晶圆用自动安装装置的制作方法

本发明涉及一种晶圆用自动安装装置。

背景技术：

目前在将晶圆安装到石墨盘的加工工序中，晶圆一般都是储存在扩晶环上，将晶圆从扩晶环上取下需要人工采用吸盘的方式，在将吸附到吸盘上的晶圆安装到石墨盘上相应的位置，并且每次将一个晶圆安装到石墨盘上的相应的位置后，都需要从新在扩晶环上再次拿取下一个晶圆，在找好在石墨盘上与之相对应的安装位置，每次人工找准晶圆的安装位置都会浪费大量的工作时间，由此造成人力的浪费，并且产量也不能满足市场需求。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆用自动安装装置，以解决需要人工将晶圆安装到石墨盘上的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

提供一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；

所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。

进一步的，所述石墨盘移动机构包括第三滑台底板、第四滑台底板以及用于支撑石墨盘的托板，所述托板的下端固定连接有可在第三滑台底板上左右滑动的第三螺母，所述第三滑台底板上转动连接有第三丝杆，所述第三螺母螺纹连接在第三丝杆上，所述第三滑台底板的侧壁面上固定连接有第三电机，所述第三电机的输出轴与第三丝杆固定连接，且所述第三电机带动第三丝杆转动以使托板在平板上方左右移动；

所述第三滑台底板的下端固定连接有可在第四滑台底板上前后滑动的第四螺母，所述第四滑台底板上转动连接有第四丝杆，所述第四螺母螺纹连接在第四丝杆上，所述第四滑台底板的侧壁面上固定连接有第四电机，所述第四电机的输出轴与第四丝杆固定连接，且所述第四电机带动第四丝杆转动以使托板在平板上方前后移动；

所述托板的左端固定连接有定位板，所述托板的右端滑动连接有夹紧板，所述托板的上端面、定位板的右端面以及夹紧板的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；

所述定位板上设有夹紧气缸，所述定位板的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸的缸体固定连接在定位板的左端面上，所述夹紧气缸的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块，且所述夹紧气缸带动压紧块左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；

所述定位板与夹紧板之间设有位移杆，所述位移杆的一端固定连接在定位板上，所述位移杆的另一端滑动连接在夹紧板上，所述夹紧板上固定连接有锁紧块，所述锁紧块与所述位移杆相配合，所述夹紧板的下端固定连接有位移滑块，所述托板的上端固定连接有位移导轨，所述位移滑块滑动连接在位移导轨上，所述夹紧板在托板上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。

进一步的，所述石墨盘移动机构还包括横梁，所述横梁固定连接在平板上，所述横梁上滑动连接有推料座，所述横梁的前端固定连接有推料电机，所述推料电机的输出轴上固定连接有主推料齿轮，所述主推料齿轮上啮合有推料皮带，所述横梁的后端转动连接有副推料齿轮，所述推料皮带与所述副推料齿轮相啮合；

所述推料座的下端固定连接有齿板，所述齿板的上端面与推料座的下端面之间形成移动间隙，所述推料皮带设置在移动间隙内，且所述齿板上的齿与所述推料皮带上的齿相配合以带动推料座在横梁上前后移动；

所述推料座上端设有推料气缸，所述推料气缸的缸体固定连接在推料座上，所述推料气缸的推杆上固定连接有推料板，所述推料板的前后两端均滑动连接有推送销，且两个推送销之间设有缓冲弹簧；

所述平板的侧壁面上滑动连接有料架，所述料架上开设有多个用于放置石墨盘的储料室，所述储料室的左壁面上开设有推料口，所述推料板滑动连接在推料口内，且所述推料板前后滑动并将储料室内的石墨盘移动至固定区内；

所述料架的下端固定连接有送料螺母，所述平板的侧壁面上固定连接有送料电机，所述送料电机的输出轴上固定连接有送料丝杆，所述送料螺母螺纹连接在送料丝杆上，且所述送料电机带动送料丝杆转动以使料架上下移动。

进一步的，所述晶圆旋转机构包括晶圆旋转支撑板，所述晶圆旋转支撑板的下端安装在平板上；

所述晶圆旋转支撑板上开设有旋转孔，所述旋转孔内设有固定环，所述固定环的下端转动连接在晶圆旋转支撑板的旋转孔内，所述固定环的上端固定连接有半圆形挡板以及弹簧座，所述半圆形挡板的侧壁面与固定环的上端面之间形成l形支撑槽，所述弹簧座与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环的夹紧区；

