一种光纤激光与管电极电解同步复合加工装置及方法

1.本发明涉及精密加工技术领域，具体而言，涉及一种光纤激光与管电极电解同步复合加工装置及方法。


背景技术：

2.近年来，随着诸如激光加工、电火花加工和电化学加工等特种加工技术的不断发展，微小孔、槽等结构由于其在零件服役时表现出独特的性能，因而其结构设计和制备技术在国防装备、船舶舰艇、汽车模具、仪器仪表和医疗装备等领域逐渐受到了广泛的关注。然而，由于诸如钛合金、铝合金和带有热障涂层的高温合金等难加工材料在上述领域中的应用，使得采用单一加工技术难以满足高效率和高质量的加工要求。
3.激光与电化学加工复合技术的出现，不仅很好地利用了激光加工技术的高效率和电解加工的无热影响区、无重铸层和微裂纹等优势，也有效地降低了激光加工产生重铸层和微裂纹的可能性，并提高了加工效率和加工定域性。但由于传统激光电解加工技术利用喷嘴作为阴极工具，导致阴极进给受到限制，无法实现大深径比孔、槽结构的加工。
4.虽然，已有研究指出采用金属管电极阴极工具代替喷嘴式阴极工具，利用管电极同时传导激光和电解液，可有效提高深孔加工的可能性。但随着加深度的增加，加工间隙产生的废液、产物以及气泡未能及时排出，而严重影响了激光能量密度和电流密度，进而降低了加工效率和加工质量，甚至造成短路，损坏工件，无法加工所需大深径比结构。


技术实现要素：

5.本发明所要解决的问题是利用管电极同时传导激光和电解液在深孔加工时产生的废液、产物以及气泡未能及时排出，而严重影响了激光能量密度和电流密度，进而降低了加工效率和加工质量，导致无法加工所需大深径比结构。
6.为解决上述问题，本发明提出如下技术方案：
7.一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置，包括抽吸泵、抽吸式管电极和光源；
8.所述抽吸式管电极包括从外至内依次套接设置的外金属管电极、中空光纤和内金属管电极；
9.所述内金属管电极内部设有电解液流入通道；
10.所述光源发出的激光束通过所述中空光纤导光，并聚焦于所述内金属管电极的轴线上，以在工件表面形成聚焦光斑而加工出深孔；
11.所述外金属管电极的内壁和所述中空光纤的外壁之间形成有内电解液流出通道；
12.所述抽吸式管电极用于伴随在所述工件表面加工出的所述深孔的深度不断加深而移动，以使所述抽吸式管电极的下端插接进所述深孔内，所述外金属管电极的外壁与所述深孔的内壁之间形成外电解液流出通道，所述电解液流入通道、所述内电解液流出通道和所述外电解液流出通道于所述深孔内底部相连通；
13.所述外金属管电极的侧壁上设有连接口，所述连接口用于与所述抽吸泵相连接。
14.本发明提供的一种光纤激光与管电极电解同步复合加工装置及方法，相较于现有技术，具有但不局限于以下有益效果：
15.其中，在光纤激光与管电极电解同步复合加工装置中，电解液通过内金属管电极内部的电解液流入通道流到工件上，激光束经过中空光纤在工件表面聚集，以便于实现光子能和电化学能场复合加工阳极工件；加工出深孔后，电解液流入通道内的电解液流到深孔内并淤积，使得电解液流入到内电解液流出通道和外内电解液流出通道中，抽吸泵通过连接口与外金属管电极相连接，进而对内电解液流出通道中的电解液进行抽吸，由于电解液流入通道、内电解液流出通道和外内电解液流出通道于深孔内底部相连通，以便于抽吸泵对外电解液流出通道中的电解液进行抽吸，外电解液流出通道中的电解液少数溢出排出，从而有利于将加工间隙内的废液、产物和气泡及时排出，有效地提高作用于工件表面的激光能量，实现高效高质地去除材料，有利于加工大深径比小孔。
16.优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括安装于所述抽吸式管电极上端的光电液耦合装置，所述光电液耦合装置包括耦合机构本体、中空金属管、合光棱镜和中空反射镜；
17.所述耦合机构本体的上端具有激光入口，所述耦合机构本体的内部从上至下依次设置有所述中空反射镜和所述合光棱镜，所述中空金属管穿过所述中空反射镜和所述合光棱镜，所述中空金属管上端用于与供液槽相连，所述中空金属管下端与所述抽吸式管电极的所述内金属管电极相连，以形成封闭的电解液导入通路。
18.优选地，所述光电液耦合装置还包括激光发生机构，所述激光发生机构包括作为所述光源的激光器、二向色分光镜、圆锥镜ⅰ、圆锥镜ⅱ、分光棱镜和反射镜；
