专利名称：真空退火炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种热处理装置。
背景技术：
目前广泛使用的退火炉只能达到温度1200℃、真空度也甚低，而随着科技的发展，需要对各种金属进行光亮、除气处理，研究金属在高温、高真空情况下的物理性能，普通的退火炉满足不了该类研究的要求，必须提供一种能满足温度1400℃、真空度10-3Pa要求的热处理装置。
发明内容
本实用新型提供一种能满足高温1400℃、高真空度10-3Pa、低漏气率0.2Pa/s的真空退火炉。
本实用新型提供的真空退火炉，包括炉体(1)、加热电源的变压器(2)、真空机组(3)、冷却系统、控制柜，炉体(1)是由水冷双层筒体结构的炉身(11)和两端的水冷夹层炉盖(12)构成，在炉体(1)的卧轴线上备有加热管(13)，外面套有陶瓷管(14)，陶瓷管(14)外面包有保温层(15)，加热管(13)里是放置退火零件或材料的空间。
所述的真空退火炉加热管(13)的加热体为钼丝，以确保炉温能达到1400℃。
所述的真空退火炉加热管(13)的保温层(15)的隔垫屏为钼片，隔垫层(15)为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成，隔热层(15)两端分别装有气动门(16)，以保证加热空间的气密性。
所述的真空退火炉的真空机组(3)包括旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33)，旋片泵(31)和罗茨泵(32)是串联的，这两个泵与扩散泵(33)是并联的，泵与泵之间和泵与炉体(1)之间均用阀连接，以确保真空度。
所述的真空退火炉加热电源的变压器(2)用汇流板(21)与炉体(1)相连接。
所述的真空退火炉的控制柜配有电脑程序控温仪，操作和显示器件都安装在控制柜上。
本实用新型提供的真空退火炉能达到高温1400℃、高真空度10-3Pa、低漏气率0.2Pa/s，具有结构紧凑、操作方便与节电等特点。
图1是真空退火炉炉体的结构示意图；图2是真空退火炉真空机组与炉体的示意图。
具体实施方式
真空退火炉的炉身(11)为焊接的水冷双层筒体结构，上面装有三个可以拆卸的电极，水冷夹层炉盖通过螺栓与炉身连接，两炉盖分别装有GCQ-150真空气动插板阀作为进出炉料的通道，炉身内部装有加热管(13)，其外面套有陶瓷管(14)，陶瓷管(14)外面包有保温层(15)，保温层(15)的隔热层为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成，隔热屏为钼片，加热体为钼丝，并用Al2O3绝缘瓷件连接起来，隔热层两端分别装有气动门以阻挡热源。低压变压器(2)用汇流板(21)接入馈电极。冷却循环系统包括分别供给炉体(1)、水冷电极(22)、旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33)冷却用的诸支路，各支路备有调节流量的手动阀门。控制系统集中布置在控制柜中，操作及显示器件都设计在模拟屏上，各种仪表都安装在控制柜上。
操作时，装入材料，设定升温曲线，启动旋片泵，待炉体内真空度达到0.1MPa，启动罗茨泵，同时打开扩散泵，一般经过30-50分钟，扩散泵就能工作。当真空度达到工艺规程指标时，接通加热电源开关。
权利要求1.真空退火炉，包括炉体(1)、加热电源的变压器(2)、真空机组(3)、冷却系统、控制柜，其特征在于炉体(1)是由水冷双层筒体结构的炉身(11)和两端的水冷夹层炉盖(12)构成，在炉体(1)的卧轴线上备有加热管(13)，外面套有陶瓷管(14)，陶瓷管(14)外面包有保温层(15)
2.按照权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于所述的加热管(13)的加热体为钼丝。
3.按照权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于所述保温层(15)包括隔热屏和隔热层，隔热屏为钼片，隔热层为不锈钢板与高纯Al2O3纤维组成，保温层(15)两端分别装有气动门(16)。
4.按照权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于所述的真空机组(3)包括旋片泵(31)、罗茨泵(32)、扩散泵(33)，旋片泵(31)和罗茨泵(32)是串联的，这两个泵与扩散泵(33)是并联的，泵与泵之间和泵与炉体(1)之间均用阀连接。
5.按照权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于所述的变压器(2)用汇流板(21)与炉体(1)相连接。
6.按照权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于所述的控制柜配有电脑程序控温仪。
专利摘要本实用新型提供的真空退火炉，包括炉体、加热电源的变压器、真空机组、冷却系统、控制柜，炉体是由水冷双层筒体结构的炉身和两端的水冷夹层炉盖构成，在炉体的卧轴线上备有加热管，外面套有陶瓷管，陶瓷管外面包有保温层，加热管里是放置退火零件或材料的空间。本实用新型提供的真空退火炉能达到高温1400℃、高真空度10
文档编号C21D1/00GK2611387SQ0321248
公开日2004年4月14日 申请日期2003年4月9日 优先权日2003年4月9日
发明者高杰, 苏国跃 申请人:中国科学院金属研究所