专利名称：光学靶标及其加工设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光学靶标及其加工设备。
背景技术：
光学靶标就是把同周期或不同周期的光栅，按某种特别的方式排列或组合在一起 而做成的遮光片。可以利用光学靶标来实现光电转换、利用光电变化而产生的电信息，从而 实现对信息的测量、对信息的比较、对信息的采样等作用。光学靶标主要使用在测量仪器的 测量端子的装置位置，比如将其装在高速转子上，可实现光电测速；同样，也可用来采集高 频电子信号等。 激光切割加工的技术原理就是利用光能与热能的转换，把能量聚焦在一个直径很 小的光点上，不断的输出一千五百度的高温，将钢片切透、割开。
发明内容本实用新型的目的是提供一种光学靶标及其加工设备，其加工设备加工的光学靶 标可做成同周期或不同周期的排列、制作的周期宽、组合形式多、排列密度高、分角度精度 高、加工精度高、加工图形小而复杂、可实现细微加工。 本实用新型的技术方案是一种光学靶标，所述光学靶标上光栅的周期范围为 0. 05毫米 1毫米。 —种光学靶标的加工设备，包括激光切割装置和激光切割辅助气体供应装置，所 述辅助气体供应装置包括普通气体发生装置、设于普通气体发生装置气体输出管道上的普 通气体净化装置，所述辅助气体供应装置还包括液氧发生装置以及将液氧发生装置产生的 液氧汽化的液氧汽化装置，所述液氧汽化装置和普通气体净化装置的输出端分别通过气体 调节阀与激光切割装置的辅助气体输入端连通。 本实用新型光学靶标的加工设备进一步的技术方案是一种光学靶标的加工设 备，包括激光切割装置和激光切割辅助气体供应装置，所述辅助气体供应装置包括普通气 体发生装置、设于普通气体发生装置气体输出管道上的普通气体净化装置，所述辅助气体 供应装置还包括液氧发生装置以及将液氧发生装置产生的液氧汽化的液氧汽化装置，所述 液氧汽化装置和普通气体净化装置的输出端分别通过气体调节阀与激光切割装置的辅助 气体输入端连通；所述液氧汽化装置包括设于液氧发生装置内的蒸发器以及在液氧发生装 置的输出管路上设置的气体发生器。 所述的普通气体为空气，所述普通气体发生装置包括空气压縮机。 本实用新型优点是 1.本实用新型光学靶标周期范围宽从千分之一米到十万分之一米；组合形式 多，可为环形排列组合、星形排列组合、"品"字形排列组合、阵列式排列组合、等距离环行排 列组合、差距离阶梯排列组合等；排列密度高可在直径不到三十毫米的元周上，依角度排 列五百条同周期光栅，也可在一个平方厘米的区域里，分布有五百个甚至更多的孔。[0011] 2.本实用新型在激光加工设备中增加了专门的氧气供应系统，使得在激光切割时 辅助气体的助燃效果更好，加工精度提高。 3.本实用新型光学靶标加工设备分度精度高可作三分之一度分度加工；加工精 度高可保证真圆度在0. 002毫米以内，同心度在0. 0006毫米以内，在高精度测试仪器的配 合下，加工精度可作到0. 0002毫米，位置精度可作到0. 001毫米；可加工图形小而复杂，实 现各项细微加工。
图1为本实用新型具体实施例光学靶标的结构示意图； 图2为本实用新型具体实施例光学靶标加工设备的结构框图。 其中1激光切割装置；2普通气体发生装置；3普通气体净化装置；4液氧发生装 置；5气体发生器；6气体调节阀；7文件控制系统；8激光设备电脑控制系统；9激光设备冷 却系统；10激光加工设备。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述 实施例如图1所示，一种光学靶标，所述光学靶标上光栅的周期范围为0. 05毫 米 1毫米。 如图2所示， 一种光学靶标的加工设备，包括激光切割装置1和激光切割辅助气体 供应装置，所述辅助气体供应装置包括普通气体发生装置2、设于普通气体发生装置2气体 输出管道上的普通气体净化装置3，所述辅助气体供应装置还包括液氧发生装置4以及将 液氧发生装置4产生的液氧汽化的液氧汽化装置，所述液氧汽化装置和普通气体净化装置 3的输出端分别通过气体调节阀6与激光切割装置1的辅助气体输入端连通。所述激光切 割装置1包括激光加工设备10、与控制激光加工设备10运行的激光设备电脑控制系统8以 及与电脑控制系统8相连的文件控制系统7。在激光加工设备中增加了专门的氧气供应系 统，使得在激光切割时辅助气体的助燃效果更好，加工精度提高。 为了增加激光设备的稳定性，还设有激光设备冷却系统9来给设备内核心部件进 行冷却处理，为了使冷却水不受污染，采用循环式使用方式。 所述液氧汽化装置包括设于液氧发生装置4内的蒸发器以及在液氧发生装置4的 输出管路上设置的气体发生器5。这样就能使得液氧基本全部汽化而辅助加工。 在加工过程中会产生一些微小粉尘，可以为设备增加一套气体循环系统，此系统 可以将产生微小粉尘通过回旋气流带出到集尘箱，防止污染环境。 本实用新型加工设备加工的光学靶标可做成同周期或不同周期的排列、制作的周 期宽、组合形式多、排列密度高、分角度精度高、加工精度高、加工图形小而复杂、可实现细 微加工。
权利要求一种光学靶标，其特征在于所述光学靶标上光栅的周期范围为0.05毫米～1毫米。
2. —种权利要求l所述的光学靶标的加工设备，包括激光切割装置(1)和激光切割辅助气体供应装置，所述辅助气体供应装置包括普通气体发生装置(2)、设于普通气体发生装置(2)气体输出管道上的普通气体净化装置(3)，其特征在于所述辅助气体供应装置还包括液氧发生装置(4)以及将液氧发生装置(4)产生的液氧汽化的液氧汽化装置，所述液氧汽化装置和普通气体净化装置(3)的输出端分别通过气体调节阀(6)与激光切割装置(1)的辅助气体输入端连通。
3. 根据权利要求2所述的光学靶标的加工设备，其特征在于所述液氧汽化装置包括设于液氧发生装置(4)内的蒸发器以及在液氧发生装置(4)的输出管路上设置的气体发生器(5)。
专利摘要本实用新型公开了一种光学靶标及其加工设备。所述光学靶标上光栅的周期范围为0.05毫米～1毫米。上述光学靶标的加工设备，包括激光切割装置和激光切割辅助气体供应装置，所述辅助气体供应装置包括普通气体发生装置、设于普通气体发生装置气体输出管道上的普通气体净化装置，所述辅助气体供应装置还包括液氧发生装置以及将液氧发生装置产生的液氧汽化的液氧汽化装置，所述液氧汽化装置和普通气体净化装置的输出端分别通过气体调节阀与激光切割装置的辅助气体输入端连通。本实用新型加工设备加工的光学靶标可做成同周期或不同周期的排列、制作的周期宽、组合形式多、排列密度高、分角度精度高、加工精度高、加工图形小而复杂、可实现细微加工。
文档编号B23K26/38GK201489199SQ200920185890
公开日2010年5月26日 申请日期2009年7月16日 优先权日2009年7月16日
发明者惠国庆, 郭学亮 申请人:苏州光韵达光电科技有限公司