所述弹簧座的下端固定连接在固定环的上端面上，所述弹簧座的左右两端分别转动连接有夹抓，所述夹抓包括夹手端以及顶紧端，所述弹簧座上的弹簧顶紧在夹抓的顶紧端上，并使夹抓的夹手端将扩晶环夹紧在夹紧区内；

所述晶圆旋转支撑板的上设有第一气缸，所述第一气缸的缸体固定连接在晶圆旋转支撑板的上端面上，所述第一气缸的推杆顶紧在两个夹抓的顶紧端上，并使夹抓的夹手端脱离扩晶环。

进一步的，所述晶圆旋转支撑板上设有换位电机，所述换位电机的法兰端固定连接在晶圆旋转支撑板的下端面上，所述换位电机的输出轴从晶圆旋转支撑板中穿过；

所述固定环的外侧面上开设有环形齿，所述环形齿上啮合有传动皮带，所述换位电机的输出轴上固定连接有输出齿轮，所述输出齿轮与所述传动皮带相啮合，且所述换位电机经传动皮带带动固定环在晶圆旋转支撑板的旋转孔内转动；

所述平板的上端面上固定连接有第一滑台底板，所述第一滑台底板上设有第一丝杆以及用于带动第一丝杆转动的第一电机，所述第一电机的法兰端固定连接在第一滑台底板的侧壁面上，所述第一电机的输出轴固定连接在第一丝杆上；

所述第一丝杆上螺纹连接有可在第一滑台底板上左右滑动的第一螺母，所述第一螺母固定连接在第二滑台底板的下端面，且所述第一电机带动第一丝杆转动以使第二滑台底板在平板的上方左右移动；

所述第二滑台底板上设有第二丝杆以及用于带动第二丝杆转动的第二电机，所述第二电机的法兰端固定连接在第二滑台底板的侧壁面上，所述第二电机的输出轴固定连接在第二丝杆上；

所述第二丝杆上螺纹连接有可在第二滑台底板上左右滑动的第二螺母，所述第二螺母固定连接在晶圆旋转支撑板的下端面上，且所述第二电机带动第二丝杆转动以使晶圆旋转支撑板在平板的上方前后移动。

进一步的，所述晶圆旋转支撑板上设有用于将扩晶环上的晶圆顶起的顶升机构；

所述顶升机构包括调节座以及顶升电机，所述调节座的下端面固定连接在平板的上端面，所述顶升电机的法兰端固定连接在调节座上，所述顶升电机的输出轴上固定连接有偏心轴，所述偏心轴上套设有偏心环；

所述调节座的上设有顶升座，所述顶升座的下端固定连接在调节座的上端，所述顶升座的上端设有可上下滑动的顶针帽，所述顶升座上开设有上下贯穿的通孔，所述通孔内滑动连接有心轴，所述心轴的上端顶紧在顶针帽上，所述心轴的下端固定连接有用于与偏心环相配合的装快，所述心轴的下端套设有复位弹簧，所述复位弹簧的下端顶紧在装快上，所述复位弹簧的上端顶紧在顶升座的通孔内，所述装快上开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有导向杆，所述导向杆的上端固定连接在顶升座上，且所述顶升电机带动偏心环转动以使心轴带动顶针帽上下移动。

进一步的，所述晶圆抓取机构包括立柱，所述立柱上设有固定座以及连接框，所述固定座固定连接在立柱的侧壁面上，所述连接框的下端转动连接在固定座的下端，所述固定座的上端固定连接有取料电机，所述取料电机的输出轴固定连接在连接框的上端，所述连接框下端固定连接有摆臂，所述摆臂上开设有多个取料孔，且所述取料电机带动连接框在固定座上转动以使摆臂将扩晶环上的晶圆抓取至石墨盘上。

进一步的，所述晶圆抓取机构还包括旋转杆、第五滑台底板以及第五电机；

所述第五滑台底板的下端固定连接在平板上，所述第五电机的法兰端固定连接在第五滑台底板的上端，所述第五电机的输出轴上固定连接有第五丝杆，所述第五丝杆上螺纹连接有可在第五滑台底板上上下滑动的第五螺母；

