冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及方法

专利名称：冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及方法
技术领域：
本发明涉及例如在图像显示面板或者半导体装置等电子和电气设备的制造工艺中，在把在该电子和电气设备中使用的基板加热处理后的冷却中所使用的冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及图像显示面板的制造方法。更详细地讲，涉及使冷却板与上述电子和电气设备用的被加热的基板相对用该冷却板吸收放射热冷却基板的冷却装置、使用了该装置的图像显示面板的制造装置以及图像显示面板的制造方法。
背景技术：
以往，在图像显示面板或者半导体的制造工艺等中，在真空状态下把基板加热处理后进行冷却。通过吸收来自基板的放射热(辐射热)进行该加热了的基板在真空环境下的冷却。例如，在特开平7-216550号公报中，公开了这样的构成，即在半导体制造中的基板的冷却时，与基板平行设置金属板，通过在该金属板的与基板相对的面上形成辐射吸热层，用辐射吸收层吸收从基板发出的辐射热，把所吸收的热量热传递到金属板上，进而，能够经过金属板把该热量排放。
然而，在上述以往的冷却中存在以下的问题。
第1，供冷却的基板的温度从表里面和侧端面放射热的周端边缘，特别是角部开始下降，随着基板尺寸增大，基板的中心部分与端缘的距离增大，难以进行迅速的热传导，因此在易于进行冷却的周缘部分和难以进行冷却的中心部分中容易产生很大的温差。伴随着冷却的温度分布成为基板的畸变或者破损的原因。
第2，在加热以后需要进行冷却的基板中，例如，像把电子源基板与荧光体基板相对配置的图像显示面板中的图像显示面板用的基板(电子源基板或者荧光体基板)那样，有不少在基板表面的一部分中，设置了放射率与基板自身不同的部件(例如，布线或者荧光体等)的情况。进而，如果以图像显示面板用的基板为例进行说明，则通常由于基板是放射率比较高的玻璃，布线是放射率比较低的金属，因此由冷却板进行的冷却从偏离布线的形成区域的基板边角部分附近开始进行，也存在易于发生成为基板的畸变或者破损原因的温度分布的问题。特别是，如果布线集中在基板的中央附近，则将进一步增大起因于上述第1理由的温度分布，成为产生基板断裂的原因。

发明内容
本发明的第1个目的在于在使冷却板与加热了的基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却时，能够容易地抑制在板材的中心部分与周缘部分之间产生的温度分布变化。另外，本发明的第2个目的在于在基板的至少一个面的一部分上具有放射率与该基板不同的异放射率部件的情况下，能够容易地抑制由基板与异放射率部件之间的放射率差异在基板中产生的温度分布。进而，本发明的第3个目的在于在伴随着图像显示面板用的基板的加热和冷却的图像显示面板的制造时，能够容易地抑制冷却时在基板中产生的温度分布。
本发明的冷却装置，使冷却板与基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，特征是在上述冷却板中，以能够减轻在用放射率均匀的冷却板进行冷却时在基板中产生的温度分布的图案，设置放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
另外，本发明的冷却装置，使冷却板与具有放射率高的区域和低的区域的基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，特征是上述冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的放射率比其它的(冷却板的)区域高的区域。
另外，本发明的图像显示面板的制造装置，具备把在基板的至少一方面的一部分上，设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，特征是上述冷却装置的冷却板以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具备放射率与冷却板其它区域不同的异放射率区域。
另外，本发明的图像显示面板的制造装置，具备对具有放射率高的区域和低的区域图像显示用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，特征是上述冷却装置的冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比冷却板的其它的区域高的区域。
另外，本发明的图像显示面板的制造方法，具备在对基板的至少单面的一部分上设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，特征是将以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具有放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域的冷却板用作为上述冷却板。
