光源装置、基于光源装置的测试方法及测试系统与流程

本申请涉及测试装置，特别是涉及一种光源装置、基于光源装置的测试方法及测试系统。

背景技术：

1、目前在对一些精密产品进行性能测试时，一般都会用到光源，通过光源发出预定的测试光对精密产品进行照射来测试精密产品的感光性能，例如对晶圆进行性能测试时，存在一种测试方法是通过将晶圆从晶舟传递到探针台的载物台上，将光源发出的测试光对晶圆进行照射，晶圆可以将接收的光信号转换为可以分析或存储的电信号，由探针台的探针针头接收晶圆发出的电信号，实现对晶圆的感光测试。

2、但是现有的光源的遮蔽效果比较不理想，可能会对测试的精确度造成影响。

技术实现思路

1、本申请主要解决的技术问题是提供一种光源装置、基于光源装置的测试方法及测试系统，能够遮蔽外部光源，实现暗场环境，提供测试光源，满足测试需求，提高测试准确度。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的技术方案提供了一种光源装置，其中，光源装置包括：

3、罩体，罩体的一端开口，开口端的内侧设置有裙边，且裙边延伸到开口外部；开口端的外侧设置有环形沿边，沿边与罩体垂直设置；沿边上设置有安装孔，用于安装罩体；光源组件，设置于罩体内部，用于发出预设光线。

4、其中，光源组件包括：光源固定件，光源固定件的一侧固定在罩体内部；光源，光源固定设置在光源固定件的另一侧；滤光片，滤光片设置在光源的出光面的一侧，通过其外边缘可拆卸的安装在光源固定件上；其中，滤光片的滤光范围与光源的目标光功率密度对应设置。

5、其中，光源组件还包括：聚光透镜，聚光透镜设置在所述光源的出光面的一侧，通过其外边缘可拆卸的安装在光源固定件上，用于转化光源发出的光形成测试光束；过渡片，过渡片设置于滤光片与聚光透镜之间，通过其外边缘可拆卸的安装在光源固定件上，用于设置光源与所述聚光透镜之间的距离，以设置光源组件的目标光功率密度。

6、其中，光源装置还包括调节装置，光源组件通过调节装置固定在罩体上。

7、其中，调节装置包括：光源固定套环，光源固定套环与光源组件可拆卸连接；角度调节装置，角度调节装置包括第一底座、转轴以及第二底座，第一底座可拆卸式固定于罩体上，转轴用于调节光源组件的照射角度；高度调节装置，高度调节装置包括安装孔与调节孔，通过安装孔与光源固定套环可拆卸连接，通过调节孔与角度调节装置的第二底座可拆卸连接，用于调节光源模块的照射距离。

8、其中，罩体的内表面设置有吸光层。

9、其中，罩体上开设有窗口，罩体还包括窗口盖板，窗口盖板与罩体可拆卸连接，用于打开或封闭窗口。

10、其中，环形沿边的一处形成有凸起结构，凸起结构与罩体连通，形成一导线通道，光源装置还包括填充物，填充物与罩体可拆卸连接，用于打开或密封导线通道。

11、其中，填充物包括弹性橡胶块。

12、其中，光源装置还包括过线压板，用于与导线通道的下边沿抵接以固定导线。

13、其中，光源装置还包括供电电路，用于为光源组件供电。

14、为解决上述技术问题，本申请第二方面提供了一种基于光源装置的测试方法，所述测试方法包括：

15、将光源装置安装到探针台上；其中，探针台的安装面上设置凹槽；具体包括：将光源装置的罩体的环形沿边通过安装孔与凹槽的边沿固定连接，罩体的裙边容置于凹槽的内部，以将光源装置固定在探针台上；将待检测产品放置于检测台的设定位置，其中设定位置与光源装置的光源组件的光源位置对应；采集光源组件当前光照下待检测产品的测试结果；响应于测试结果不满足设定条件，调整光源组件的测试参数。

16、其中，响应于测试结果不满足设定条件，调整光源组件的测试参数的步骤，包括：响应于测试结果不满足设定条件，调整光源组件的供电电压。

17、其中，响应于测试结果不满足设定条件，调整光源组件的测试参数的步骤，包括：响应于测试结果不满足设定条件，调整光源组件的高度和/或角度。

18、其中，调整测试系统的光源组件的高度和/或角度的步骤包括：拆卸光源装置的罩体，调整光源装置的调节装置的高度和/或角度,和/或调整光源组件.