所述第五螺母固定连接有托盘，所述托盘上开设有四个导向孔，所述导向孔内滑动连接有晶圆导向轴，且四个晶圆导向轴与托盘的上端面之间形成用于叠放多个扩晶环的储存区，所述第五电机带动第五丝杆转动以使第五螺母带动储存区内的扩晶环上下移动；

所述旋转杆包括固定端以及吸料端，所述旋转杆的吸料端上固定连接有四根吸料抓，所述吸料抓上设有用于吸取扩晶环的吸盘；

所述立柱的下端固定连接在平板上，所述立柱的侧壁上固定连接有凸耳，所述凸耳的上端固定连接有旋转电机，所述凸耳的下端转动连接有旋转轴，所述旋转杆的固定端固定连接在旋转轴的下端，所述旋转电机的输出轴固定连接在旋转轴的上端，且所述旋转电机带动旋转杆转动以使吸料抓上的吸盘将储存区内的扩晶环抓取至石墨盘移动机构的固定区内。

进一步的，所述立柱上设有左镜头筒以及右镜头筒，所述左镜头筒的下端固定连接有环光灯，且所述环光灯朝向石墨盘移动机构的固定区设置，所述右镜头筒的下端固定连接有光源，且所述光源朝向晶圆旋转机构的夹紧区设置。

进一步的，所述平板的下端固定连接有支架，所述固定板的上端设有用于保护晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构的环形罩；

所述平板上固定连接有收料斗，所述收料斗设置在吸料抓的下方。

本发明的有益效果是：通过晶圆抓取机构将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上，以实现生产的自动化，从而提高生产速度，节省人力物力的效果。

附图说明

下面结合附图对本发明进一步说明。

图1是本发明上下料单机的示意图；

图2是本发明上下料单机的轴测图；

图3是本发明上下料单机中晶圆旋转机构的示意图；

图4是本发明上下料单机中晶圆旋转机构的轴测图；

图5是本发明上下料单机中晶圆旋转支撑板的示意图；

图6是本发明上下料单机中顶升机构的示意图；

图7是本发明上下料单机中调节座的示意图；

图8是本发明上下料单机中顶升座的示意图；

图9是本发明上下料单机中石墨盘移动机构的示意图；

图10是本发明上下料单机中石墨盘移动机构的轴测图；

图11是本发明上下料单机中第三滑台底板以及第四滑台底板的示意图；

图12是本发明上下料单机中横梁的示意图；

图13是本发明上下料单机中料架的示意图；

图14是本发明上下料单机中晶圆抓取机构的示意图；

图15是本发明上下料单机晶圆抓取机构中储存区的示意图；

图16是本发明上下料单机中摆臂的示意图；

图17是本发明上下料单机中旋转杆的示意图；

其中；平板1，支架11，环形罩12，收料斗13；

晶圆旋转机构2，晶圆旋转支撑板21，旋转孔211，固定环22，半圆形挡板221，弹簧座23，夹抓231，第一气缸24，换位电机25，输出齿轮251，传动皮带26，第一滑台底板27，第一丝杆271，第一电机272，第一螺母273，第二滑台底板28，第二丝杆281，第二电机282，第二螺母283，

晶圆抓取机构3，立柱31，旋转杆32，吸料抓321，吸盘322，第五滑台底板33，第五电机34，第五丝杆341，第五螺母342，托盘35，晶圆导向轴351，凸耳36，旋转电机361，旋转轴362，固定座37，取料电机371，连接框38，摆臂381，取料孔382；

石墨盘移动机构4，第三滑台底板41，第三丝杆411，第三电机412，第四螺母413，第四滑台底板42，第四丝杆421，第四电机422，托板43，第三螺母431，定位板432，夹紧板433，夹紧气缸434，压紧块44，位移杆45，锁紧块46，位移滑块47，位移导轨471，横梁48，推料座481，推料电机482，推料皮带483，齿板484，推料气缸485，推料板486，推送销487，缓冲弹簧488，料架49，储料室491，推料口492，送料螺母493，送料电机494，送料丝杆495；