19.所述激光器用于发射所述激光束，所述二向色分光镜倾斜设置，所述二向色分光镜用于将所述激光束进行反射，所述圆锥镜ⅰ、所述圆锥镜ⅱ和所述反射镜从上至下依次设置于经过所述二向色分光镜反射的所述激光束的光路上；
20.所述反射镜倾斜设置，以使经过所述反射镜反射形成的环形光束从所述耦合机构本体上的所述激光入口进入到所述耦合机构本体内，并传播至所述抽吸式管电极中的所述中空光纤的导光入口处。
21.优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括计算机以及与所述计算机相连接的工控机，所述抽吸泵具有三个端口，所述抽吸泵的第一端口与所述工控机相连，所述抽吸泵的第二端口通过位于所述抽吸式管电极侧壁的所述连接口与所述抽吸式管电极相连接，所述抽吸泵的第三端口用于与废液槽相连。
22.优选地，所述激光发生机构还包括位于所述二向色分光镜上方的从下至上依次设置的滤光片、凸透镜和ccd相机，所述ccd相机与所述工控机相连接；
23.所述激光器发射的另一部分光束通过所述滤光片和所述凸透镜照射于所述ccd相机上。
24.优选地，所述抽吸式管电极还包括连接支架，所述外金属管电极与所述中空光纤之间通过所述连接支架连接，且所述连接支架连接部分通过密封胶填充。
25.优选地，所述内金属管电极包括金属管，所述外金属管电极包括金属管和位于所述金属管的外壁涂覆有绝缘层；
26.所述中空光纤包括导光基体和涂覆于所述导光基体外壁的反射层。
27.优选地，所述抽吸式管电极中的所述导光基体下端部用于加工成聚焦微透镜结构。
28.优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括有电源，所述电源的一端与所述工控机相连接；所述电源的电源负极与所述中空金属管相连，所述中空金属管与所述抽吸式管电极中的所述内电解液流出通道相连通，所述电解液流动从所述中空金属管流动至所述内电解液流出通道中，以形成由所述中空金属管和所述抽吸式管电极组成的阴极导电通路。
29.本发明还提供一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工方法，适用如上述所述的光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工方法包括如下步骤：
30.s1、将所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的抽吸式管电极与光电液耦合装置相连接，并将所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的抽吸泵安装好；
31.s2、所述光电液耦合装置的激光器发射激光束，一部分激光束依次经过所述光电液耦合装置的圆锥镜ⅰ、圆锥镜ⅱ、分光棱镜和合光棱镜后形成中空的环形光束；
32.s3、所述中空环形光束通过所述光电液耦合装置的中空反射镜进行反射，从所述抽吸式管电极内的导光入口处进入中空光纤内，光束在所述中空光纤内发生全反射，进而传输至所述抽吸式管电极内的导光出口下方的工件表面并在所述工件表面上聚集，形成聚焦光斑；
33.s4、另一部分光束则通过所述光电液耦合装置的凸透镜和滤光片后照射于ccd相机上，并反馈于所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的计算机上；
34.s5、同时，将所述抽吸式管电极作为阴极与所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的电源负极相连，将所述工件作为阳极与所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的电源正极相连，并将由供液槽提供的电解液导入所述光电液耦合装置的中空金属管内，进而沿着所述抽吸式管电极中的电解液流入通道道传输至至所述抽吸式管电极下端与所述工件之间留有的加工间隙中；
35.s6、所述电解液通过所述电解液流入通道进入加工间隙后，在电化学和激光同步复合作用下进行深孔加工，进而产生废液、产物和气泡，所述抽吸式管电极的外金属管电极和所述中空光纤之间的废液、产物和气泡沿着所述抽吸式管电极的内电解液流出通道传输至所述外金属管电极侧壁的连接口后，在所述抽吸泵的作用下，沿着所述抽吸泵的出液口流入废液槽；位于所述抽吸式管电极与所述工件之间的废液、产物和气泡，沿着所述内电解液流出通道排出加工间隙，并沿着废液出口流入所述废液槽；
