一种多焦点的激光剥蚀系统的制作方法

1.本实用新型属于激光剥蚀技术领域，尤其涉及一种多焦点的激光剥蚀系统。


背景技术：

2.随着激光剥蚀技术的逐步成熟，其应用也越来越广泛。目前激光剥蚀系统作为固体进样方式越来越普遍，根据传播定律，任何光束在聚焦后只能在一定传播距离内(通常是瑞利长度)内保持焦斑的尺寸，超过这个范围光束将发散。在激光剥蚀过程中，当剥蚀深度较大时，这种特性常常造成光束发散导致剥蚀效率下降。
3.因此，如何能够有效控制成本的同时大大提高激光剥蚀的效率，是一个亟待解决的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的之一在于提供一种多焦点的激光剥蚀系统，可以有有效控制成本的同时大大提高激光剥蚀的效率。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；
6.所述激光光源用于发射剥蚀激光束；
7.所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；
8.所述样品台用于盛放样品；
9.所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥蚀样品所得的混合物并且对其进行检测。
10.优选的，所述激光光源发射剥蚀激光束至多焦点聚焦模块，所述剥蚀激光束经多焦点聚焦模块后沿光轴方向在至少两个焦点处聚焦，所述光轴与样品台垂直；
11.所述多焦点聚焦模块相对于样品台的位置可手动或自动调节。
12.优选的，所述多焦点聚焦模块为一透镜，所述透镜的一个表面上一体化设置有衍射单元。
13.优选的，所述多焦点聚焦模块包括：一透镜和一衍射元件，所述剥蚀激光束依次通过衍射元件、透镜；所述衍射元件和透镜之间的间距可调节。
14.本实用新型所公开的多焦点的激光剥蚀系统通过采用多焦点聚焦模块，使激光形成多个焦点，可以同时对样品多个位置进行剥蚀，而且对于剥蚀深度需求较大时，在样品纵向剥蚀的效率是一样的，更有利于后端的元素含量分析。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型实施例所公开的透镜与衍射单元一体化设置的示意图；
17.图2为本实用新型实施例所公开的透镜与衍射单元非一体化设置的示意图；
18.其中：
19.1剥蚀激光束；2-1透镜衍射单元一体化；2-2衍射单元；2-3透镜；3焦点；4光轴。
具体实施方式
20.本实用新型的核心之一在于提供一种多焦点的激光剥蚀系统，可以有有效控制成本的同时大大提高激光剥蚀的效率。
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.本实施例中所公开的多焦点的激光剥蚀系统，应用于激光剥蚀中，本领域技术人员能够理解，多焦点的激光剥蚀系统包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块。激光光源用于发射剥蚀激光束1，多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束1沿纵向聚焦在样品表面及内部，样品台用于盛放样品。
23.激光光源发射剥蚀激光束1至多焦点聚焦模块，剥蚀激光束经多焦点聚焦模块后沿光轴4方向在至少两个焦点3处聚焦，光轴4与样品台垂直，多焦点聚焦模块相对于样品台的位置可手动或自动调节。
24.图1示出了本实用新型实施例中的多焦点聚焦模块为透镜衍射单元一体化2-1设置，激光光源发射剥蚀激光束1至透镜衍射单元一体化2-1，剥蚀激光束经透镜衍射单元一体化2-1后形成了多个焦点3，各个焦点的间距和间距是固定的，对样品在光轴4方向形成多焦点3进行剥蚀，剥蚀过程中的能量是均匀分布的。
25.图2示出了本实用新型实施例中的多焦点聚焦模块为衍射单元2-2和透镜2-3分开设置，激光光源发射剥蚀激光束1依次通过衍射单元2-2、透镜2-3后，对样品在光轴4方向形成多焦点3进行剥蚀。而由于衍射元件2-2和透镜2-3之间的间距可调节，所以剥蚀激光束经衍射单元2-2、透镜2-3后形成的多个焦点3的焦点间距和焦距是可变的，可以根据要求预设的焦点间距和焦距，最终的剥蚀效果也是一样的。
26.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
27.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。


技术特征：
1.一种多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；所述激光光源用于发射剥蚀激光束；所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；所述样品台用于盛放样品；所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥蚀样品所得的混合物并且对其进行检测。2.根据权利要求1所述的多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，所述激光光源发射剥蚀激光束至多焦点聚焦模块，所述剥蚀激光束经多焦点聚焦模块后沿光轴方向在至少两个焦点处聚焦，所述光轴与样品台垂直；所述多焦点聚焦模块相对于样品台的位置可手动或自动调节。3.根据权利要求1所述的多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，所述多焦点聚焦模块为一透镜，所述透镜的一个表面上一体化设置有衍射单元。4.根据权利要求1所述的多焦点的激光剥蚀系统，其特征在于，所述多焦点聚焦模块包括：一透镜和一衍射元件，所述剥蚀激光束依次通过衍射元件、透镜；所述衍射元件和透镜之间的间距可调节。

技术总结
本实用新型公开了一种多焦点的激光剥蚀系统，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；所述激光光源用于发射剥蚀激光束；所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；所述样品台用于盛放样品；所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥蚀样品所得的混合物并且对其进行检测。本实用新型通过采用多焦点聚焦模块，使激光形成多个焦点，可以同时对样品多个位置进行剥蚀，而且对于剥蚀深度需求较大时，在样品纵向剥蚀的效率是一样的，更有利于后端的元素含量分析。更有利于后端的元素含量分析。更有利于后端的元素含量分析。


技术研发人员：胡勇刚 蒋建兵 梁燕 王辉 王忠强
受保护的技术使用者：上海凯来仪器有限公司
技术研发日：2022.11.02
技术公布日：2023/3/21