扩晶环5；

顶升机构6，调节座61，顶升电机62，偏心轴63，顶升座64，顶针帽641，心轴642，复位弹簧643，装快65，导向杆66；

左镜头筒7，环光灯71；

右镜头筒8，光源81。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1至图17所示；

提供一种晶圆用自动安装装置，包括平板1，所述平板1的上端面上固定连接有晶圆旋转机构2、晶圆抓取机构3以及石墨盘移动机构4，所述晶圆抓取机构3设置在晶圆旋转机构2与石墨盘移动机构4之间，所述晶圆抓取机构3适于将晶圆旋转机构2上的晶圆抓取至石墨盘移动机构4的石墨盘上，所述平板1的下端固定连接有支架11，所述固定板的上端设有用于保护晶圆旋转机构2、晶圆抓取机构3以及石墨盘移动机构4的环形罩12。

所述石墨盘移动机构4包括第三滑台底板41、第四滑台底板42以及用于支撑石墨盘的托板43，所述托板43的下端固定连接有可在第三滑台底板41上左右滑动的第三螺母431，所述第三滑台底板41上转动连接有第三丝杆411，所述第三螺母431螺纹连接在第三丝杆411上，所述第三滑台底板41的侧壁面上固定连接有第三电机412，所述第三电机412的输出轴与第三丝杆411固定连接，且所述第三电机412带动第三丝杆411转动以使托板43在平板1上方左右移动；

所述第三滑台底板41的下端固定连接有可在第四滑台底板42上前后滑动的第四螺母413，所述第四滑台底板42上转动连接有第四丝杆421，所述第四螺母413螺纹连接在第四丝杆421上，所述第四滑台底板42的侧壁面上固定连接有第四电机422，所述第四电机422的输出轴与第四丝杆421固定连接，且所述第四电机422带动第四丝杆421转动以使托板43在平板1上方前后移动；所述托板43的左端固定连接有定位板432，所述托板43的右端滑动连接有夹紧板433，所述托板43的上端面、定位板432的右端面以及夹紧板433的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；所述定位板432上设有夹紧气缸434，所述定位板432的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸434的缸体固定连接在定位板432的左端面上，所述夹紧气缸434的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块44，且所述夹紧气缸434带动压紧块44左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；

所述定位板432与夹紧板433之间设有位移杆45，所述位移杆45的一端固定连接在定位板432上，所述位移杆45的另一端滑动连接在夹紧板433上，所述夹紧板433上固定连接有锁紧块46，所述锁紧块46与所述位移杆45相配合，所述夹紧板433的下端固定连接有位移滑块47，所述托板43的上端固定连接有位移导轨471，所述位移滑块47滑动连接在位移导轨471上，所述夹紧板433在托板43上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。

所述石墨盘移动机构4还包括横梁48，所述横梁48固定连接在平板1上，所述横梁48上滑动连接有推料座481，所述横梁48的前端固定连接有推料电机482，所述推料电机482的输出轴上固定连接有主推料齿轮，所述主推料齿轮上啮合有推料皮带483，所述横梁48的后端转动连接有副推料齿轮，所述推料皮带483与所述副推料齿轮相啮合；所述推料座481的下端固定连接有齿板484，所述齿板484的上端面与推料座481的下端面之间形成移动间隙，所述推料皮带483设置在移动间隙内，且所述齿板484上的齿与所述推料皮带483上的齿相配合以带动推料座481在横梁48上前后移动；所述推料座481上端设有推料气缸485，所述推料气缸485的缸体固定连接在推料座481上，所述推料气缸485的推杆上固定连接有推料板486，所述推料板486的前后两端均滑动连接有推送销487，且两个推送销487之间设有缓冲弹簧488；所述平板1的侧壁面上滑动连接有料架49，所述料架49上开设有多个用于放置石墨盘的储料室491，所述储料室491的左壁面上开设有推料口492，所述推料板486滑动连接在推料口492内，且所述推料板486前后滑动并将储料室491内的石墨盘移动至固定区内；所述料架49的下端固定连接有送料螺母493，所述平板1的侧壁面上固定连接有送料电机494，所述送料电机494的输出轴上固定连接有送料丝杆495，所述送料螺母493螺纹连接在送料丝杆495上，且所述送料电机494带动送料丝杆495转动以使料架49上下移动。

