一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，属于半导体加工设备领域。


背景技术：

2.在半导体工业中，常常遇到各种偶然因素，导致晶圆表面存在缺陷。需对晶圆的表面缺陷进行检查，检测项目包括尺寸，破损，裂粒，气孔，裂痕，镍层不良等等。对于晶圆表面的缺陷检测，最早主要是采用显微镜目检。随着技术的发展，半导体工艺制程由90nm发展为14nm。目前，大多使用晶圆缺陷测试仪进行图形缺陷检测。其利用图像识别算法，采集晶圆表面的图案，与存储的正常图像进行比较，得出缺陷的数量和尺寸，根据比较的结果，判断单个产品是否合格。然而，现有的晶圆缺陷测试仪存在缺陷，因各种各样的原因，光源的位置常常偏移，不能在最佳的位置发出光线。因此，如何调节光源的位置是本领域技术人员亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

3.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置。以解决背景技术提出的问题。
4.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，包括夹具、光源、第一滑板和第二滑板，第一滑板叠加在第二滑板的上方，夹具固定连接在第二滑板的下表面，光源连接在夹具中，所述第一滑板和第二滑板之间设置有第一调节机构，第一调节机构包括连接板、定位板、齿条、第一转轴、第二转轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和手轮，连接板的一端与第一滑板侧边连接，另一端与定位板的端部连接，定位板朝向第二滑板的侧面开设有贯穿的安装口，第一转轴和第二转轴平行地分别设置在安装口中，手轮连接在第一转轴伸出定位板的一端上，第一齿轮固定套接在第一转轴上；第二齿轮和第三齿轮固定连接，套接在第二转轴上；齿条的一侧面与安装口的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮啮合连接，齿条的端部水平伸出与所述第二滑板连接。
5.在运动过程中，为了保持第一滑块与第二滑块叠加，本实用新型进一步的设置为：所述第一滑板和所述第二滑板相抵接的侧面之间设置有第一滑块导轨组件。第一滑块导轨组件是第一滑块与第二滑块之间的间距保持恒定。
6.为了在水平面的不同方向上调节光源的位置，本实用新型进一步的设置为：所述晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括安装板和第二调节机构，安装板叠加在所述第一滑板上；第二调节机构与所述第一调节机构结构相同，第二调节机构的齿条与第一调节机构的齿条垂直。由于第二调节机构和第一调节机构的分别在水平面的不同方向上调节光源的位置。从而达到光源处于水平面内任意位置的目的。
7.本实用新型进一步的设置为：所述第一滑板与所述安装板相抵接的侧面之间设置有第二滑块导轨组件。第二滑块导轨组件的运行方向与第一滑块导轨组件的运行方向垂
直。第一滑板沿第二滑块导轨组件的运行方向滑动，第二滑板沿第一滑块导轨组件的运行方向滑动，第一滑板与第二滑板的运动方向垂直。
8.为了在竖直方向上调节光源的位置，本实用新型进一步的设置为：所述晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括下板、竖杆、上板、下固定座、套环、上固定座、旋钮、螺母座和丝杆，竖杆的两端分别连接上板和下板，上固定座、螺母座和下固定座分别设置在上板、安装板和下板上，丝杆的中部与螺母座螺接，丝杆的两端分别与上固定座和下固定座转动连接，旋钮连接在丝杆的端部；安装板的有一端与套环连接，套环套接在竖杆上。
9.为了缓慢、精细地调节光源的位置，本实用新型进一步的设置为：所述第二齿轮的直径大于所述第一齿轮、所述第三齿轮的直径。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过使连接板的一端与第一滑板侧边连接，另一端与定位板的端部连接，第一齿轮固定套接在第一转轴上；第二齿轮和第三齿轮固定连接，套接在第二转轴上；齿条的一侧面与安装口的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮啮合连接，齿条的端部水平伸出与所述第二滑板连接。在旋转手轮时，通过第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和齿条的传动，驱动第二滑板移动，夹具连接在第二滑板上，从而改变连接在夹具中的光源的位置。
11.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
12.图1为本实用新型一较佳实施例所示的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置的结构示意图；
13.图2为图1中第一调节机构的结构示意图。