36.s7、设定程序及参数后，操作所述计算机控制工控机，从而控制所述激光器、电源、所述ccd相机、离心泵、所述抽吸泵和机床工作，加工所述工件，进而获得所需孔、槽结构。
附图说明
37.图1为本发明实施例的整体结构示意图；
38.图2为本发明实施例的抽吸式管电极的俯视结构示意图；
39.图3为本发明实施例的抽吸式管电极的剖面结构示意图一；
40.图4为本发明实施例的抽吸式管电极的剖面结构示意图二；
41.图5为本发明实施例的抽吸式管电极与工件结构示意图；
42.图6为本发明实施例的抽吸式管电极加工深孔时结构示意图。
43.附图标记说明：
44.1计算机、10废液、11工件、110深孔、12供液槽、13废液槽、14调节阀、15过滤装置、16流量计、17供液管道、18绝缘导流板、19连接管道、2工控机、3电源、31电源负极、32电源正极、33示波器、4超声装置、40超声探针、5离心泵、6光电液耦合装置、61激光发生机构、610激光束、611激光器、612二向色分光镜、613圆锥镜ⅰ、614圆锥镜ⅱ、615分光棱镜、616反射镜、617滤光片、618凸透镜、619ccd相机、62耦合机构本体、63中空金属管、64合光棱镜、65中空反射镜、7抽吸式管电极、70连接口、701导光入口、702导光出口、703聚焦光斑、704激光传输方向、71外金属管电极、72中空光纤、73内金属管电极、74电解液流入通道、75内电解液流出通道、76外电解液流出通道、77连接支架、78密封结构、79聚焦微透镜结构、8抽吸泵、80排出管道、9工作腔体、90废液管道。
具体实施方式
45.下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
46.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
47.需要说明的是，本文提供的坐标系xz中，x轴正向代表右方，x轴的反向代表左方，z轴的正向代表上方，z轴的反向代表下方；z轴、x轴表示含义仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
48.参阅图1-图6，本发明提供的一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置，其特征在于，包括抽吸泵8、抽吸式管电极7和光源；
49.参阅图2-图4，所述抽吸式管电极7包括从外至内依次套接设置的外金属管电极71、中空光纤72和内金属管电极73；
50.所述内金属管电极73内部设有电解液流入通道74；
51.所述光源发出的激光束610通过所述中空光纤72导光，并聚焦于所述内金属管电极73的轴线上，以在工件11表面形成聚焦光斑703而加工出深孔110；
52.所述外金属管电极71的内壁和所述中空光纤72的外壁之间形成有内电解液流出通道75；
53.所述抽吸式管电极7用于伴随在所述工件11表面加工出的所述深孔110的深度不断加深而移动，以使所述抽吸式管电极7的下端插接进所述深孔110内，所述外金属管电极71的外壁与所述深孔110的内壁之间形成外电解液流出通道76，所述电解液流入通道74、所述内电解液流出通道75和所述外电解液流出通道76于所述深孔110内底部相连通；
54.参阅图3-图4，所述外金属管电极71的侧壁上设有连接口70，所述连接口70用于与所述抽吸泵8相连接。
55.具体地，所述外电解液流出通道76的上端设置有密封结构78，所述密封结构78设置于所述外金属管电极71的上端内壁和所述中空光纤72的上端外壁之间；所述密封结构78的设置能够有效防止电解液从所述外电解液流出通道76的上端溢出。
56.在本实施例中，在光纤激光与管电极电解同步复合加工装置中，电解液通过所述内电解液流出通道75内部的电解液流入通道74流到工件11上，激光束610经过所述中空光纤72在工件11表面聚集，以便于实现光子能和电化学能场复合加工阳极工件11；加工出深孔110后，所述电解液流入通道74内的电解液流到所述深孔110内并淤积，使得电解液流入到所述内电解液流出通道75和所述外电解液流出通道76中，所述抽吸泵8通过所述连接口70与所述外金属管电极71相连接，进而对所述内电解液流出通道75中的电解液进行抽吸，由于所述电解液流入通道74、所述内电解液流出通道75和所述外电解液流出通道76于所述深孔110内底部相连通，以便于所述抽吸泵8对所述外电解液流出通道76中的电解液进行抽吸，所述外电解液流出通道76中的电解液少数溢出排出，从而有利于将加工间隙内的废液10、产物和气泡及时排出，有效地提高作用于工件11表面的激光能量，实现高效高质地去除材料，有利于加工大深径比小孔。