所述晶圆旋转机构2包括晶圆旋转支撑板21，所述晶圆旋转支撑板21的下端安装在平板1上；所述晶圆旋转支撑板21上开设有旋转孔211，所述旋转孔211内设有固定环22，所述固定环22的下端转动连接在晶圆旋转支撑板21的旋转孔211内，为了方便控制固定环22在旋转孔211内旋转的角度，可以在晶圆旋转支撑板21上安装有感应器，所述固定环22的上端固定连接有半圆形挡板221以及弹簧座23，所述半圆形挡板221的侧壁面与固定环22的上端面之间形成l形支撑槽，所述弹簧座23与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环5的夹紧区；所述弹簧座23的下端固定连接在固定环22的上端面上，所述弹簧座23的左右两端分别转动连接有夹抓231，所述夹抓231包括夹手端以及顶紧端，所述弹簧座23上的弹簧顶紧在夹抓231的顶紧端上，并使夹抓231的夹手端将扩晶环5夹紧在夹紧区内；所述晶圆旋转支撑板21的上设有第一气缸24，所述第一气缸24的缸体固定连接在晶圆旋转支撑板21的上端面上，所述第一气缸24的推杆顶紧在两个夹抓231的顶紧端上，并使夹抓231的夹手端脱离扩晶环5。

所述晶圆旋转支撑板21上设有换位电机25，所述换位电机25的法兰端固定连接在晶圆旋转支撑板21的下端面上，所述换位电机25的输出轴从晶圆旋转支撑板21中穿过；所述固定环22的外侧面上开设有环形齿，所述环形齿上啮合有传动皮带26，所述换位电机25的输出轴上固定连接有输出齿轮251，所述输出齿轮251与所述传动皮带26相啮合，且所述换位电机25经传动皮带26带动固定环22在晶圆旋转支撑板21的旋转孔211内转动；所述平板1的上端面上固定连接有第一滑台底板27，所述第一滑台底板27上设有第一丝杆271以及用于带动第一丝杆271转动的第一电机272，所述第一电机272的法兰端固定连接在第一滑台底板27的侧壁面上，所述第一电机272的输出轴固定连接在第一丝杆271上；所述第一丝杆271上螺纹连接有可在第一滑台底板27上左右滑动的第一螺母273，所述第一螺母273固定连接在第二滑台底板28的下端面，且所述第一电机272带动第一丝杆271转动以使第二滑台底板28在平板1的上方左右移动；所述第二滑台底板28上设有第二丝杆281以及用于带动第二丝杆281转动的第二电机282，所述第二电机282的法兰端固定连接在第二滑台底板28的侧壁面上，所述第二电机282的输出轴固定连接在第二丝杆281上；所述第二丝杆281上螺纹连接有可在第二滑台底板28上左右滑动的第二螺母283，所述第二螺母283固定连接在晶圆旋转支撑板21的下端面上，且所述第二电机282带动第二丝杆281转动以使晶圆旋转支撑板21在平板1的上方前后移动。

所述晶圆旋转支撑板21上设有用于将扩晶环5上的晶圆顶起的顶升机构6；

所述顶升机构6包括调节座61以及顶升电机62，所述调节座61的下端面固定连接在平板1的上端面，所述顶升电机62的法兰端固定连接在调节座61上，所述顶升电机62的输出轴上固定连接有偏心轴63，所述偏心轴63上套设有偏心环631；所述调节座61的上设有顶升座64，所述顶升座64的下端固定连接在调节座61的上端，所述顶升座64的上端设有可上下滑动的顶针帽641，所述顶升座64上开设有上下贯穿的通孔，所述通孔内滑动连接有心轴642，所述心轴642的上端顶紧在顶针帽641上，所述心轴642的下端固定连接有用于与偏心环631相配合的装快65，所述心轴642的下端套设有复位弹簧643，所述复位弹簧643的下端顶紧在装快65上，所述复位弹簧643的上端顶紧在顶升座64的通孔内，所述装快65上开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有导向杆66，所述导向杆66的上端固定连接在顶升座64上，且所述顶升电机62带动偏心环631转动以使心轴642带动顶针帽641上下移动。

所述晶圆抓取机构3包括立柱31，所述立柱31上设有固定座37以及连接框38，所述固定座37固定连接在立柱31的侧壁面上，所述连接框38的下端转动连接在固定座37的下端，所述固定座37的上端固定连接有取料电机371，所述取料电机371的输出轴固定连接在连接框38的上端，所述连接框38下端固定连接有摆臂381，所述摆臂381上开设有多个取料孔382，且所述取料电机371带动连接框38在固定座37上转动以使摆臂381将扩晶环5上的晶圆抓取至石墨盘上。

