本技术涉及硅片切割机，具体为一种切屑液循环装置。
背景技术：
1、硅片切割机又名硅片激光切割机、激光划片机。硅片切割机工作原理是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化、气化、从而实现硅材料的切割，切割过程中必须要用到切屑液，切屑液使用后会混有碎屑，无法再使用，造成切屑液的浪费。
技术实现思路
1、为了解决现有切屑液无法循环使用，使用成本高的问题，本实用新型提供了一种切屑液循环装置，其能够实现切屑液的循环再利用，降低成本。
2、其技术方案是这样的：一种切屑液循环装置，其包括废液箱，其特征在于，所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口，所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端，所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口，所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。
3、其进一步特征在于，所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖，所述过滤箱内安装有至少两层过滤网；
4、所述冷却箱内安装有冷却盘管，所述冷却盘管两端分别连接所述冷却箱的切屑液进口和切屑液出口，所述冷却箱内设有浸没所述冷却盘管的冷却水；
5、所述冷却箱上开设有冷却水进口和冷却水出口。
6、采用本实用新型后，使用过后的切屑液进入废液箱内，经过气动隔膜泵将箱内的带有碎屑的废液一起带出进入过滤箱内，经过过滤箱过滤后再进入冷却箱进行冷却，得到温度较低的干净切屑液，送回切屑液存储箱，可以循环再使用，整个过程基本没有造成切屑液的浪费，降低了成本。
1.一种切屑液循环装置，其包括废液箱，其特征在于，所述废液箱底部通过带排污阀的排污管连接气动隔膜泵的进口，所述气动隔膜泵的出口连接过滤箱的一端，所述过滤箱的另一端通过抽吸泵连接冷却箱的切屑液进口，所述冷却箱的切屑液出口通过回液管连接切屑液存储箱。
2.根据权利要求1所述的一种切屑液循环装置，其特征在于，所述过滤箱顶部开口并安装有箱盖，所述过滤箱内安装有至少两层过滤网。
3.根据权利要求1所述的一种切屑液循环装置，其特征在于，所述冷却箱内安装有冷却盘管，所述冷却盘管两端分别连接所述冷却箱的切屑液进口和切屑液出口，所述冷却箱内设有浸没所述冷却盘管的冷却水。
4.根据权利要求1所述的一种切屑液循环装置，其特征在于，所述冷却箱上开设有冷却水进口和冷却水出口。