一种紫外固态皮秒激光器加工系统的制作方法

本实用新型属于激光加工技术领域，具体涉及一种紫外固态皮秒激光器加工系统。

背景技术：

现有比较完善的激光加工采用红外激光进行加工，但是精密材料、3d打印等需要用到紫外激光来进行加工，而市场上现有的紫外加工系统结构复杂，并且输出的紫外激光的光斑尺寸不能够调节，同一台紫外激光器不能对不同规格精密材料完成加工。

因此，亟需开发一种新的紫外固态皮秒激光器加工系统，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种紫外固态皮秒激光器加工系统，以解决如何改变紫外固态皮秒激光发射模块发出的紫外激光光斑大小以对不同规格精密材料加工的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种紫外固态皮秒激光器加工系统，其包括：依次设置的紫外固态皮秒激光发射模块、扩束准直模块、聚焦模块、变倍镜组和激光扫描模块；其中所述紫外固态皮秒激光发射模块将发射紫外激光至扩束准直模块进行扩束准直后，紫外激光通过所述聚焦模块进行聚焦，所述变倍镜组适于调节紫外激光的光斑尺寸，即所述激光扫描模块控制紫外激光对精密材料进行激光加工。

进一步，所述紫外固态皮秒激光发射模块包括：紫外固态皮秒激光器；所述紫外固态皮秒激光器适于发出紫外激光。

进一步，所述扩束准直模块包括：扩束镜和准直镜；所述扩束镜适于对紫外激光进行扩束；所述准直镜适于对紫外激光进行准直。

进一步，所述聚焦模块包括：聚焦镜；所述聚焦镜适于对紫外激光进行聚焦。

进一步，所述变倍镜组包括：第一透镜组和第二透镜组；通过调节所述第一透镜组与所述第二透镜组之间的间距，以改变所述变倍镜组的焦距，从而调节通过所述变倍镜组的紫外激光的光斑尺寸。

进一步，所述第一透镜组与所述第二透镜组结构相同；所述第一透镜组包括：卡环、透镜座，以及用于调节焦距的透镜镜片；所述透镜座开设有卡环放置位，所述卡环适于固定透镜镜片；若干接杆适于垂直贯穿所述第一透镜组和所述第二透镜组的透镜座，通过若干锁紧螺柱从所述第一透镜组和所述第二透镜组的透镜座侧边插入以锁紧接杆，从而将所述第一透镜组和所述第二透镜组进行固定，即所述第一透镜组、所述第二透镜组通过在接杆上移动以调节所述第一透镜组与所述第二透镜组之间的间距。

进一步，所述激光扫描模块包括：场镜和扫描振镜；所述场镜对通过的紫外激光进行聚焦，并通过扫描振镜将紫外激光打在精密材料上相应位置，以进行激光加工。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过紫外固态皮秒激光发射模块发出紫外激光经扩束准直模块扩束准直后，并通过聚焦模块进行聚焦，由变倍镜组调节紫外激光的光斑尺寸经激光扫描模块控制紫外激光完成加工，实现了紫外激光的光斑尺寸可调节的功能，能够满足对不同规格精密材料加工需求，并且结构简单、成本低。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的紫外固态皮秒激光器加工系统的结构图；

图2是本实用新型的变倍镜组的结构图。

图中：

紫外固态皮秒激光发射模块1、扩束准直模块2、聚焦模块3、变倍镜组4、第一透镜组4a、第二透镜组4b、卡环401、透镜座402、接杆403、插入孔404、激光扫描模块5、紫外激光6。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

图1是本实用新型的紫外固态皮秒激光器加工系统的结构图。

在本实施例中，如图1所示，本实施例提供了一种紫外固态皮秒激光器加工系统，其包括：依次设置的紫外固态皮秒激光发射模块1、扩束准直模块2、聚焦模块3、变倍镜组4和激光扫描模块5；其中所述紫外固态皮秒激光发射模块1将发射紫外激光6至扩束准直模块2进行扩束准直后，紫外激光6通过所述聚焦模块3进行聚焦，所述变倍镜组4适于调节紫外激光6的光斑尺寸，即所述激光扫描模块5控制紫外激光6对精密材料进行激光加工。