14.图中：1、下板；2、竖杆；3、上板；4、下固定座；5、套环；6、上固定座；7、旋钮；8、螺母座；9、安装板；10、第一滑板；11、第二滑板；12、第二滑块导轨组件；13、第一滑块导轨组件；14、夹具；15、光源；16、丝杆；17、第二调节机构；18、第一调节机构；19、连接板；20、定位板；21、安装口；22、齿条；23、第三齿轮；24、第二齿轮；25、第一转轴；26、第一齿轮；27、手轮。
具体实施方式
15.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
16.参见附图1-2所示，本实施例中的一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，包括夹具14、光源15、第一滑板10和第二滑板11，第一滑板10叠加在第二滑板11的上方，夹具14固定连接在第二滑板11的下表面，光源15连接在夹具14中，第一滑板10和第二滑板11之间设置有第一调节机构18，第一调节机构18包括连接板19、定位板20、齿条22、第一转轴25、第二转轴、第一齿轮26、第二齿轮24、第三齿轮23和手轮27，连接板19的一端与第一滑板10侧边连接，另一端与定位板20的端部连接，定位板20朝向第二滑板11的侧面开设有贯穿的安装口21，第一转轴25和第二转轴平行地分别设置在安装口21中，手轮27连接在第一转轴25伸出
定位板20的一端上，第一齿轮26固定套接在第一转轴25上；第二齿轮24和第三齿轮23固定连接，套接在第二转轴上；齿条22的一侧面与安装口21的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮23啮合连接，齿条22的端部水平伸出与第二滑板11连接。
17.通过使连接板19的一端与第一滑板10侧边连接，另一端与定位板20的端部连接，第一齿轮26固定套接在第一转轴25上；第二齿轮24和第三齿轮23固定连接，套接在第二转轴上；齿条22的一侧面与安装口21的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮23啮合连接，齿条22的端部水平伸出与第二滑板11连接。在旋转手轮27时，通过第一齿轮26、第二齿轮24、第三齿轮23和齿条22的传动，驱动第二滑板11移动，夹具14连接在第二滑板11上，从而改变连接在夹具14中的光源15的位置。
18.第一滑板10和第二滑板11相抵接的侧面之间设置有第一滑块导轨组件13。第一滑块导轨组件13使第一滑板10和第二滑板11之间的间距保持恒定。
19.晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括安装板9和第二调节机构17，安装板9叠加在第一滑板10上；第二调节机构17与第一调节机构18结构相同，第二调节机构17的齿条与第一调节机构18的齿条垂直；第二调节机构17的连接板与安装板9固定连接，第二调节机构17的齿条与第一滑板固定连接。由于第二调节机构17和第一调节机构18的分别在水平面的不同方向上调节光源15的位置。从而达到光源15处于水平面内任意位置的目的。
20.第一滑板10与安装板9相抵接的侧面之间设置有第二滑块导轨组件12。第二滑块导轨组件12的运行方向与第一滑块导轨组件13的运行方向垂直。第一滑板10沿第二滑块导轨组件12的运行方向滑动，第二滑板11沿第一滑块导轨组件13的运行方向滑动，第一滑板10与第二滑板11的运动方向垂直。
21.晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括下板1、竖杆2、上板3、下固定座4、套环5、上固定座6、旋钮7、螺母座8和丝杆16，竖杆2的两端分别连接上板3和下板1，上固定座6、螺母座8和下固定座4分别设置在上板3、安装板9和下板1上，丝杆16的中部与螺母座8螺接，丝杆16的两端分别与上固定座6和下固定座4转动连接，旋钮7连接在丝杆16的端部；安装板9的一端与套环5连接，套环5套接在竖杆2上。
22.为了缓慢、精细地调节光源15的位置，第二齿轮24的直径大于第一齿轮26、第三齿轮23的直径。通过使第一齿轮26、第二齿轮24、第三齿轮23组成的结构形成适宜的传动比，达到缓慢、精细地调节光源15的位置的目的。
23.综上所述，本实用新型所示的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置的使用方法为：首先，旋转第一调节机构18的手轮27，驱动第一齿轮26、第二齿轮24、第三齿轮23和齿条22运动，齿条22推动第二滑板11相对于第一滑板10沿第一滑块导轨组件13运动。其次，旋转第二调节机构17的手轮27，驱动第一滑板相对于安装板9沿第二滑块导轨组件12运动，第二滑板、夹具和光源随第一滑板运动。由于第二调节机构17的齿条与第一调节机构18的齿条垂直。因而能够调节光源15处于水平面内任意位置。最后，通过旋转旋钮7，螺母座8沿丝杆16的轴向运动，与螺母座8连接的安装板9随之上下运动，从而改变光源15在上下方向上的位置。
24.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。