所述晶圆抓取机构3还包括旋转杆32、第五滑台底板33以及第五电机34；

所述第五滑台底板33的下端固定连接在平板1上，所述第五电机34的法兰端固定连接在第五滑台底板33的上端，所述第五电机34的输出轴上固定连接有第五丝杆341，所述第五丝杆341上螺纹连接有可在第五滑台底板33上上下滑动的第五螺母342；所述第五螺母342固定连接有托盘35，所述托盘35上开设有四个导向孔，所述导向孔内滑动连接有晶圆导向轴351，且四个晶圆导向轴351与托盘35的上端面之间形成用于叠放多个扩晶环5的储存区，所述第五电机34带动第五丝杆341转动以使第五螺母342带动储存区内的扩晶环5上下移动；所述旋转杆32包括固定端以及吸料端，所述旋转杆32的吸料端上固定连接有四根吸料抓321，所述吸料抓321上设有用于吸取扩晶环5的吸盘322；所述立柱31的下端固定连接在平板1上，所述平板1上固定连接有收料斗13，所述收料斗13设置在吸料抓321的下方。所述立柱31的侧壁上固定连接有凸耳36，所述凸耳36的上端固定连接有旋转电机361，所述凸耳36的下端转动连接有旋转轴362，所述旋转杆32的固定端固定连接在旋转轴362的下端，所述旋转电机361的输出轴固定连接在旋转轴362的上端，且所述旋转电机361带动旋转杆32转动以使吸料抓321上的吸盘322将储存区内的扩晶环5抓取至石墨盘移动机构4的固定区内。所述立柱31上设有左镜头筒7以及右镜头筒8，所述左镜头筒7的下端固定连接有环光灯71，且所述环光灯71朝向石墨盘移动机构4的固定区设置，所述右镜头筒8的下端固定连接有光源81，且所述光源81朝向晶圆旋转机构2的夹紧区设置。

在实际操作中，将安装有晶圆的多个扩晶环5叠放在由四个晶圆导向轴351与托盘35的上端面之间形成的储存区内，在经旋转电机361带动旋转杆32转动以使吸料抓321上的吸盘322将储存区内的扩晶环5抓取至晶圆旋转机构2的夹紧区内，并且第五电机34带动第五丝杆341转动以使第五螺母342带动储存区内的扩晶环5向上移动一个工位为下次作业作准备，被抓取至晶圆旋转机构2上的扩晶环5经两个夹抓231的夹手端将固定环22夹紧在夹紧区内，并且由顶升电机62带动偏心环631转动以使心轴642带动顶针帽641上下移动，顶针帽641向上移动时，将扩晶环5上的一个晶圆顶起，在经摆臂381将顶起的晶圆抓取，在使取料电机371带动连接框38在固定座37上转动以使摆臂381带动被抓起的晶圆转动至石墨盘移动机构4固定区的石墨盘上，在使第一电机272带动第一丝杆271转动以使第二滑台底板28在平板1的上方左右移动，第二电机282带动第二丝杆281转动以使晶圆旋转支撑板21在平板1的上方前后移动，换位电机25经传动皮带26带动固定环22在晶圆旋转支撑板21的旋转孔211内转动，以使摆臂381重复上述的作业并将扩晶环5上的晶圆均抓取至石墨盘上，在通过旋转电机361带动旋转杆32转动以使吸料抓321上的吸盘322将晶圆旋转机构2夹紧区内的扩晶环5抓取至收料斗13上；

在对石墨盘移动机构4固定区内的石墨盘的作业完成后，取下完成的石墨盘，并且推料电机482带动推料座481在横梁48上前后移动，送料电机494带动送料丝杆495转动以使料架49向上移动，以使推料板486将料架49储料室491内的石墨盘推送至托板43上，在经夹紧气缸434带动压紧块44左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内，以实现石墨盘移动机构4固定区内石墨盘的快速更换；

综上所述，在进行晶圆与石墨盘的作业工序时，无需在通过人工操作，实现了操作自动化的效果，从而有效的提高了生产速度。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。