专利名称：一种电化学加工微电极装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电极加工技术，特别涉及一种电化学加工微电极装置。
背景技术：
随着微细加工和纳米科学技术的发展，以形状尺寸，操作尺寸为特征的微机械已成为人们在微观领域认识世界和改造客观世界的一种高新技术。微机械和微细加工技术在航空航天、精密仪器、生物医疗、微电子等领域具有广阔的应用潜力，被称为21世纪关键技术之首。在微机械系统的研究中，微细加工是其关键技术之一，而微小孔的加工则是主要研究的技术。在这方面电化学加工有明显的优势，它具有在难加工材料上加工深孔、斜孔、弯孔，而且表面质量好、无微裂纹、可群孔加工等优点。这些加工方法中的核心问题是微电级的加工，一般情况下，微电极的尖端尺寸小于5μm。而目前尚无一种有效可靠的方法来加工尖端尺寸小于2μm的呈锥形的微电极。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决微电极的加工问题，根据电化学加工的基本规律和金属的弹塑性变形理论，提供一种结构简单、操作方便、加工精度高的电化学加工微电极装置。
本实用新型包括恒温水箱、电解箱、工具电极、工件、调节螺母、张力机构和稳压电源，恒温水槽设置在恒温水箱内，盛有电解液的电解箱设置在恒温水槽内，上盖板固定在电解箱上面，工件设置在上盖板上，其加工处装有工具电极，工具电极和工件与稳压电源连接，张力机构设置在上盖板上，所述张力机构的导轮支架和调节螺母分别设置在上盖板上，在工件加工端固定有丝线，并经过导轮与固定在调节螺丝上的弹簧连接固定，调节螺母与调节螺丝通过螺纹连接，上盖板上设有通气孔。
本实用新型具有结构简单，操作方便，加工精度高，可加工尖端尺寸小于2μm的呈锥形的微电极。
图1是本实用新型的结构示意图；图中1恒温水箱、2恒温水槽、3导轮、4丝线、5工具电极、6工件、7弹簧、8导轮架、9调节螺丝、10调节螺母、11上盖板、12电解箱。
具体实施方式
如图1所示，结合实施例进一步说明本实用新型的技术方案。一种电化学加工微电极装置，该装置的恒温水槽2装在恒温水箱1内，盛有电解液的电解箱12设置在恒温水槽2内，带有通气孔的上盖板11通过螺钉固定电解箱12上面，工件6装在上盖板11上，并可以转动，工具电极5装在工件6的下端，工件6的上端和工具电极5通过导线与稳压电源相连接。张力机构的滚轮架8和调节螺母10装在上盖板11上，在工件6的加工端固定有尼龙丝线4，并通过滚轮架8上的两个滚轮3与固定在调节螺丝9上的弹簧7连接固定，调节螺丝9通过螺纹与调节螺母10连接，转动调节螺母9可以调节弹簧7的拉力，即可以改变作用在工件6上的张力大小。本实用新型的工作过程是工件6的加工端和工具电极5浸入电解液内加工(100～200)S，加工电流每隔(3～5)S通断一次，并且每隔(10～20)S转动工件1/4圈；然后再加工60S，并且用搅拌棒搅动电解液；当直径尺寸略大于加工要求时，迅速切断电源，最后在张力作用下使工件发生弹性和塑性变形而断开，达到加工微电极要求，可加工尖端尺寸小于2μm的呈锥形的微电极。
权利要求1.一种电化学加工微电极装置，其特征是，该装置包括恒温水箱、电解箱、工具电极、工件、调节螺母、张力机构和稳压电源，恒温水槽设置在恒温水箱内，盛有电解液的电解箱设置在恒温水槽内，上盖板固定在电解箱上面，工件设置在上盖板上，其加工处装有工具电极，工具电极和工件与稳压电源连接，张力机构设置在上盖板上。
2.如权利要求1所述的加工微电极装置，其特征是，所述张力机构的导轮支架和调节螺母分别设置在上盖板上，在工件加工端固定有丝线，并经过导轮与固定在调节螺丝上的弹簧连接固定，调节螺母与调节螺丝通过螺纹连接。
3.如权利要求1所述的加工微电极装置，其特征是，所述上盖板开有通气孔。
专利摘要一种电化学加工微电极装置，包括恒温水箱、电解箱、工具电极、工件、调节螺母、张力机构和稳压电源，恒温水槽设置在恒温水箱内，盛有电解液的电解箱设置在恒温水槽内，上盖板固定在电解箱上面，工件设置在上盖板上，其加工处装有工具电极，工具电极和工件与稳压电源连接，所述张力机构的导轮支架和调节螺母分别设置在上盖板上，在工件加工端固定有丝线，并经过导轮与固定在调节螺丝上的弹簧连接固定，调节螺母与调节螺丝通过螺纹连接，上盖板上设有通气孔，本实用新型具有结构简单，操作方便，加工精度高，可加工尖端尺寸小于2μm的呈锥形的微电极。
文档编号B23H9/00GK2638902SQ0321431
公开日2004年9月8日 申请日期2003年8月13日 优先权日2003年8月13日
发明者张辽远 申请人:沈阳工业学院