专利名称：一种热丝张紧机构的制作方法
技术领域：
本实用新型属于化学气相沉积金刚石领域，特别是涉及热丝化学气相沉积金刚石 设备中的一种热丝张紧机构。
背景技术：
利用热丝化学气相沉积方法制备金刚石膜(厚膜或涂层)时(即CVD金刚石)，必 须要用到加热丝(钽丝或钨丝)。在使用时，热丝要由一个机构进行固定，同时要求在真空 炉中加热这个热丝时，热丝必须要能够保持平直、绷紧，这对金刚石的生产至关重要。中国专利ZL200720086710. 6公开了一种热丝恒张力悬挂装置。它包括第一电极、 第二电极、钩状电极引线、活塞式可移动电极组件、金属导线、导电金属杆、陶瓷绝缘体、滑 轮组、第一电极金属引线、砝码、第一电极支撑架、滑轮组支撑架、第二点击金属引线、第二 电极支撑架，第二电极的圆管通孔内设有活塞式可移动电极组件，第二牵引线的的左端与 陶瓷绝缘体固定连接，第二牵引线的右端经过滑轮组后于砝码固定连接。但是上述专利存 在以下的问题1、结构复杂；2、利用砝码悬挂来牵引热丝，砝码只有固定的重量规格，会使 对热丝的调节不到位。
实用新型内容本实用新型的目的是要克服现有技术中的缺点，提供一种结构简单、安装方便并 且使用效果好的热丝张紧机构。它能够使得在利用热丝化学气相沉积方法制备金刚石膜的 过程中始终使热丝保持平直、绷紧的状态。本实用新型一种热丝张紧机构，所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑 条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧；所述第一横梁与第二横梁平行相对；所述 固定电极一端带钩并固定在第一横梁上；所述活动电极两端带钩，通过活动螺钉安装在第 二横梁上；所述支撑条有两根，一端都固定在第二横梁上，另一端都与横条固定，形成固定 架；所述弹簧一端连接在活动电极上，另一端固定在横条上。进一步的，上述技术方案中，所述第一横梁、第二横梁采用钨杆或钼杆。进一步的，上述技术方案中，所述支撑条材质为耐高温可加工绝缘陶瓷。进一步的，上述技术方案中，所述横条材质为钼或不锈钢。进一步的，上述技术方案中，所述固定电极及活动电极的材料为钽或钼。进一步的，上述技术方案中，所述活动螺钉材料为钨或钼。进一步的，上述技术方案中，所述活动电极中心开有长方形孔或槽，所述活动螺钉 通过长方形孔或槽安装。本实用新型一种热丝张紧机构，其作用是在金刚石制备过程中，随着电流增加，加 热丝由于被加热而拉长变形，但其变形量随即被弹簧所吸收，即可使加热丝一直处于平直 状态。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图，具体阐述本实用新型的技术方案。本实用新型的热丝张紧机构包括第一横梁1、第二横梁2、支撑条3、横条4、固定电 极5、活动电极6、活动螺钉7及弹簧8 ；第一横梁1与第二横梁2采用钨杆或钼杆材质，呈平 行相对设置；固定电极5 —端带钩并固定在第一横梁上；活动电极两端带钩，用钨或钼材料 的活动螺钉7将其安装在第二横梁2上，活动螺钉7拧紧时将其固定，松开时则其可作左右 的横向位移，使得在弹簧的拉力下能及时拉起因加热变长的热丝而不下垂；支撑条3有两 根，一端都固定在第二横梁2上，另一端都与横条4固定，第二横梁2、支撑条、横条形成稳定 的固定架结构；弹簧8—端连接在活动电极的钩上，另一端固定在横条4上；上述支撑条材 质为耐高温可加工绝缘陶瓷；横条材质为钼或不锈钢；固定电极及活动电极的材料为钽 或钼。所述活动电极中心开有长方形孔或槽9，所述活动螺钉通过长方形孔或槽安装，使 活动电极能在热丝被加热前绕丝时向左(弹簧收缩的反方向)有一个位移，并且能够被活 动螺钉固定在第二横梁2上，丝架安装好后，活动螺钉要松开，依靠热丝的拉力保持位移， 在热丝被加热后，热丝变长，变形量随时被弹簧吸收。本实用新型在具体使用时，按如下方法1、在炉外，按图所示布置加热丝，使加热丝绕在固定电极与活动电极的钩上，并且 使活动电极的右端紧靠第二横梁中心孔，拧紧活动螺钉。此时的加热丝应绷紧，不得有垂 落、弯曲。2、整个机构放入加热炉后，与炉内电极柱连接好，松开活动螺钉。随着电流增大， 热丝被加热变长，在弹簧作用下，活动电极向右横向位移，热丝的变形量随即被弹簧所吸 收，可使加热丝一直处于平直状态。
权利要求一种热丝张紧机构，其特征在于所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧；所述第一横梁与第二横梁平行相对；所述固定电极一端带钩并固定在第一横梁上；所述活动电极两端带钩，通过活动螺钉安装在第二横梁上；所述支撑条有两根，一端都固定在第二横梁上，另一端都与横条固定，形成固定架；所述弹簧一端连接在活动电极上，另一端固定在横条上。
2.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述第一横梁、第二横梁采 用钨杆或钼杆。
3.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述支撑条材质为耐高温 可加工绝缘陶瓷。
4.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述横条材质为钼或不锈钢。
5.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述固定电极及活动电极 的材料为钽或钼。
6.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述活动螺钉材料为钨或钼。
7.根据权利要求1所述的一种热丝张紧机构，其特征在于所述活动电极中心开有长 方形孔或槽，所述活动螺钉通过长方形孔或槽安装。
专利摘要本实用新型属于化学气相沉积金刚石领域，特别是涉及热丝化学气相沉积金刚石设备中的一种热丝张紧机构。所述热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、支撑条、横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧；所述第一横梁与第二横梁平行相对；所述固定电极一端带钩并固定在第一横梁上；所述活动电极两端带钩，通过活动螺钉安装在第二横梁上；所述支撑条有两根，一端都固定在第二横梁上，另一端都与横条固定，形成固定架；所述弹簧一端连接在活动电极上，另一端固定在横条上。本实用新型一种热丝张紧机构，其作用是在金刚石制备过程中，随着电流增加，加热丝由于被加热而拉长变形，但其变形量随即被弹簧所吸收，即可使加热丝一直处于平直状态。
文档编号C23C16/27GK201695087SQ20102020211
公开日2011年1月5日 申请日期2010年5月25日 优先权日2010年5月25日
发明者晏双利 申请人:晏双利