57.具体地，所述内电解液流出通道75的上端外壁与所述中空光纤72的上端内壁之间形成有导光入口701，所述内电解液流出通道75的下端外壁与所述中空光纤72下端内壁之间形成导光出口702。
58.参阅1，优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括安装于所述抽吸式管电极7上端的光电液耦合装置6，所述光电液耦合装置6包括耦合机构本体62、中空金属管63、合光棱镜64和中空反射镜65。
59.所述中空金属管63被固定于所述耦合机构本体62内，并将供液槽12内的电解液传输至所述抽吸式管电极7中的所述内电解液流出通道75中，进而沿着所述电解液流入通道74传输至加工间隙。
60.所述耦合机构本体62的上端具有激光入口，所述耦合机构本体62的内部从上至下依次设置有所述中空反射镜65和所述合光棱镜64，所述中空金属管63穿过所述中空反射镜65和所述合光棱镜64，所述中空金属管63上端用于与供液槽12相连，所述中空金属管63下端与所述抽吸式管电极7的所述内电解液流出通道75相连，以形成封闭的电解液导入通路。其中，所述内电解液流出通道75用于导入电解液。
61.其中，所述中空反射镜65用于将导入的激光束610传输至所述抽吸式管电极7的所述中空光纤72中。
62.具体地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括电解液处理机构，所述电解液处理机构包括供液槽12、离心泵5、流量计16、调节阀14、过滤装置15、废液槽13和超声模块，所述供液槽12内装所述过滤装置15、所述离心泵5、所述电解液、所述超声模块种的超声装置4和所述超声探针40，所述供液槽12连接有供液管道17，并通过所述供液管道17与所述中空金属管63相连接，所述供液管道17上设置有所述调节阀14和所述流量计16。
63.在本实施例中，在所述过滤装置15、所述离心泵5、所述调节阀14和所述流量计16
共同作用下，将电解液导入固定于所述耦合机构本体62内的所述中空金属管63中，并在所述超声装置4和所述超声探针40的辅助作用下，将均匀电解液从所述供液管道17流入到中空金属管63并沿着电解液流入通道74导入加工间隙，从而，形成导电、导光且导液的激光电化学复合能场加工技术，对工件11进行蚀除。其中，在传输过程中，可通过观察所述流量计16，调节所述离心泵5的压力和调节所述调节阀14获得加工所需的电解液流速，同时，与所述超声装置4相连的所述超声探针40伸入所述供液槽12中，使得电解液浓度更加均匀，从而有利于在所述电解液流入通道74内形成稳定的流场。
64.具体地，所述中空金属管63、所述中空反射镜65、所述耦合机构本体62、所述合光棱镜64和所述抽吸式管电极7的中轴线重合。
65.在本实施例中，上述结构同轴设置有利于减少电解液以及激光束610在传输的过程中产生的损耗，并且有利于提高电解液与激光束610在传输过程中的速度，从而提高加工效率。
66.参阅图1，优选地，所述光电液耦合装置6还包括激光发生机构61，所述激光发生机构61包括作为所述光源的激光器611、二向色分光镜612、圆锥镜ⅰ613、圆锥镜ⅱ614、分光棱镜615和反射镜616；
67.所述激光器611用于发射所述激光束610，所述二向色分光镜612倾斜设置，所述二向色分光镜612用于将所述激光束610进行反射，所述圆锥镜ⅰ613、所述圆锥镜ⅱ614和所述反射镜616从上至下依次设置于经过所述二向色分光镜612反射的所述激光束610的光路上；
68.所述反射镜616倾斜设置，以使经过所述反射镜616反射形成的环形光束从所述耦合机构本体62上的所述激光入口进入到所述耦合机构本体62内，并传播至所述抽吸式管电极7中的所述中空光纤72的导光入口处。
69.具体地，所述激光器611发射激光束610至所述二向色分光镜612，一部分光束进入所述圆锥镜ⅰ613，照射于所述圆锥镜ⅱ614上形成中空环形光束，随后照射于所述反射镜616上，形成的环形光束继续向前传播并从所述耦合机构本体62上的所述激光入口进入到所述耦合机构本体62内，并传播至所述抽吸式管电极7中的所述中空光纤72的导光入口701处。
