电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置与流程

文档序号:17902477发布日期:2019-06-13 17:14阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置,其中,该方法包括:将微细金属探针插入待操作液体中,通过控制微细金属探针的水平方向运动,利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上;通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置;通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体,将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴,具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。

技术研发人员:佟浩;普玉彬;李俊杰;李勇;姬波林
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2019.02.01
技术公布日:2019.06.11
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