另外，本发明的图像显示面板的制造方法，具有在对具有放射率高的区域和低的区域的图像显示用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，特征是将具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比其它的(冷却板的)区域高的区域的冷却板用作为上述冷却板。


图1是表示作为图像显示面板的制造装置的一部分使用的具有本发明的冷却装置的加热和冷却装置的第1例的、正在加热基板的状态的模式说明图。
图2是表示用图1的加热和冷却装置正在冷却基板的状态的模式说明图。
图3是作为处理对象的一个例子的单面具有布线的基板的平面图。
图4表示与图3所示的基板具有的布线形成区域大致相对应设置的异放射率区域的图案。
图5表示异放射率区域的其它图案。
图6表示异放射率区域的又一个图案。
图7是表示作为图像显示面板的制造装置的一部分使用的具有本发明的冷却装置的加热和冷却装置的第2例的模式说明图。
具体实施例方式
本发明提供冷却装置，该冷却装置使冷却板与基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，特征是在上述冷却板中，以能够减轻在用放射率均匀的冷却板进行冷却时在基板中产生的温度分布变化的图案，设置放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
另外，本发明提供图像显示面板的制造装置，该图像显示面板的制造装置具备把在基板的至少一方面的一部分上，设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，特征是上述冷却装置的冷却板以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具有放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
进而，本发明提供图像显示面板的制造方法，该图像显示面板的制造方法在对基板的至少单面的一部分上设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，特征是将以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具有放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域的冷却板作为上述冷却板。
另外，本发明提供冷却装置，该冷却装置使冷却板与具有放射率高的区域和低的区域的基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，特征是上述冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比其它的(冷却板的)区域高的区域。
另外，本发明提供图像显示面板的制造装置，该图像显示面板的制造装置具备对具有放射率高的区域和低的区域图像显示用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，特征是上述冷却装置的冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的放射率比冷却板的其它的区域高的区域。
另外，本发明提供图像显示面板的制造方法，该图像显示面板的制造方法具有在对具有放射率高的区域和低的区域的图像显示用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，特征是将具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比其它的(冷却板的)区域高的区域的冷却板用作为上述冷却板。
另外，在本说明书中，所谓放射率指的是来自相同温度的试样的放射量对于来自黑体的放射量之比。能够用黑体炉和分光放射测定器的组合进行测定。
如果依据本发明，则根据设置在冷却板中的异放射率区域，能够控制基板面的冷却温度，能够在整个面以几乎均匀的速度进行冷却，因此能够抑制发生成为基板畸变或者损伤的原因的温度分布。
另外，如果依据本发明，由于还通过设置在冷却板中的异放射率区域，控制基板面的冷却温度，因此即使在例如设置了布线等放射率与基板不同的异放射率部件的情况下，也能够减轻以此为原因而发生的基板的温度分布，能够高成品率地进行图像显示面板的制造。
下面，以把图像显示面板用的基板作为处理对象的情况为例，根据附图更详细地说明本发明。
图1是表示作为图像显示面板的制造装置的一部分使用的具有本发明的冷却装置的加热和冷却装置的第1例的正在加热基板的状态的模式说明图。图2是表示用图1的加热和冷却装置正在冷却基板的状态的模式说明图。图3是作为处理对象的一个例子的单面具有布线的基板的平面图。图4表示与图3所示的基板具有的布线形成区域大致相对应设置的异放射率区域的图案。
