊接的结构示 意图；图4是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的圆形垫片与钼箔相焊接的局部放 大结构示意图；图5是本实用新型第一实施例超高压短弧水银灯中圆形垫片与钼箔相焊接的结 构示意图；图6是本实用新型第一实施例超高压短弧水银灯中圆形垫片与钼箔相焊接的局 部放大结构示意图；图7是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的浆形垫片的结构示意图；图8是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的金属杆与浆形垫片相连接的结构 示意图；图9是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的浆形垫片与钼箔相焊接的结构示 意图；图10是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的浆形垫片与钼箔相焊接的局部放 大结构示意图；图11是本实用新型第二实施例超高压短弧水银灯中浆形垫片与钼箔相焊接的结 构示意图；图12是本实用新型第二实施例超高压短弧水银灯中浆形垫片与钼箔相焊接的局 部放大结构示意图；图13是本实用新型实施例超高压短弧水银灯的钼杯的结构示意图；图14是本实用新型第三实施例超高压短弧水银灯中钼杯与钼箔相焊接的结构示 意图；图15是本实用新型第三实施例超高压短弧水银灯中钼杯与钼箔相焊接的局部放 大结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新 型作进一步地详细描述。本实用新型实施例超高压短弧水银灯，包括所述钼箔与包含有垫片或钼杯的金 属杆相焊接导通形成灯内外电的通路，所述垫片或所述钼杯固定设置在所述金属杆上，所 述钼箔固定在所述垫片或所述钼杯上，所述钼箔与所述垫片或所述钼杯间设置焊料层，所 述焊料层至少包括钽箔层或铌箔层中的一种。优选的，垫片或钼杯固定在金属杆上的方式并不限定，可以采取焊接或机械固定 的方式(大多用钼金丝焊接在一起)，金属杆为难熔金属材料制成。优选的，垫片包括圆形垫片，所述钽箔层或所述铌箔层焊接固定在所述圆形垫片 与所述钼箔之间。优选的，所述垫片包括浆形垫片，所述钽箔层或所述铌箔层焊接固定在所述浆形 垫片与所述钼箔之间。优选的，所述钽箔层或所述铌箔层焊接固定在所述钼杯与所述钼箔之间。优选的，所述钽箔层包括钽合金箔层，所述铌箔层包括铌合金箔层。优选的，所述灯内的各种部件包括导杆或垫片，也可用钼及钼合金、钨及钨合金、 铌及铌合金、钽及钽合金制造。优选的，如图2-图6所示中的垫片的左侧端部还可以延展设置金属杆本实用新型实施超高压短弧水银灯的其他实施方式中，导电钼箔与金属杆相导通 的方式并不限定，只要满足至少使用钽箔或铌箔中的至少一种焊料焊接固定钼箔在垫片或 钼杯上即可。本实用新型实施例的超高压短弧水银灯的具体结构包括，金属帽本体1、钼箔2以 及金属杆3，金属杆3包括垫片32或钼杯34，金属帽本体1通过钼箔2与包含有垫片32或 钼杯34的金属杆3相焊接导通。本实用新型的超高压短弧水银灯的第一实施例中，如图2所示，垫片32包括圆形 垫片322，圆形垫片322固定在金属杆3上，其中，圆形垫片322呈环形片状，金属杆3通过 焊接或机械固定的方式与圆形垫片322相连接。结合参见如图3、图4所示，钼箔2呈狭长片状，钼箔2焊接固定在金属杆3具有的 环状圆形垫片322上，具体的，钽箔层或铌箔层4焊接固定在圆形垫片322与所述钼箔2之 间。结合参见如图5、图6所示，本实用新型超高压短弧水银灯中钽箔层或铌箔层4焊 接固定在所述圆形垫片322与所述钼箔2之间的具体实施中，钽箔层或铌箔层4的尺寸和 位置并不限定，只要满足圆形垫片322与所述钼箔2之间具有钽箔层或铌箔层4即可。本实用新型的超高压短弧水银灯的第二实施例中，如图7和图8所示，垫片32包 括浆形垫片324，浆形垫片324固定在金属杆3上，其中，浆形垫片324呈环形片状，大致为 多边形，金属杆3通过焊接或机械固定的方式与浆形垫片324相连接。结合参见如图9、图10所示，钼箔2呈狭长片状，钼箔2焊接固定在金属杆3具有 的环状浆形垫片324上，具体的，钽箔层或铌箔层4焊接固定在浆形垫片324与所述钼箔2 之间。
