专利名称：Pecvd设备翻盖机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及PECVD设备领域，具体为一种PECVD设备翻盖机构。
背景技术：
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术的原理是利用低温等离子体作能量源， 样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入 适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。与翻盖机构相关的中国专利申请(申请号00222142. X、03258946. 8、 200520062051.3,200420088781. 6,200520061424. 5,200520125544. 7,200620057185. 0、 200620063422. 4,200620026058. 4,200720049074. X)等，存在以下的不足之处1)以上专利用于PECVD设备很重的盖板条件下，无法实现翻盖功能；2)要想完成PECVD设备的翻盖功能，成本高，可靠性差，结构复杂。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种PECVD设备翻盖机构，其主要解决的技术问题是 在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成PECVD设备重盖的开启，并可以在不加附属设 备的条件下完成盖板翻转90度的定位功能，为设备维护提供的可靠的保证。本实用新型的技术方案是一种PECVD设备翻盖机构，该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰链旋转轴、 限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板连接，铰链 下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰链旋转轴分 别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部分铰接；气 弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。所述的PECVD设备翻盖机构，铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔在盖板旋转 开启时相对，限位销分别穿过所述铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔，使铰链上半部 分和铰链下半部分连接。所述的PECVD设备翻盖机构，盖板旋转开启的角度为0 90度，当上盖板翻转到 90度时，由于铰链下半部分带有限位块，使得翻转停止，这时插入限位销锁死。 所述的PECVD设备翻盖机构，盖板的一端设有把手。所述的PECVD设备翻盖机构，铰链下半部分带有限位块，限位块与铰链下半部分 一体结构，限位块设在与铰链上半部分旋转方向相对应的位置。本实用新型的有益效果是1、本实用新型采用独特的双孔限位铰链与气弹簧配合使用，铰链上半部分与盖板 连接，下半部分与机体连接，中间双孔结构其中一个孔插入旋转轴用于铰链的连接和旋转 作用，使铰链上半部分能绕轴旋转。另一个孔用于盖板旋转90度时，将一根限位销插入铰 链上半部分和铰链下半部分的另一孔，将铰链限位。气弹簧在整个机构中起到助推作用使开盖更加省力，在关盖时起到缓冲作用，使盖板不会立刻与机体相撞导致机体或盖板损伤。2、本实用新型翻盖旋转机构的结构简单、成本低、可靠性高、可以翻盖90度自锁、 强度大、使用寿命长，减少生产用材料和生产成本、旋转轴的旋转顺畅、稳定，很好的实现 PECVD设备腔体重盖的开启功能。
图1为本实用新型结构示意图(合盖状态)。图2为本实用新型结构示意图(开盖90°状态)。图中，1、把手；2、盖板；3、气弹簧；4、铰链上半部分；5、铰链旋转轴；6、铰链下半部 分；7、机体；8、限位销；9、限位块。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型PECVD设备翻盖机构主要包括把手1、盖板2、气弹簧 3、铰链上半部分4、铰链旋转轴5、铰链下半部分6、机体7、限位销8等，具体结构如下铰链上半部分4与盖板2连接，铰链下半部分6与机体7连接。铰链上半部分4 设有两个孔(铰接孔和限位孔)，铰链下半部分6设有两个孔(铰接孔和限位孔)，铰链旋 转轴5分别穿过铰链上半部分4和铰链下半部分6的一个孔(铰接孔)，使铰链上半部分4 和铰链下半部分6铰接，旋转轴用于铰链的连接和旋转作用，使铰链上半部分能绕轴旋转； 铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔在盖板2旋转到达90度时相对，限位销8分别 穿过所述铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔(限位孔)，使使铰链上半部分4和铰 链下半部分6连接，将铰链限位。从而，形成独特的双孔限位铰链。气弹簧3的一端连接于 机体7上，气弹簧3的另一端连接于盖板2上，盖板的一端设有把手1，在开盖时，需要人手 施加初始的作用力在把手上。在合盖时，也需要人手施加初始的作用力在把手1上。本实用新型的工作过程如下在需要开盖时，通过把手1和气弹簧3的配合，使盖板2绕铰链旋转轴5转动开启， 当盖板2旋转到达90度时，由于铰链下半部分6带有限位块9，限位块9与铰链下半部分6 一体结构，限位块9设在与铰链上半部分4旋转方向相对应的位置，可将铰链上半部分4卡 住，使得盖板2翻转停止，铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔相对，限位销8插入 所述孔，将铰链上半部分4和铰链下半部分6限位，盖子保持90度状态固定不动，方便设备 的维护(图2)；在需要关盖时，将限位销8取出，通过把手1和气弹簧3的配合，使盖板2绕 铰链旋转轴5转动关闭。气弹簧在整个机构中起到助推作用使开盖更加省力，在关盖时起 到缓冲作用，使盖板不会立刻与机体相撞导致机体或盖板损伤。
权利要求1.一种PECVD设备翻盖机构，其特征在于该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰 链旋转轴、限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板 连接，铰链下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰 链旋转轴分别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部 分铰接；气弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。
2.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于铰链上半部分和铰链下 半部分的另一孔在盖板旋转开启时相对，限位销分别穿过所述铰链上半部分和铰链下半部 分的另一孔，使铰链上半部分和铰链下半部分连接。
3.按照权利要求2所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于盖板旋转开启的角度为 0 90度。
4.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于盖板的一端设有把手。
5.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于铰链下半部分带有限位 块，限位块与铰链下半部分一体结构，限位块设在与铰链上半部分旋转方向相对应的位置。
专利摘要本实用新型涉及PECVD设备领域，具体为一种PECVD设备翻盖机构。该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰链旋转轴、限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板连接，铰链下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰链旋转轴分别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部分铰接；气弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。本实用新型主要解决的技术问题是在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成PECVD设备重盖的开启，并可以在不加附属设备的条件下完成盖板翻转90度的定位功能，为设备维护提供的可靠的保证。
文档编号C23C16/44GK201785487SQ20102051247
公开日2011年4月6日 申请日期2010年9月1日 优先权日2010年9月1日
发明者梁学敏 申请人:沈阳拓荆科技有限公司