如图1以及图2所示，本第1例的加热和冷却装置在内部保持为真空环境的真空腔1内，分别设置加热装置2和冷却装置3，在加热装置2与冷却装置3之间设置导向器4，沿着该导向器4设置在真空腔1内移动的驱动单元5。另外，作为处理对象的图像显示面板用的基板6由从驱动单元5延伸出的支撑臂7水平支撑，通过驱动单元5的移动，在加热装置2与冷却装置3之间传送。
加热装置2成为具备上下一对板形的加热器8a、8b，包围两个加热器8a、8b的反射板9和在基板6的搬入和搬出时开闭的隔门10的结构。反射板9以及隔门10在表里面都用以铜为代表的低放射率的材料构成，通过提高基板6的加热效率的同时，抑制向加热区域以外的放热，使得能够减少在用冷却装置3的冷却过程中热向基板6的移动。
通过打开隔门10，把由支撑臂7支撑了基板6的驱动单元5导入到反射板9内以后迅速地关闭隔门10，如图1所示，使基板6位于两个加热器8a、8b之间，通过来自分别与基板6的上下面相对的两个加热器8a、8b的辐射热进行上述加热装置2对于基板6的加热。
例如在将设置了多个电子放射元件以及用于驱动该电子放射元件的矩阵布线等的电子源基板与设置了通过来自该电子源基板的电子射线的照射形成图像的荧光体的荧光体基板相对配置的图像显示面板中，图像显示面板用的基板6用作为上述电子源基板或者荧光体基板，为了形成布线或者电子放射元件的结构部件、形成荧光体、去除附着成分等，其加热通常直到图像显示面板的制造结束为止进行多次。另外，如上所述，受到了加热处理的基板6为了下一道工序中的处理，通常暂时冷却。
在如上述那样进行了加热装置2的加热以后，打开隔门10，把驱动单元5取出到反射板9的外面以后，迅速地关闭隔门10的同时，把由支撑臂7支撑了基板6的驱动单元5移动到冷却装置3中进行本例的加热和冷却装置中的基板6的冷却。
冷却装置3与上述加热装置2相同地收容在真空腔1内，分别与传送来的基板6的上下面相对，成为具备分别具有比基板6更宽的相对面的冷却板11a、11b的结构。冷却板11a、11b用铝或者铜等为代表的热传导率良好的材料构成，在其内部具备用于使冷却水等冷却剂循环的冷却通道12a、12b。
而本例的作为处理对象的图像显示面板用的基板6是图像显示面板的电子源基板，如图3所示，在其一个面上，纵横地密集形成多条布线13。基板6用放射率高的玻璃等绝缘性物质构成，布线13用放射率比基板6低的银等金属构成。即，布线13成为放射率与基板6自身不同的异放射率部件。另外，基板6的另一个面成为放射率高的玻璃等绝缘性物质露出的放射率几乎均匀的面。
用加热装置2加热的上述基板6如上所述，通过驱动单元5的驱动向冷却装置3的冷却板11a、11b之间传送，通过与上下面相对的冷却板11a、11b对放射热的吸收进行冷却。吸收了来自基板6的放射热的冷却板11a、11b通过分别沿着所设置的冷却通道12a、12b内流动的冷却剂进行冷却。
把图3所示的具有作为异放射率部件的布线13的基板6用相对面为均匀的放射率的冷却板11a、11b冷却的情况下，密集地形成了作为放射率比其它区域低的异放射率部件的布线13的区域的冷却变得缓慢，另一方面，放射率高的玻璃基板6的面大量露出的基板6的四个角迅速冷却，从而易于在基板6中产生很大的温度分布。
因此，在本例的冷却装置3中的冷却板11a、11b与基板6的相对面上如图4所示，与布线13的形成区域相对应，设置放射率与其它区域不同的异放射率区域14，使得能够减轻该面是均匀放射率时在基板6中产生的温度分布。具体地讲，由于本例中的作为异放射率部件的布线13与基板6相比较放射率低，布线13的形成区域的冷却变得缓慢，因此做成易于吸收该布线13的形成区域的热，提高冷却速度的本例中的异放射率区域14例如通过实施陶瓷涂层等，形成为放射率比与基板6的相对面中的其它区域高的区域。另外该异放射率区域14如图4所示，大致形成为十字形，由于在冷却板11a、11b的四个角使虽然作为冷却板11a、11b的基本材料的铝或者铜的热传导率高但是由于放射率比异放射率区域14低的材料的表面露出，因此抑制来自与其相对的基板6的布线13形成面中的四个角(基板6的露出区域)的热的吸收，在提高上述布线13的形成区域的冷却速度方面起作用，抑制发生伴随冷却对于基板6的温度分布。
另外，如本例这样，在作为冷却对象的基板6是玻璃的情况下，由于玻璃具有仅进行5μ～20μ这样的被限定的波长的放射(吸收)的特性，因此当然把作为与其同等程度的波长区的5μ～20μ分光放射率ελ作为放射率。另外，放射率能够用作为工艺温度的常温～400℃的范围中的任意温度测定。
上述异放射率区域14可以形成为与作为异放射率部件的布线13的形成区域一致，而由于与基板6的中央部分相比较，周缘部分更易于冷却，因此最好是形成为比布线13的形成区域小，获得平衡。
上述的例子是异放射率部件(上述的例子中是布线13)的放射率比基板6低的情况，而对于通过设置放射率比基板6低的异放射率部件，在基板6中产生温度分布的情况，通过把异放射率区域14做成放射率比其它区域高的区域能够进行对应。