5[0045]结合参见如图11、图12所示，本实用新型超高压短弧水银灯中钽箔层或铌箔层4 焊接固定在所述浆形垫片324与所述钼箔2之间的具体实施中，钽箔层或铌箔层4的尺寸 和位置并不限定，只要满足浆形垫片324与所述钼箔2之间具有钽箔层或铌箔层4即可。本实用新型的超高压短弧水银灯的第三实施例中，如图13所示，钼杯326是一端 具有开口的杯状，其底部具有通孔(图未示)，金属杆3通过焊接或机械固定的方式与钼杯 326相连接。结合参见如图14、图15所示，钽箔层或铌箔层4焊接固定在钼杯326与所述钼箔 2之间。本实用新型超高压短弧水银灯中钽箔层或铌箔层4焊接固定在钼杯326与所述钼 箔2之间的具体实施中，钽箔层或铌箔层4的尺寸和位置并不限定，只要满足圆形垫片322 与所述钼箔2之间具有钽箔层或铌箔层4即可。本实用新型实施例的超高压短弧水银灯以及该超高压短弧水银灯，由于垫片或钼 杯固定设置在金属杆上，钼箔固定在垫片或钼杯上，钼箔与垫片或钼杯间设置焊料层，所述 焊料层至少包括钽箔层或铌箔层中的一种。钽箔层(包括钽合金箔层)或铌箔层(铌合金 箔层)，钽箔层(包括钽合金箔层)或铌箔层(铌合金箔层)不会与高温的水银蒸气发生反 应，工艺结构简单，保证了焊接部位的可靠性，从而避免了使用钼金材料焊接时发生焊接断 开和爆炸的可能，提高了产品的使用寿命和安全使用性能。以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用 新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的 范围。
权利要求一种超高压短弧水银灯，包括钼箔和所述超高压短弧水银灯内部的钼制垫片，所述钼箔与包含有垫片或钼杯的金属杆相焊接导通形成灯内外电的通路，其特征在于，所述垫片或所述钼杯固定设置在所述金属杆上，所述钼箔固定在所述垫片或所述钼杯上，所述钼箔与所述垫片或所述钼杯间设置焊料层，所述焊料层至少包括钽箔层或铌箔层中的一种。
2.如权利要求1所述的超高压短弧水银灯，其特征在于，所述垫片包括圆形垫片，所述 钽箔层或铌箔层焊接固定在所述圆形垫片与所述钼箔之间。
3.如权利要求1所述的超高压短弧水银灯，其特征在于，所述垫片包括浆形垫片，所述 钽箔层或铌箔层焊接固定在所述浆形垫片与所述钼箔之间。
4.如权利要求1所述的超高压短弧水银灯，其特征在于，所述钽箔层或所述铌箔层焊 接固定在所述钼杯与所述钼箔之间。
5.如权利要求1-4所述的任一项超高压短弧水银灯，其特征在于，所述钽箔层包括钽 合金箔层，所述铌箔层包括铌合金箔层。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种超高压短弧水银灯，包括钼箔和所述超高压短弧水银灯内部的钼制垫片，所述钼箔与包含有所述垫片或钼杯的金属杆相焊接导通形成灯内外电的通路，所述垫片或所述钼杯固定设置在所述金属杆上，所述钼箔固定在所述垫片或所述钼杯上，所述钼箔与所述垫片或所述钼杯间设置焊料层，所述焊料层至少包括钽箔层或铌箔层中的一种。采用本实用新型实施例的超高压短弧水银灯，钽箔层(包括钽合金箔层)或铌箔层(铌合金箔层)不会与高温的水银蒸气发生反应，避免了使用铂金焊料安全隐患的发生，提高了超高压短弧水银灯产品的寿命以及使用安全性。
文档编号H01J61/02GK201749838SQ201020275770
公开日2011年2月16日 申请日期2010年7月29日 优先权日2010年7月29日
发明者王宜知 申请人:爱思普特殊光源(深圳)有限公司