一种晶圆表面处理设备的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆表面处理设备。


背景技术：

2.晶圆生产过程中需要对其表面进行处理，如清洗、电镀或者蚀刻。常用的一种表面清洗方法是将晶圆固定于清洗槽内，清洗液喷向晶圆。清洗液的喷洒装置不断运动以全面清洗晶圆。电镀或者蚀刻也是同样方法。这种装置虽然能够对晶圆表面进行一定的处理，但晶圆无法旋转，无法保证表面均匀处理。这种表面装置很难实现水平清洗、电镀或蚀刻，即晶圆水平地设置在清洗液、电镀液或蚀刻液上方，清洗液、电镀液或蚀刻液自下而上流动至与晶圆接触以清洗晶圆表面。
3.参照现有公开号为cn108807217a的中国专利公开了一种晶圆表面处理装置及方法，所述晶圆表面处理装置包括工作台、脉冲激光器和水箱，所述工作台用于承载晶圆，所述晶圆具有表层结构，所述脉冲激光器产生激光束，所述水箱设有开口，所述水箱中的液体从所述开口中喷出，所述激光束经过所述开口与所述液体一起投射到所述表层结构上。
4.上述的这种晶圆表面处理装置及方法，通过脉冲激光器产生激光束，激光束用来剥离晶圆上的表层结构，由水箱从其开口中喷出液体，通过液体冲刷带走附产物；在本发明中，由使激光束经过该开口与该开口中喷出的液体一起投射到晶圆的表层结构上，可实现在剥离表层结构的同时并冲刷带走附产物，经过晶圆表面处理可以形成可重复利用的晶圆，降低了生产成本。但是上述的这种晶圆表面处理装置及方法依旧存在着一些缺点，如：不具有烘干效果，且不能将晶圆变换角度进行清理。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面处理设备，具有烘干效果，且在加工时可将晶圆变换角度进行清理，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种晶圆表面处理设备，包括加工箱，所述加工箱内腔固定安装有收集箱，所述加工箱两侧固定安装有夹持机构，所述收集箱上端固定安装有水箱，所述水箱下端设有出水管，所述出水管贯穿所述加工箱，所述出水管另一端连接有喷头，所述加工箱上端固定安装有烘干风机，所述烘干风机一端固定连接有排气管，所述排气管贯穿所述加工箱，所述排气管另一端固定连接有排气嘴；
8.所述夹持机构包括有安装板，所述安装板固定安装在所述收集箱上端，所述安装板一侧固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板另一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定连接有夹具。
9.优选的，所述收集箱一侧设有排水管，所述排水管贯穿所述加工箱，所述排水管上固定安装有第一电控阀。
10.优选的，所述加工箱两侧开设有通风孔，所述通风孔处固定安装有第一过滤网。
11.优选的，所述水箱上端设有进水管，所述进水管上端螺纹连接有挡盖。
12.优选的，所述进水管内安装有第二过滤网。
13.优选的，所述出水管上固定安装有第二电控阀。
14.优选的，所述夹具为弧形夹具，所述夹具内开设有凹槽，所述凹槽内设有橡胶层。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型设有加工箱，加工箱内设有收集箱，收集箱上设有夹持机构，夹持机构将晶圆进行夹持，水箱通过出水管向喷头输送水，水通过喷头对晶圆进行清理，清理后，启动烘干风机，烘干风机通过排气管与排气嘴，对晶圆进行风干；
17.2、本实用新型的夹持机构在夹持时，启动伺服电缸调节夹具距离进行夹持，可对不同大小的晶圆进行夹持，夹持完成后需要更换清洗角度时，启动伺服电缸进行角度调节。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图；
19.图2为本实用新型的剖视结构示意图；
20.图3为本实用新型的夹具结构示意图。
21.图中：1、加工箱；2、收集箱；3、夹持机构；301、安装板；302、伺服电缸；303、连接板；304、伺服电机；305、连接杆；306、夹具；307、凹槽；308、橡胶层；4、水箱；5、出水管；6、喷头；7、烘干风机；8、排气管；9、排气嘴；10、排水管；11、第一电控阀；12、通风孔；13、第一过滤网；14、进水管；15、挡盖；16、第二过滤网；17、第二电控阀。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
24.一种晶圆表面处理设备，包括加工箱1，加工箱1内腔固定安装有收集箱2，加工箱1两侧固定安装有夹持机构3，收集箱2上端固定安装有水箱 4，水箱4下端设有出水管5，出水管5贯穿加工箱1，出水管5另一端连接有喷头6，加工箱1上端固定安装有烘干风机7，烘干风机7一端固定连接有排气管8，排气管8贯穿加工箱1，排气管8另一端固定连接有排气嘴 9；
25.夹持机构3包括有安装板301，安装板301固定安装在收集箱2上端，安装板301一侧固定安装有伺服电缸302，伺服电缸302输出端固定连接有连接板303，连接板303另一侧固定安装有伺服电机304，伺服电机304输出端通过联轴器连接有连接杆305，连接杆305另一端固定连接有夹具306。
26.参考图2，由于收集箱2一侧设有排水管10，排水管10贯穿加工箱1，排水管10上固定安装有第一电控阀11，故排水管10便于将废水进行排出，第一电控阀11便于控制排水。
27.参考图2，由于加工箱1两侧开设有通风孔12，通风孔12处固定安装有第一过滤网13，故通风孔12便于加工箱1进行通风，第一过滤网13可避免有杂物进入加工箱1内。
28.参考图2，由于水箱4上端设有进水管14，进水管14上端螺纹连接有挡盖15，故进水管14便于向水箱4内进行输水，挡盖15可避免有杂物进入水箱4内。
29.参考图2，由于进水管14内安装有第二过滤网16，故便于在输水时进行过滤，避免杂物进入水箱4内。
30.参考图2，由于出水管5上固定安装有第二电控阀17，故便于控制喷水清洗。
31.参考图3，由于夹具306为弧形夹具，夹具306内开设有凹槽307，凹槽307内设有橡胶层308，故通过设有凹槽307便于将晶圆进行卡合固定，通过设有橡胶层308可减少对晶圆的磨损。
32.结构原理：本实用新型设有加工箱1，加工箱1内设有收集箱2，收集箱2上设有夹持机构，夹持机构3将晶圆进行夹持，启动伺服电缸302调节夹具306距离进行夹持，可对不同大小的晶圆进行夹持，夹持完成后需要更换清洗角度时，启动伺服电缸302进行角度调节，水箱4通过出水管5 向喷头6输送水，水通过喷头6对晶圆进行清理，清理后，启动烘干风机7，烘干风机7通过排气管8与排气嘴9，对晶圆进行风干。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。