技术特征：
1.一种透明材料纳米孔加工装置，其特征在于，包括壳体(1)以及从下自上依次设置在壳体(1)内的第一支撑件、第二支撑件和玻璃盖(4)；待加工样品置于第一支撑件和第二支撑件之间并分别与第一支撑件和第二支撑件接触。2.根据权利要求1所述的透明材料纳米孔加工装置，其特征在于，所述第一支撑件为台阶(3)，所述台阶(3)为两个；两个台阶(3)均置于壳体(1)内底面上，两个台阶(3)关于壳体(1)中轴线对称设置，待加工样品架在两个台阶(3)上。3.根据权利要求1所述的透明材料纳米孔加工装置，其特征在于，所述第一支撑件为夹持槽，所述夹持槽为两个，两个夹持槽对应设置在壳体(1)两个相对侧壁上，待加工样品卡入两个夹持槽之间。4.根据权利要求2或3所述的透明材料纳米孔加工装置，其特征在于，所述第二支撑件为垫片(5)，垫片(5)为两个，所述两个垫片(5)均置于待加工样品和玻璃盖(4)之间。5.一种基于权利要求4所述的透明材料纳米孔加工装置的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：1)将权利要求4所述的加工装置固定在电控位移工作台上；2)向加工装置内加入浸没液(2)，直至待加工样品完全浸在浸没液(2)中；3)在浸没液(2)中，利用激光在待加工样品上加工出纳米孔(8)。6.根据权利要求5所述的加工方法，其特征在于，所述步骤2)中，浸没液(2)的液面高度高于玻璃盖(4)的下表面高度，低于玻璃盖(4)的上表面高度。7.根据权利要求6所述的加工方法，其特征在于，所述浸没液(2)为水、石蜡、油、折射率匹配液或水凝胶。8.根据权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述步骤3)中，浸没液(2)为水时，激光将水电离形成等离子体，激光能量再通过等离子体转移到水中，水发生气化形成气泡(7)，在待加工样品(6)上形成真空，激光焦点区域的透明材料不断喷射，加工形成纳米孔(8)。9.根据权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述激光的光源为脉冲光源；所述脉冲光源的脉宽量级为纳秒、皮秒、飞秒或阿秒。10.根据权利要求9所述的加工方法，其特征在于，所述激光的光束为高斯型、贝塞尔光束、径向偏振光束或涡旋光束。
技术总结
本发明属于材料加工技术领域，涉及一种透明材料纳米孔加工方法和加工装置，加工装置，包括壳体以及从下自上依次设置在壳体内的第一支撑件、第二支撑件和玻璃盖；待加工样品置于第一支撑件和第二支撑件之间。本发明加工装置结构简单，加工方法能增加聚焦激光束的瑞丽长度，有利于激光焦点区域的透明材料喷射，加工的通孔更深，孔壁更光滑，提高纳米孔的质量。提高纳米孔的质量。提高纳米孔的质量。
技术研发人员：周强 罗嵘 周秀哲
受保护的技术使用者：西安尚泰光电科技有限责任公司
技术研发日：2022.04.22
技术公布日：2022/8/12