70.优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括计算机1以及与所述计算机1相连接的工控机2，所述抽吸泵8具有三个端口，所述抽吸泵8的第一端口与所述工控机2相连，所述抽吸泵8的第二端口通过位于所述抽吸式管电极7侧壁的所述连接口70与所述抽吸式管电极7相连接，所述抽吸泵8的第三端口用于与废液槽13相连。
71.在本实施例中，将所述抽吸式管电极7通过所述连接口70与所述抽吸泵8相连，所述抽吸泵8的第三端口通过排出管道80与所述废液槽13相连，所述排出管道80上也设置有调节阀14，进而可控的将位于与所述内电解液流出通道75中的废液10、产物和气泡排出加工间隙。
72.优选地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括有电源3，所述电源3的一端与所述工控机2相连接；所述电源3的电源负极31与所述中空金属管63相连，所述中空金属管63与所述抽吸式管电极7中的所述内电解液流出通道75相连通，所述电解液流动从所述中空金属管63流动至所述内电解液流出通道75中，以形成由所述中空金属管
63和所述抽吸式管电极7组成的阴极导电通路。
73.具体地，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置还包括有示波器33，所述电源3的一端与所述工控机2相连接，所述电源3的另一端与所述示波器33相连接；所述电解液流动从所述中空金属管63流动至所述内电解液流出通道75中，以形成由所述中空金属管63和所述抽吸式管电极7组成的阴极导电通路，所述工件11放置于上端开口设置的工作腔体9内，所述工作腔体9上设置有阳极导电接口，所述工件11则通过所述阳极导电接口与电源正极32相连，形成阳极导电通路，在所述工作腔体9内输入电解液，以形成导电通路；所述工件11上对称设置有绝缘导流板18，所述抽吸式管电极7位于两个所述绝缘导流板18之间，所述工作腔体9设有废液10出口，所述废液10出口上连接有废液管道90，所述废液管道90的另一端与所述废液槽13相连接，所述废液管道90上也设置有所述调节阀14；所述供液槽12和所述废液槽13之间设置有连接管道19，所述连接管道19上安装有过滤装置15，所述过滤装置15用于将所述废液槽13内的废液10过滤处理流入到供液槽12内，以实现循环利用。
74.其中，在同步复合加工初始阶段，将所述绝缘导流板18置于所述工件11表面，所述绝缘导流板18的使用不仅可防止加工间隙内的电解液发生突变，同时也能够很好的避免工件11表面的杂散腐蚀。随着孔深度的不断增加，可将置于工件11表面的所述绝缘导流板18去除。
75.参阅图1，优选地，所述激光发生机构61还包括位于所述二向色分光镜612上方的从下至上依次设置的滤光片617、凸透镜618和ccd相机619，所述ccd相机619与所述工控机2相连接；
76.所述激光器611发射的另一部分光束通过所述滤光片617和所述凸透镜618照射于所述ccd相机619上，用于反馈于所述计算机1。
77.具体地，所述激光器611也与所述工控机2相连接。
78.在本实施例中，通过所述计算机1启动所述激光器611、所述电源3、所述ccd相机619、所述抽吸泵8、所述机床和所述离心泵5。使得激光束610穿过所述二向色分光镜612，后照射于所述圆锥镜ⅱ614上形成中空环形光束，随后照射于所述反射镜616上，并反射于所述耦合机构本体62中的所述中空反射镜65上，经所述中空反射镜65反射后导入所述抽吸式管电极7中的导光入口701，进而进入导光通道中，在其内部发生全反射，并在聚焦型所述导光出口702处导出，进而在所述工件11表面形成聚焦光斑703。
79.优选地，所述抽吸式管电极7还包括连接支架77，所述外金属管电极71与所述中空光纤72之间通过所述连接支架77连接，且所述连接支架77连接部分通过密封胶填充。
80.具体地，所述抽吸式管电极7可将所述外金属管电极71和所述连接支架77去除，形成由所述中空光纤72和镶嵌于所述内电解液流出通道75组成的光纤管电极被使用。
81.在本实施例中，所述密封胶的设置有利于形成良好的密封性，进而保证所述抽吸泵8的正常工作。
82.优选地，所述内电解液流出通道75包括金属管，所述外金属管电极71包括金属管和位于所述金属管的外壁涂覆有绝缘层；