异放射率区域14最好分别设置在与图像显示面板用基板6的上下面(表里面)分别相对的冷却板12a、12b上，而也可以仅设置在一方。仅设置在一方的情况下，最好设置在与设置了异放射率部件的基板6的面相对一侧的冷却板12a或12b上。
当希望进一步降低冷却板12a、12b的与基板6的相对面中的异放射率区域14以外的区域的放射率时，通过对该区域进行研磨处理，能够降低放射率。
而图像显示面板用的基板6在图像显示面板的制造过程中，在各种状态下受到加热以及冷却处理。例如，在上述电子源基板或者荧光体基板的制造时，在设置电子放射元件、布线13、荧光体等之前，在基板6单独的状态下，受到用于去除附着性成分的称为烘焙的加热处理后进行冷却。该基板6单独的状态是表里面的放射率都是几乎均匀的状态。在基板6单独的状态下，在冷却板12a、12b的与基板6相对的面的中央部分中，最好以图5所示的圆形或者图6所示的椭圆形，设置与其它区域相比较放射率高的异放射率区域14。通过这样做，与热放射面经过扩展易于冷却的基板6的周缘部分相比较，能够促进冷却缓慢的基板6的中央部分的冷却，能够抑制伴随着冷却在基板6中产生的温度分布。圆形的异放射率区域14适合于基板6是大致正方形的情况，椭圆形的异放射率区域14适合于基板6是长方形的情况。
另外，在图像显示面板用的基板6是电子源基板的情况下，有时与布线13一起，在布线13的形成区域内在突出设置玻璃等隔离件(未图示)的状态下接受处理。由于该隔离件很细，热容量非常小，因此冷却时被急速地冷却。从而，如果隔离件被急速冷却，与基板6的温差增大，则由于热膨胀的差异在隔离件中易于产生断裂。
于是，在基板6中与布线13一起这样设置了隔离件的图像显示面板用的基板6的冷却中，与布线13的形成区域大致相对应设置的放射率高的上述异放射率区域14最好采用与基板6的背面相对的冷却板11b，而不是与设置了布线13和隔离件的基板6的面相对的冷却板11a，冷却板11a采用不具有该放射率高的异放射率14的构件。
下面，根据图7说明作为图像显示面板的制造装置的一部分使用的具有本发明的冷却装置的加热和冷却装置的第2例。
本例的加热和冷却装置把图1以及图2所示的加热装置2和冷却装置3构成为一体，成为在具有用于装卸图像显示面板用的基板6的隔门70的真空腔71内，具备用于大致水平支撑基板6的支撑销72、在与用该支撑销72支撑了的基板6的上下面相对的位置分别设置的冷却板73a、73b、在基板6与冷却板73a、73b之间分别隔开间隔并排设置的线或者棒形的加热器74a、74b的结构。另外，冷却板73a、73b分别具有冷却通道75a、75b。
本例中的冷却板73a、73b与上述第1例中的冷却板11a、11b相同，成为根据基板6的状态，具有异放射率区域14(参照图4～图6)的结构。
通过打开隔门70，在把基板6在加热器74a、74b之间(冷却板73a、73b之间)由支撑销72支撑了以后，在关闭了隔门70的状态下使加热器74动作进行本例的加热和冷却装置的加热。另外，不必使基板6移动而在保持不动的状态下停止加热器74a、74b，使冷却剂在冷却通道75a、75b中流动，如在第1例中说明过的那样，由设置在冷却板73a、73b中的异放射率区域14(参照图4～图6)抑制基板6的温度分布的同时进行对加热了的基板6的冷却。加热器74a、74b的剖面是圆形，最好尽可能细，使得在该冷却时，尽可能不妨碍冷却板73a、73b对于来自基板6的放射热的吸收。
本发明并不限于上述例子中采用的基板6即玻璃。例如，即使冷却对象的主要材料不是玻璃，而是像SiC的陶瓷那样，分光放射率ελ在整个波长中是接近比较恒定的特性的材料，也能够以同样的状态实施。而这时，把全反射率ε作为放射率，而不是限定了波长的分光放射率ελ。即，作为本发明中的放射率，根据其冷却对象的特性，可以是分光放射率ελ，或者也可以是全放射率ε。另外，该测定时，可以进行与工艺相对应的温度下的测定。
权利要求
1.一种冷却装置，该冷却装置使冷却板与基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，其特征在于在上述冷却板中以减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时在基板中产生的温度分布变化的图案，设置放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时在上述基板的中央部分与周缘部分中产生的温度分布变化的图案，设置上述异放射率区域。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于上述异放射率区域是在冷却板的中央部分以圆形或者椭圆形的图案设置的、放射率比冷却板的其它区域高的区域。
4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于上述基板至少在单面的一部分具有放射率与该基板不同的异放射率部件，以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，设置上述异放射率区域。
