一种基块焊接固定工装的制作方法

本发明涉及半导体设备，尤其涉及一种基块焊接固定工装。

背景技术：

1、流体输送系统被用于许多现代工业过程中，以调节和操纵流体流量，从而使所需介质按需求流通。而在半导体加工设备中，也需要流体输送系统进行气体输送和分流等。

2、在半导体设备中的流体输送系统中，气体分流部件，一般需要在一个基块上焊接多个接头，进而通过不同接头分别连通基块内部的流道，实现气体的分流、汇聚等。

3、在基块上焊接接头时，需要通过固定工装将基块和接头固定，然后通过焊接设备进行焊接，在对同一基块进行多组接头焊接时，已焊接在基块上的接头会影响基块的固定位置，为了保证基块的流道口和对应的接头同轴，目前，基块与接头焊接时所使用的固定工装存在唯一性，即一套固定工装对应一种焊接位置，当需要焊接其他的接头和基块的不同流道口位置时，需要另换工装进行焊接。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种基块焊接固定工装，用于在基块和接头焊接时，能够对基块的不同位置进行定位，保证不同的焊接位置，基块的流道口均能和对应的接头同轴，无需更换不同工装，即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

2、为了实现上述目的，本发明提供如了一种基块焊接固定工装，用于对基块进行固定，基块包括第一流道口、第二流道口和第三流道口中的一个或多个，配合焊接工装对基块分别和第一接头、第二接头和第三接头中的一个或多个进行焊接，基块焊接固定工装包括：

3、接头固定件，接头固定件用于对第一接头、第二接头或第三接头进行限位；

4、第一夹具，第一夹具设置于接头固定件的一侧，且与接头固定件可拆卸连接，第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，基块的第一流道口与第一接头同轴，当基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，基块的第二流道口与第二接头同轴，第一凹槽具有第一侧壁，当基块的底面与第一侧壁抵接时，基块的第三流道口与第三接头同轴；

5、第二夹具，第二夹具设置于第一夹具的上方，且第二夹具与第一夹具可拆卸连接，用于对基块进行限位。

6、相较于现有技术，本发明提供的一种基块焊接固定工装在焊接过程中，第一夹具和接头固定件的位置相对固定，即，第一夹具分别与第一接头、第二接头或第三接头的位置相对固定，通过调节基块位置，当第一流道口朝向接头固定件且基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，使第一流道口的中心轴与待焊接的第一接头的中心轴重合；当第二流道口朝向接头固定件且基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，使第二流道口的中心轴与待焊接的第二接头的中心轴重合；当第三流道口朝向接头固定件，并使基块的底面与第一侧壁抵接时，使第三流道口的中心轴与待焊接的第三接头的中心轴重合；进而通过一套固定工装完成第一接头、第二接头和第三接头分别与基块的焊接。基于此，本发明提供的一种基块焊接固定工装的第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽的第一侧壁分别能够对基块进行定位，保证在不同的焊接位置，基块的流道口均能和对应的接头同轴，无需更换不同工装，通过一套基块焊接固定工装即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

7、可选地，上述的基块焊接固定工装中，第一夹具上还设置有接头导槽，接头导槽用于容纳已经焊接在基块上的第一接头或第二接头。

8、可选地，上述的基块焊接固定工装中，基块还包括第四流道口，第一凹槽具有第二侧壁，当基块的底面与第二侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴。

9、可选地，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具上还设置有第二凹槽，第二凹槽用于容纳已焊接在基块上的第四接头。

10、可选地，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具上设置有第三凹槽，第三凹槽的底面与第一凹槽的底面的垂直距离等于基块的宽度。

11、可选地，上述的基块焊接固定工装还包括：

12、定位挡块，定位挡块与第一夹具可拆卸连接，定位挡块用于对在基块提供支撑力。

13、可选地，上述的基块焊接固定工装中，定位挡块上设置具有方形通孔，方形通孔具有第三侧壁和第四侧壁；

14、当基块的第一流道口所在的面与方形通孔的第三侧壁或第四侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴；

15、或者，当基块的第二流道口所在的面与方形通孔的第三侧壁或第四侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴。

16、可选地，上述的基块焊接固定工装还包括：

17、夹具固定件，第一夹具和第二夹具均与夹具固定件可拆卸连接。

18、可选地，上述的基块焊接固定工装中，夹具固定件为环形，且夹具固定件的内侧设置有第一螺纹，第一夹具和第二夹具的外侧均为半圆形，第一夹具的外侧具有第二螺纹，第二夹具的外侧具有第三螺纹，第二螺纹和第三螺纹分别与第一螺纹螺纹配合。

19、可选地，上述的基块焊接固定工装中，接头固定件的外侧为半圆形，接头固定件的外侧具有第四螺纹，第四螺纹与第一螺纹螺纹配合。

技术特征：

1.一种基块焊接固定工装，用于对基块进行固定，基块包括第一流道口、第二流道口和第三流道口中的一个或多个，配合焊接工装对基块分别和第一接头、第二接头和第三接头中的一个或多个进行焊接，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第一夹具上还设置有接头导槽，所述接头导槽用于容纳已经焊接在所述基块上的所述第一接头或所述第二接头。

3.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块还包括第四流道口，所述第一凹槽具有第二侧壁，当所述基块的底面与所述第二侧壁抵接时，所述基块的所述第四流道口与第四接头同轴。

4.根据权利要求3所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第二夹具上还设置有第二凹槽，所述第二凹槽用于容纳已焊接在所述基块上的所述第四接头。

5.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第二夹具上设置有第三凹槽，所述第三凹槽的底面与所述第一凹槽的底面的垂直距离等于所述基块的宽度。

6.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块焊接固定工装还包括：

7.根据权利要求6所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块还包括第四流道口，所述定位挡块上设置具有方形通孔，所述方形通孔具有第三侧壁和第四侧壁；

8.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块焊接固定工装还包括：

9.根据权利要求8所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述夹具固定件为环形，且所述夹具固定件的内侧设置有第一螺纹，所述第一夹具和所述第二夹具的外侧均为半圆形，所述第一夹具的外侧具有第二螺纹，所述第二夹具的外侧具有第三螺纹，所述第二螺纹和所述第三螺纹分别与所述第一螺纹螺纹配合。

10.根据权利要求9所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述接头固定件的外侧为半圆形，所述接头固定件的外侧具有第四螺纹，所述第四螺纹与所述第一螺纹螺纹配合。

技术总结
本发明公开一种基块焊接固定工装，涉及半导体设备技术领域，以解决焊接不同的接头和基块的不同流道口位置时，需要不同工装的问题。所述基块焊接固定工装包括接头固定件、第一夹具和第二夹具，第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，基块的第一流道口与第一接头同轴，当基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，基块的第二流道口与第二接头同轴，第一凹槽具有第一侧壁，当基块的底面与第一侧壁抵接时，基块的第三流道口与第三接头同轴；第二夹具与第一夹具可拆卸连接。本发明提供的基块焊接固定工装用于无需更换不同工装，即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

技术研发人员：李宏印,耿德占,何丽鹏
受保护的技术使用者：中科艾尔（北京）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11