在本实施例中，本实施例通过紫外固态皮秒激光发射模块发出紫外激光经扩束准直模块扩束准直后，并通过聚焦模块进行聚焦，由变倍镜组调节紫外激光的光斑尺寸经激光扫描模块控制紫外激光完成加工，实现了紫外激光的光斑尺寸可调节的功能，能够满足对不同规格精密材料加工需求，并且结构简单、成本低。

在本实施例中，所述紫外固态皮秒激光发射模块1包括：紫外固态皮秒激光器；所述紫外固态皮秒激光器适于发出紫外激光6。

在本实施例中，紫外固态皮秒激光器可以采用但不限于是darren-500-355型皮秒激光器。

在本实施例中，所述扩束准直模块2包括：扩束镜和准直镜；所述扩束镜适于对紫外激光6进行扩束；所述准直镜适于对紫外激光6进行准直。

在本实施例中，扩束镜对紫外激光进行扩束，能够保证紫外激光整齐、集中，准直镜对紫外激光进行准直，能够保证紫外激光的能量分布均匀。

在本实施例中，所述聚焦模块3包括：聚焦镜；所述聚焦镜适于对紫外激光6进行聚焦。

在本实施例中，聚焦镜能够使紫外激光进行聚焦，保证紫外激光的能量集中。

在本实施例中，所述变倍镜组4包括：第一透镜组4a和第二透镜组4b；通过调节所述第一透镜组4a与所述第二透镜组4b之间的间距，以改变所述变倍镜组4的焦距，从而调节通过所述变倍镜组4的紫外激光6的光斑尺寸。

图2是本实用新型的变倍镜组4的结构图。

在本实施例中，如图2所示，所述第一透镜组4a与所述第二透镜组4b结构相同；所述第一透镜组4a包括：卡环401、透镜座402，以及用于调节焦距的透镜镜片；所述透镜座402开设有卡环401放置位，所述卡环401适于固定透镜镜片；若干接杆403适于垂直贯穿所述第一透镜组4a和所述第二透镜组4b的透镜座402，通过若干锁紧螺柱从所述第一透镜组4a和所述第二透镜组4b的透镜座402侧边插入以锁紧接杆403，从而将所述第一透镜组4a和所述第二透镜组4b进行固定，即所述第一透镜组4a、所述第二透镜组4b通过在接杆403上移动以调节所述第一透镜组4a与所述第二透镜组4b之间的间距。

在本实施例中，为了更好对结构进行展示，透镜镜片本身为透明，已在图中隐去。

在本实施例中，如图2所示，透镜座402的侧边设置有若干插入孔404，插入孔404适于锁紧螺柱旋入以将第一透镜组4a、第二透镜组4b和接杆403进行固定。

在本实施例中，所述激光扫描模块5包括：场镜和扫描振镜；所述场镜对通过的紫外激光6进行聚焦，并通过扫描振镜将紫外激光6打在精密材料上相应位置，以进行激光加工。

在本实施例中，通过扫描振镜中xy扫描镜控制激光光路轨迹，能够实现精确控制紫外激光对精密材料进行加工；场镜主要用于对进入场镜的激光进行聚焦，保证紫外激光的能量集中。

综上所述，本实用新型通过紫外固态皮秒激光发射模块发出紫外激光经扩束准直模块扩束准直后，并通过聚焦模块进行聚焦，由变倍镜组调节紫外激光的光斑尺寸经激光扫描模块控制紫外激光完成加工，实现了紫外激光的光斑尺寸可调节的功能，能够满足对不同规格精密材料加工需求，并且结构简单、成本低。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。