专利名称：一种热阴极电离真空规管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空规管，具体是指一种热阴极电离真空规管。
背景技术：
真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度，主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。热阴极电离真空规管是一种应用非常广泛的真空规管，其测量范围跨越了低真空、中真空、高真空的真空区域，得到用户的广泛欢迎。但是传统的热阴极电离真空规管在使用过程中存在一个明显的缺陷，就是在测量过程中真空度的滞后现象。用户在使用过程中总觉得真空度上升慢，尤其是在10’a以后尤其明显，其真实数据和实际测得数据之间差距常常达到半个数量级甚至更高。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种热阴极电离真空规管，在不改变灵敏度的同时， 解决真空规管的测量滞后问题。本实用新型的目的通过下述技术方案实现一种热阴极电离真空规管，包括空腔结构的玻璃管，玻璃管的一端连接有管座，另一端为与被测空腔连接的测试接口，在玻璃管内具有隔离层，在管座内设置有三个管脚，其中两个为灯丝引出线，另外一个为加速极引线，所述两个灯丝引出线以及加速极引线均穿过隔离层并延伸至玻璃管空腔内，在隔离层内还固定有支撑柱，在支撑柱上连接有收集极， 收集极折叠后形成两个平行的收集面，在两个灯丝引出线之间连接有灯丝，所述加速极引线的末端位于收集极的两个收集面之间，所述的收集极与安装在玻璃管上的收集接口连接，所述的收集极上设置有呈网格状分布的通孔。由于目前真空规管全部采用不锈钢材料制成，其离子接收面积大，每片的面积为15 X 20mm,不锈钢本身的吸放气量较镍材料的吸放气量大，并且，盒式结构的真空规管在加工排气等工艺中难以除气彻底，这些吸附在收集极上的气体在抽真空的过程中会慢慢释放出来，影响真空度的上升，造成了滞后。为此，在收集极上设置有呈网格状分布的通孔，将传统的片状收集极改为网格状收集极，每片的面积减少为传统收集极面积的40%左右，大大减少了材料的吸放气量，同时，在真空规管的加工过程中对收集极的除气也容易得多，减少了材料的吸放气量对真空度滞后的影响，同时，其灵敏度所依赖的覆盖面积并未减少，不影响其灵敏度。使用时，将管座连接在电源上，将测试接口插接在被测容器上，使得被测的空腔与玻璃管内的空腔连通，收集极处于被测容器的真空环境内，将收集接口与处理系统连接即可。所述的通孔为矩形，其边长为0. 2mm至0. 6mm。作为本实用新型的进一步改进，网格状分布的通孔面积不能太大，超过一定的范围后，接收的灵敏度将会受到影响，面积太小又不能达到尽量减少吸放气量的目的，因此，通孔的规格应当在0. 2mm至0. 6mm之间。
3[0008]在所述的隔离层内固定有“L”形支柱，“L”形支柱与其中一个灯丝引出线连接，所述灯丝连接在灯丝引出线与“L”形支柱的短臂之间。进一步讲，为了保持灯丝处于张紧状态，在隔离层上固定有一个“L”形支柱，“L”形支柱的底部与灯丝引出线连接，“L”形支柱的上部为短臂部分，在短臂部分连接有灯丝，灯丝穿过收集极的两个收集面之间的空间后连接在灯丝引出线上。本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果本实用新型一种热阴极电离真空规管，在收集极上设置有呈网格状分布的通孔， 将传统的片状收集极改为网格状收集极，每片的面积减少为传统收集极面积的40%左右， 大大减少了材料的吸放气量，同时，在真空规管的加工过程中对收集极的除气也容易得多， 减少了材料的吸放气量对真空度滞后的影响，同时，其灵敏度所依赖的覆盖面积并未减少， 不影响其灵敏度。