19、其中，将光源装置安装到探针台上的步骤之前，包括：获取待检测产品的产品参数，选择与产品参数匹配的滤光片；将滤光片更换到光源装置的光源组件中。

20、其中，采集光源组件当前光照下待检测产品的测试结果的步骤之后包括：响应于测试结果满足设定条件，更换待检测产品并放置于检测台的设定位置。

21、其中，待检测产品为晶圆。

22、其中，拆卸罩体的窗口盖板，通过窗口获取罩体内部光源数据。

23、其中，采集光源组件当前光照下待检测产品的测试结果的步骤之后包括：响应于测试结果满足设定条件，更换待检测产品并放置于检测台的设定位置。

24、为解决上述技术问题，本申请第三方面提供了一种测试系统，测试系统包括光源装置。

25、测试系统还包括：探针台，探针台的安装面上设置凹槽；光源装置可拆卸地固定在探针台上；光源装置的罩体的环形沿边通过安装孔与凹槽的边沿固定连接；罩体的裙边容置于凹槽的内部；凹槽底部设置有检测台，用于放置待检测产品；且光源装置安装在探针台上时，光源组件的光源位置与检测台的位置对应设置；检测台还设置有探针；探针用于检测光源组件当前光照下待检测产品的测试结果，并在测试结果不满足设定条件时，调整光源组件的测试参数。

26、区别于现有技术的情况，本申请提供的光源装置、基于光源装置的测试方法及测试系统能够遮蔽外部光源，实现暗场环境，提供测试光源，满足测试需求，通过基于光源装置的测试方法及测试系统，提高感光测试的测试准确度，提高测试效率。

技术特征：

1.一种光源装置，其特征在于，所述光源装置包括：

2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述光源组件包括：

3.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述光源组件还包括：

4.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述光源装置还包括调节装置，所述光源组件通过所述调节装置固定在所述罩体上。

5.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，所述调节装置包括：

6.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述罩体的内表面设置有吸光层。

7.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述罩体上开设有窗口，所述罩体还包括窗口盖板，所述窗口盖板与所述罩体可拆卸连接，用于打开或封闭所述窗口。

8.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述环形沿边的一处形成有凸起结构，所述凸起结构与所述罩体连通，形成一导线通道，所述光源装置还包括填充物，所述填充物与所述罩体可拆卸连接，用于打开或密封所述导线通道。

9.根据权利要求8所述的光源装置，其特征在于，所述填充物包括弹性橡胶块。

10.根据权利要求8所述的光源装置，其特征在于，所述光源装置还包括过线压板，用于与所述导线通道的下边沿抵接以固定所述导线。

11.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述光源装置还包括供电电路，用于为所述光源组件供电。

12.一种基于光源装置的测试方法，其特征在于，所述光源装置为权利要求1～11任一项所述的光源装置；所述测试方法包括：

13.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述响应于所述测试结果不满足设定条件，调整所述光源组件的测试参数的步骤，包括：

14.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述光源装置为权利要求4或5所述的光源装置；

15.根据权利要求14所述的测试方法，其特征在于，所述光源装置为权利要求4或5所述的光源装置；

16.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述光源装置为权利要求2所述的光源装置，所述将所述光源装置安装到探针台上的步骤之前，包括：

17.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述采集所述光源组件当前光照下所述待检测产品的测试结果的步骤之后包括：

18.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述待检测产品为晶圆。

19.根据权利要求12所述的测试方法，其特征在于，所述光源装置为权利要求7所述的光源装置；所述测试方法还包括：

20.一种测试系统，其特征在于，所述测试系统包括光源装置，其中，所述光源装置为权利要求1～12任一项所述的光源装置，所述测试系统还包括：

技术总结
本申请公开了一种光源装置、基于光源装置的测试方法及测试系统，其中光源装置包括：罩体，所述罩体的一端开口，开口端的内侧设置有裙边，且所述裙边延伸到所述开口外部；所述开口端的外侧设置有环形沿边，所述沿边与所述罩体垂直设置；所述沿边上设置有安装孔，用于安装所述罩体；光源组件，设置于所述罩体内部，用于发出预设光线，通过上述方式，能够遮蔽外部光源，实现暗场环境，提供测试光源，满足测试需求，提高测试准确度。

技术研发人员：孙锐锋,刘竣,周德祥,刘建辉
受保护的技术使用者：天芯互联科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/22