83.所述中空光纤72包括导光基体和涂覆于所述导光基体外壁的反射层。
84.具体地，所述外金属管电极71的金属管外径范围为0.6-2mm；所述外金属管电极71
的绝缘层材料为陶瓷，厚度范围为5-30μm。
85.所述内电解液流出通道75的金属管内径范围为0.1-0.5mm，外径范围为0.2-1mm。
86.所述中空光纤72的所述导光基体材料为石英玻璃；所述导光基体外径范围为0.3-1.5mm，内径范围为0.2-1mm；所述中空光纤72的反射层材料为银、铜和金等中的任意一种；所述中空光纤72的反射层厚度约为5-30μm。
87.所述金属管材料为铜和不锈钢等中的任意一种。
88.优选地，所述抽吸式管电极7中的所述导光基体下端部用于加工成聚焦微透镜结构79，因而实现光能与电化学能场复合加工。
89.本发明还提供一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工方法，适用如上述所述的光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置，所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工方法包括如下步骤：
90.s1、将所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的抽吸式管电极7与光电液耦合装置6相连接，并将所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的抽吸泵8安装好；
91.先在固定于机床上的所述工作腔体9中安装所述工件11，并将所述抽吸式管电极7与所述光电液耦合装置6相连，进而将所述光电液耦合装置6中的中空金属管63与电源负极31相连，同时，将阳极工件11通过阳极导电接口与电源正极32相连。
92.s2、所述光电液耦合装置6的激光器611发射激光束610，一部分激光束610依次经过所述光电液耦合装置6的圆锥镜ⅰ613、圆锥镜ⅱ614、分光棱镜615和合光棱镜64后形成中空的环形光束；
93.s3、所述中空环形光束通过所述光电液耦合装置6的中空反射镜65进行反射，从所述抽吸式管电极7内的所述导光入口701处进入中空光纤72内，光束在所述中空光纤72内发生全反射，进而传输至所述导光出口702下方的工件11表面并在所述工件11表面上聚集，形成聚焦光斑703；
94.s4、另一部分光束则通过所述光电液耦合装置6的凸透镜618和滤光片617后照射于ccd相机619上，并反馈于所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的计算机1上；
95.s5、同时，将所述抽吸式管电极7作为阴极与所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的电源负极31相连，将所述工件11作为阳极与所述光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置的电源正极32相连，并将由供液槽12提供的电解液导入所述光电液耦合装置6的中空金属管63内，进而沿着所述抽吸式管电极7中的电解液流入通道74道传输至所述抽吸式管电极7下端与所述工件11之间留有的加工间隙中；
96.s6、所述电解液通过所述电解液流入通道74进入加工间隙后，在电化学和激光同步复合作用下进行深孔加工，进而产生废液10、产物和气泡，所述抽吸式管电极7的外金属管电极71和所述中空光纤72之间的废液10、产物和气泡沿着所述抽吸式管电极7的内电解液流出通道75传输至所述外金属管电极71侧壁的连接口70后，在所述抽吸泵8的作用下，沿着所述抽吸泵8的出液口流入废液槽13；位于所述抽吸式管电极7与所述工件11之间的废液10、产物和气泡，沿着由所述抽吸式管电极7与所述工件11组成的所述内电解液流出通道75排出加工间隙，并沿着废液10出口流入所述废液槽13；
97.s7、设定程序及参数后，操作所述计算机1控制所述工控机2，从而控制所述激光器611、电源3、所述ccd相机619、离心泵5、所述抽吸泵8和机床工作，加工所述工件11，进而获得所需孔、槽结构。
98.虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本发明的保护范围。