图1为本实用新型结构示意图。附图中标记及相应的零部件名称1-玻璃管，2-管座，3-测试接口，4-隔离层，5-灯丝引出线，7-加速极引线，8-支撑柱，9-收集极，10-灯丝，11-收集接Π，12-通孔，13- “L”形支柱。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例如图1所示，本实用新型一种热阴极电离真空规管，包括空腔结构的玻璃管1，玻璃管1的一端连接有管座2，另一端为与被测空腔连接的测试接口 3，在玻璃管1内具有隔离层4，在管座2内设置有三个管脚，其中两个为灯丝引出线5，另外一个为加速极引线7，灯丝引出线5以及加速极引线7均穿过隔离层4并延伸至玻璃管1的空腔内，在隔离层4内还固定有支撑柱8，在支撑柱8上连接有收集极9，收集极9展开后为两个连接的矩形，每个矩形的面积为15X20mm，收集极9折叠后形成两个平行的收集面，在每个收集面上设置有 0. 5X0. 5mm的网格状通孔12，在隔离层4内还固定有一个“L”形支柱13，“L”形支柱13的底部与正极5连接，“L”形支柱13的上部为短臂部分，在短臂部分连接有灯丝10，灯丝10 穿过收集极9的两个收集面之间的空间后连接在灯丝引出线5上，加速极引线7在玻璃管1 的空腔内延伸并位于收集极9的两个收集面之间，收集极9与安装在玻璃管1上的收集接口 11连接。如上所述，便可以很好地实现本实用新型。
权利要求1.一种热阴极电离真空规管，包括空腔结构的玻璃管(1)，玻璃管(1)的一端连接有管座(2)，另一端为与被测空腔连接的测试接口(3)，在玻璃管(1)内具有隔离层(4)，在管座 (2)内设置有三个管脚，其中两个为灯丝引出线(5)，另外一个为加速极引线(7)，所述两个灯丝引出线(5)以及加速极引线均穿过隔离层(4)并延伸至玻璃管(1)空腔内，在隔离层 (4)内还固定有支撑柱(8)，在支撑柱(8)上连接有收集极(9)，收集极(9)折叠后形成两个平行的收集面，在两个灯丝引出线(5)之间连接有灯丝(10)，所述加速极引线(7)的末端位于收集极(9)的两个收集面之间，所述的收集极(9)与安装在玻璃管(1)上的收集接口(11) 连接，其特征在于所述的收集极(9)上设置有呈网格状分布的通孔(12)。
2.根据权利要求1所述的一种热阴极电离真空规管，其特征在于所述的通孔(12)为矩形，其边长为0. 2mm至0. 6mm。
3.根据权利要求1所述的一种热阴极电离真空规管，其特征在于在所述的隔离层(4) 内固定有“L”形支柱(13)，“L”形支柱(13)与其中一个灯丝引出线(5)连接，所述灯丝(10) 连接在灯丝引出线(5)与“L”形支柱(13)的短臂之间。
专利摘要本实用新型公布了一种热阴极电离真空规管，包括空腔结构的玻璃管，在玻璃管内具有隔离层，在接头内设置有三个管脚，其中两个为灯丝引出线，另外一个为加速极引线，所述灯丝引出线以及加速极引线均穿过隔离层并延伸至玻璃管空腔内，在隔离层内还固定有支撑柱，在支撑柱上连接有收集极，在所述两根灯丝引出线之间连接有灯丝，所述加速极引线位于收集极的两个收集面之间，所述的收集极与安装在玻璃管上的收集接口连接，所述的收集极上设置有呈网格状分布的通孔。将传统的片状收集极改为网格状收集极，每片的面积减少为传统收集极面积的40%左右，减少了材料的吸放气量对真空度滞后的影响，其灵敏度所依赖的覆盖面积并未减少，不影响其灵敏度。
文档编号H01J41/04GK202282325SQ201120433320
公开日2012年6月20日 申请日期2011年11月4日 优先权日2011年11月4日
发明者何居贵, 朱元加, 赖寿培 申请人:成都睿宝电子科技有限公司