一种超薄带材矫平治具及矫平方法与流程

本申请涉及半导体材料制备，具体涉及一种超薄带材矫平治具及矫平方法。

背景技术：

1、目前的现有技术中，普通金属带材的矫平基本靠大型拉矫设备完成，该类型设备属于重工业生产设备，因其设备体积大、调试周期长、造价昂贵以及对上机量较高要求，因此多用于制造铝合金带材、不锈钢带材等常见材料的大规模工业量产，而在半导体测试领域中，使用材料多为贵金属超薄带材，不仅尺寸规格较小，而且材料本身价格昂贵(一般每克高达500元人民币且用量少每年在10-50kg左右)，普通拉矫设备不仅不能良好适用此种薄带材的小规格小批量加工，即便勉强使用不仅矫平效果差，还会造成很大的材料浪费，造成高昂的生产成本。因此，亟需提供一种可适用超薄带材的矫平方案。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种适用于超薄带材的矫平治具及矫平方法，调节时间快且调整过程灵活，提高了超薄带材的矫平效率，节约了工艺成本。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：

3、一方面，提供了一种超薄带材矫平治具，包括定滑台、第一位移平台、第一螺杆、第一钳口、第一微分头、动滑台、第二位移平台、第二螺杆、第二钳口和第二微分头，

4、其中，所述第一位移平台位于所述定滑台上，所述第一螺杆和所述第一钳口位于所述第一位移平台上，所述第一螺杆可带动所述第一钳口固定待矫平带材的第一端，所述第一微分头可带动第一位移平台位移使得所述第一钳口向所述待矫平带材的第一端施加张力；

5、所述第二位移平台位于所述动滑台上，所述第二螺杆和所述第二钳口位于所述第二位移平台上，所述第二螺杆可带动所述第二钳口固定待矫平带材的第二端，所述第二微分头可带动所述第二位移平台位移使得所述第二钳口向所述待矫平带材的第二端施加张力。

6、在一些实施例中，所述超薄带材矫平治具还包括第一固定板和第二固定板，所述第一螺杆和所述第一钳口固定在靠近所述第一端的所述第一固定板内侧，所述第二螺杆和所述第二钳口固定在靠近所述第二端的所述第二固定板内侧。

7、在一些实施例中，所述第一螺杆在所述第一固定板内侧沿纵向延伸，所述第一螺杆的下端与所述第一钳口的活动端连接，所述第二螺杆在所述第二固定板内侧沿纵向延伸，所述第二螺杆的下端与所述第二钳口的活动端连接。

8、在一些实施例中，所述第一螺杆的上端设有第一把手，所述第二螺杆的上端设有第二把手。

9、在一些实施例中，所述动滑台设有锁定螺栓。

10、在一些实施例中，所述超薄带材矫平治具还设有支撑平台，所述定滑台、所述动滑台设于所述支撑平台上。

11、在一些实施例中，所述第一微分头设于所述支撑平台上且位于所述定滑台旁侧，所述第二微分头设于所述支撑平台上且位于所述动滑台旁侧。

12、在一些实施例中，所述第一钳口与所述第二钳口的夹持方向沿同一水平面，使得夹持的所述待矫平带材的所述第一端与所述第二端位于同一高度。

13、在一些实施例中，所述第一位移平台与所述定滑台平齐，所述第二位移平台与所述动滑台平齐。

14、另一方面，提供了一种根据上述任一实施例所述的超薄带材矫平治具的超薄带材矫平方法，包括：

15、调节所述第一螺杆带动所述第一钳口固定所述待矫平带材的第一端；

16、调节所述第二螺杆带动所述第二钳口固定所述待矫平带材的第二端，并调节所述动滑台使得所述待矫平带材处于拉直但无张力状态；

17、调节所述第一微分头向所述待矫平带材的第一端施加张力，并调节所述第二微分头向所述待矫平带材的第二端施加张力。

18、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述技术方案能够达到的有益效果至少包括：该矫平方案主要通过调节两端微分头实现对超薄带材的矫平处理，适用于超薄带材的加工处理，尤其是小批量、小规格矫平带材或贵金属带材，例如即使带材质量小于500g依然可以做矫平，调节速度快且调整过程灵活，工艺参数可调空间大，通过施加张力调节使得矫平力度更精准，提高了矫平效率，达到了预期矫平效果，且避免了采用传统大型拉矫设备处理超薄带材的效果不佳、成本高等问题。

技术特征：

1.一种超薄带材矫平治具，其特征在于，包括定滑台、第一位移平台、第一螺杆、第一钳口、第一微分头、动滑台、第二位移平台、第二螺杆、第二钳口和第二微分头，

2.根据权利要求1所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述超薄带材矫平治具还包括第一固定板和第二固定板，所述第一螺杆和所述第一钳口固定在靠近所述第一端的所述第一固定板内侧，所述第二螺杆和所述第二钳口固定在靠近所述第二端的所述第二固定板内侧。

3.根据权利要求2所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一螺杆在所述第一固定板内侧沿纵向延伸，所述第一螺杆的下端与所述第一钳口的活动端连接，所述第二螺杆在所述第二固定板内侧沿纵向延伸，所述第二螺杆的下端与所述第二钳口的活动端连接。

4.根据权利要求3所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一螺杆的上端设有第一把手，所述第二螺杆的上端设有第二把手。

5.根据权利要求1所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述动滑台设有锁定螺栓。

6.根据权利要求1所述的的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述超薄带材矫平治具还设有支撑平台，所述定滑台、所述动滑台设于所述支撑平台上。

7.根据权利要求6所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一微分头设于所述支撑平台上且位于所述定滑台旁侧，所述第二微分头设于所述支撑平台上且位于所述动滑台旁侧。

8.根据权利要求1至7任一项所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一钳口与所述第二钳口的夹持方向沿同一水平面，使得夹持的所述待矫平带材的所述第一端与所述第二端位于同一高度。

9.根据权利要求8所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一位移平台与所述定滑台平齐，所述第二位移平台与所述动滑台平齐。

10.一种根据权利要求1至9任一项所述的超薄带材矫平治具的超薄带材矫平方法，其特征在于，包括：

技术总结
本申请提供一种超薄带材矫平治具及方法，涉及半导体材料制备技术领域，该超薄带材矫平治具的所述第一螺杆和所述第一钳口位于所述第一位移平台上，所述第一螺杆可带动所述第一钳口固定待矫平带材的第一端，所述第一微分头可带动第一位移平台位移使得所述第一钳口向所述待矫平带材的第一端施加张力；所述第二位移平台位于所述动滑台上，所述第二螺杆和所述第二钳口位于所述第二位移平台上，所述第二螺杆可带动所述第二钳口固定待矫平带材的第二端，所述第二微分头可带动所述第二位移平台位移使得所述第二钳口向所述待矫平带材的第二端施加张力，提高了超薄带材的矫平效率，节约了工艺成本。

技术研发人员：韩洋洋,陶克文,罗雄科
受保护的技术使用者：上海泽丰半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15