5.一种冷却装置，该冷却装置使冷却板与具有放射率高的区域和低的区域的基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却，其特征在于上述冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比冷却板的其它区域高的区域。
6.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于上述放射率低的区域是在上述基板上配置了放射率比该基板低的部件的区域。
7.一种图像显示面板的制造装置，具备对在基板的至少单面的一部分上设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，其特征在于上述冷却装置的冷却板以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具备放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
8.根据权利要求7所述的图像显示面板的制造装置，其特征在于上述异放射率部件是在基板的单面上形成的、放射率比基板低的布线，上述冷却板中的异放射率区域是与上述布线的形成区域大致对应设置的、放射率比冷却板的其它区域高的区域。
9.根据权利要求8所述的图像显示面板的制造装置，其特征在于上述基板在基板的一个面上与布线一起突出设置有隔离件，设置了上述异放射率区域的冷却板位于基板的另一个面一侧。
10.一种图像显示面板的制造装置，具备对具有放射率高的区域和低的区域图像显示用的基板进行加热的加热装置；使冷却板与用该加热装置加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的冷却装置，其特征在于上述冷却装置的冷却板具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比冷却板的其它区域高的区域。
11.根据权利要求10所述的图像显示面板的制造装置，其特征在于上述放射率低的区域是在上述基板上配置了放射率比该基板低的部件的区域。
12.根据权利要求11所述的图像显示面板的制造装置，其特征在于放射率比上述基板低的部件是布线。
13.根据权利要求12所述的液晶显示面板的制造装置，其特征在于在上述基板的配置了上述布线的一个面一侧进而配置隔离件，上述冷却板位于上述一个面的背面一侧。
14.一种图像显示面板的制造方法，具备在对基板的至少单面的一部分上设置了放射率与该基板不同的异放射率部件的图像显示面板用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，其特征在于将这样的冷却板用作为上述冷却板，即该冷却板以能够减轻在用放射率均匀的冷却板冷却时由于上述基板与上述异放射率部件的放射率差异而在基板中产生的温度分布变化的图案，具备放射率与冷却板的其它区域不同的异放射率区域。
15.根据权利要求14所述的图像显示面板的制造方法，其特征在于上述异放射率部件是放射率比基板低的布线，把上述冷却板中的异放射率区域做成与上述布线的形成区域大致对应设置的、放射率比冷却板的其它区域高的区域。
16.根据权利要求15所述的图像显示面板的制造方法，其特征在于上述基板在基板的一个面上与布线一起突出设置有隔离件，设置了上述异放射率区域的冷却板位于基板的另一个面一侧。
17.一种图像显示面板的制造方法，具有在对具有放射率高的区域和低的区域的图像显示用的基板进行加热以后，使冷却板与该加热了的上述基板相对，吸收来自该基板的放射热进行冷却的工艺，其特征在于将具有与上述基板的放射率低的区域相对的、放射率比冷却板的其它区域高的区域的冷却板用作为上述冷却板。
18.根据权利要求17所述的图像显示面板的制造方法，其特征在于上述放射率低的区域是在上述基板上配置了放射率比该基板低的部件的区域。
19.根据权利要求18所述的图像显示面板的制造方法，其特征在于放射率比上述基板低的部件是布线。
20.根据权利要求19所述的图像显示面板的制造方法，其特征在于在上述基板的配置了上述布线的一个面一侧进而配置隔离件，上述冷却板位于上述一个面的背面一侧。
21.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于上述冷却板具有在以铝或铜为基材的主材上涂敷陶瓷的结构，涂敷了陶瓷的区域构成上述异放射率区域，该区域的放射率与露出上述主材的区域的放射率不同。
全文摘要
在构成使用了电子线放射元件等的图像显示装置的基板的加热以及冷却过程中使用的冷却装置中，具备与基板相对而且吸收基板的放射热的冷却板，通过在冷却板中设置与基板的低放射率区域相对的图案的高放射率区域，减轻基板冷却时的基板温度分布的变化，防止基板畸变或者破损。
文档编号C23C16/46GK1673411SQ20051005488
公开日2005年9月28日 申请日期2005年3月22日 优先权日2004年3月23日
发明者吉村昌真 申请人:佳能株式会社