一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台的制作方法

本技术涉及半导体，特别是涉及一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台。

背景技术：

1、半导体机台光源可以应用于晶圆加工的场景中。由于光源在工作时会产生一定的温度，导致光源自身温度升高。当光源的温度达到一定的程度后，半导体机台的测试数据会产生异常，无法继续对晶圆进行加工。当温度过高时，也可能会出现爆灯的情况，半导体机台的加工环境被污染，晶圆表面受到影响，导致晶圆报废。此时工作人员会手动调节冷却管道的调节阀，进而调节冷却介质的流量，以对光源进行降温。采用这种方式对光源的温度进行调节，在一定程度上会影响晶圆的加工效率。因此，存在待改进之处。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，能够实时调节光源的温度。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种半导体机台灯源的温度调节系统，包括：

3、温度传感器组，位于光源灯室内，所述温度传感器组包括阳极温度传感器、阴极温度传感器以及灯室温度传感器；

4、处理器，其输入端电连接于所述温度传感器组的输出端；

5、控制器，其输入端电连接于所述处理器的输出端，所述控制器通过电机组与调节阀组相连，所述调节阀组设于冷却管道组上，所述冷却管道组与所述光源灯室相通；以及

6、电源，分别电连接所述温度传感器组、所述处理器以及所述控制器。

7、在本实用新型一实施例中，还包括信号放大器，所述信号放大器电连接于所述温度传感器组与所述处理器之间。

8、在本实用新型一实施例中，所述阳极温度传感器位于光源的阳极部分上，所述阴极温度传感器位于所述光源的阴极部分上，所述灯室温度传感器位于所述光源灯室内。

9、在本实用新型一实施例中，所述阳极温度传感器、阴极温度传感器以及灯室温度传感器分别通过所述信号放大器电连接所述处理器的输入端。

10、在本实用新型一实施例中，所述电机组包括阳极电机与阴极电机，所述调节阀组包括阳极调节阀与阴极调节阀，所述冷却管道组包括阳极管道与阴极管道，所述阳极电机的输出端与所述阳极调节阀相连，所述阳极调节阀位于所述阳极管道上，所述阳极管道与光源的阳极部分连通，所述阴极电机的输出端与所述阴极调节阀相连，所述阴极调节阀位于所述阴极管道上，所述阴极管道与所述光源的阴极部分连通。

11、在本实用新型一实施例中，所述控制器包括：

12、阳极交流接触器，电连接于所述处理器与阳极电机之间；以及

13、阴极交流接触器，电连接于所述处理器与阴极电机之间。

14、在本实用新型一实施例中，所述阳极电机与所述阴极电机分别通过熔断器电连接所述电源。

15、在本实用新型一实施例中，还包括控制开关，所述控制开关电连接于所述处理器与光源之间。

16、在本实用新型一实施例中，所述控制开关包括：开关与中间继电器，所述处理器的输出端分别与所述开关与所述中间继电器的一端并联，所述开关的另一端电连接光源的一端，所述光源的另一端与所述中间继电器的一端并联后电连接所述处理器。

17、本实用新型还提供一种半导体机台，包括所述的半导体机台灯源的温度调节系统。

18、如上所述，本实用新型提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，通过实时对光源的温度进行监控，意想不到的效果是能够有效控制光源的温度，防止温度过高对光源造成损伤，进而能够在一定程度上提升晶圆的加工效率。

技术特征：

1.一种半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，还包括信号放大器，所述信号放大器电连接于所述温度传感器组与所述处理器之间。

3.根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述阳极温度传感器位于光源的阳极部分上，所述阴极温度传感器位于所述光源的阴极部分上，所述灯室温度传感器位于所述光源灯室内。

4.根据权利要求2所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述阳极温度传感器、阴极温度传感器以及灯室温度传感器分别通过所述信号放大器电连接所述处理器的输入端。

5.根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述电机组包括阳极电机与阴极电机，所述调节阀组包括阳极调节阀与阴极调节阀，所述冷却管道组包括阳极管道与阴极管道，所述阳极电机的输出端与所述阳极调节阀相连，所述阳极调节阀位于所述阳极管道上，所述阳极管道与光源的阳极部分连通，所述阴极电机的输出端与所述阴极调节阀相连，所述阴极调节阀位于所述阴极管道上，所述阴极管道与所述光源的阴极部分连通。

6.根据权利要求5所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述控制器包括：

7.根据权利要求6所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述阳极电机与所述阴极电机分别通过熔断器电连接所述电源。

8.根据权利要求1所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，还包括控制开关，所述控制开关电连接于所述处理器与光源之间。

9.根据权利要求8所述的半导体机台灯源的温度调节系统，其特征在于，所述控制开关包括开关与中间继电器，所述处理器的输出端分别与所述开关与所述中间继电器的一端并联，所述开关的另一端电连接光源的一端，所述光源的另一端与所述中间继电器的一端并联后电连接所述处理器。

10.一种半导体机台，其特征在于，包括如权利要求1～9中任一项所述的半导体机台灯源的温度调节系统。

技术总结
本技术提供一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，包括：温度传感器组，位于光源灯室内，所述温度传感器组包括阳极温度传感器、阴极温度传感器以及灯室温度传感器；处理器，其输入端电连接于所述温度传感器组的输出端；控制器，其输入端电连接于所述处理器的输出端，所述控制器通过电机组与调节阀组相连，所述调节阀组设于冷却管道组上，所述冷却管道组与所述光源灯室相通；以及电源，分别电连接所述温度传感器组、所述处理器以及所述控制器。通过本技术公开的一种半导体机台灯源的温度调节系统及半导体机台，能够实时调节光源的温度。

技术研发人员：郭志勇,程长青
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15