专利名称：靶安装机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及溅射装置的靶安装机构，详细地涉及能够对阴极容易且可靠地安装圆筒形的靶的靶安装机构。本申请基于2010年6月28日于日本申请的特愿2010-146617号主张优先权，在此引用其内容。
背景技术：
例如，作为建材用玻璃，Low-E玻璃(低辐射玻璃)正在普及。这种Low-E玻璃通过将金属薄膜成膜在玻璃表面上而形成。过去，在玻璃等的表 面形成金属薄膜时，利用具备平板形的靶(以下，仅称为靶)的磁控溅射装置进行成膜。但是，随着近年来的建材用玻璃的大型化，对于平板形的靶而言，难以将金属膜以均匀的厚度成膜在玻璃表面的全体上。作为将金属膜以均匀的厚度无差异地成膜在这种大面积的成膜对象物上的装置，提出一种利用圆筒形状的靶的溅射装置(例如，参照专利文献I)。此外，圆筒形的靶具有使用效率高于平板形的靶的特点。利用圆筒形状的靶的溅射装置中，圆筒形的靶在沿着旋转轴方向(长度方向)的两端被安装到阴电极上。过去，作为将靶安装到阴电极的结构，公开有一种连结系统，例如在卡合于阴电极的夹具上螺旋形地形成剖面为半圆形的槽，并且在靶的端部也螺旋形地形成半圆形的槽。并且，通过在任一方的槽中插入圆筒形的螺旋环，并使螺旋环啮合到另一方的槽中，从而将靶安装在阴电极上(参照专利文献2)。专利文献I :特开2010 - 100930号公报专利文献2 :特表2006 - 521515号公报但是，在如所述专利文献2的连接系统中，当将圆筒形的靶安装到阴电极时，由于通过螺旋环来卡合靶和夹具，所以安装位置容易偏移，难以将靶的轴心准确对准阴电极的旋转中心而安装。因此，具有靶容易偏心旋转、腐蚀图案不稳定、靶的寿命短的问题。此外，例如，为了在成膜面的一边为数米等的大型的被成膜物上进行成膜，而使用长度为数米等大型的靶的情况下，在将靶安装到阴电极时，需要使用专用工具用较大的力旋转夹具，靶的安装需要庞大的劳力。
发明内容
本发明是鉴于所述问题做出的，其目的在于，提供一种能够对阴极容易地且在准确的安装位置安装圆筒形的靶的靶安装机构。此外，其目的在于，提供一种可以使靶的腐蚀图案均匀并且实现靶的长寿命化的靶安装机构。(I)本发明的一方式的靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置中使用的圆筒形的靶，所述靶具备圆筒形的基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧所述基体露出的连结区域；在所述阴极的连结部形成有内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具；在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具中的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。(2)在上述(I)所述的方式中，优选所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的卡合所需的转矩为Ikgf · cm以上、20kgf · cm以下。(3)在上述(I)所述的方式中，优选所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的接触面是所述靶的圆周方向为短边、所述靶的轴方向为长边的形状。(4)在上述(I)所述的方式中，优选具备发出判断所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的卡合动作已经完成的信号的结构。 (5)在上述(I)所述的方式中，优选所述第二卡合凸部形成有三个以上，位于所述夹具的内周面方向的同一线上，并位于将所述靶的旋转轴看作中心的假想圆上，并且相对于通过所述中心和所述第二卡合凸部中的至少一个的线段，其它的所述第二卡合凸部轴对称配置。(6)在上述(I)所述的方式中，优选进一步具备垫圈，该垫圈设置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体的接触部分。(7)在上述(I)所述的方式中，优选进一步具备固定机构，该固定机构使所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体紧密接合。(8)在上述(I)所述的方式中，优选进一步具备衬垫，该衬垫配置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述夹具的间隙。(9)在上述(8)所述的方式中，优选在所述衬垫实施有表面处理。如以上说明，根据上述(I)所述的方式，在溅射装置的阴极上安装圆筒形的靶时，将形成于阴极上的夹具插入到靶的端部的连结区域，使夹具只沿着靶的圆周方向相对移动，就使第—合凸部和第二卡合凸部卡合，可以对阴极安装圆筒形的革巴。因此，通过第一卡合凸部和第二卡合凸部的卡合，可以易于使阴极的中心和靶的轴心一致，可以使靶以轴心为旋转中心无偏心地旋转。由此，被成膜物与靶的距离在靶的整个圆周上均匀，可以在被成膜物的整个面成膜无差异的厚度均匀的皮膜。此外，即使在使用大型且有重量的靶的情况下，安装靶时，使夹具只沿着靶的圆周方向相对移动，就可以使第二卡合凸部和第一卡合凸部卡合，从而将靶安装在阴极上。因此，不需要像过去使用专用工具用较大的力旋转夹具，不使用专用工具且用较小的力使夹具沿着靶的圆周方向旋转，就能够容易地将靶安装在阴极上。
图I是本发明的一实施方式涉及的溅射装置的纵剖视图。图2是表示该溅射装置中的包含靶的区域的主要部分放大立体图。图3是表示该实施方式的靶安装机构的放大立体图。图4是表示该实施方式的靶安装机构的剖视图。图5A是阶段性表示该实施方式的靶的安装工序的说明图。
图5B是阶段性表示该实施方式的靶的安装工序的说明图。图5C是阶段性表示该实施方式的靶的安装工序的说明图。图是阶段性表示该实施方式的靶的安装工序的说明图。图5E是阶段性表示该实施方式的靶的安装工序的说明图。图6A是表示该实施方式的第二卡合凸部的配置例的说明图。图6B是表示该实施方式的第二卡合凸部的配置例的说明图。图6C是表示该实施方式的第二卡合凸部的配置例的说明图。图7是表示本发明的靶安装机构的另一实施方式的放大立体图。 图8是表示本发明的靶安装机构的另一实施方式的剖视图。图9A是阶段性表示另一实施方式的靶的安装工序的说明图。图9B是阶段性表示另一实施方式的靶的安装工序的说明图。图9C是阶段性表示另一实施方式的靶的安装工序的说明图。
具体实施例方式以下参照附图，对本发明涉及的靶安装机构的一实施方式进行说明。而且，本实施方式是为了更好的理解发明的主旨而具体说明的，没有特别指定的前提下，不限定本发明。此外，以下的说明中使用的附图，为了容易了解本发明的特征，有时为了方便将作为主要部分的部分放大表示，各构成要素的尺寸比例等不一定与实际相同。首先，对本实施方式的具备靶安装机构的磁控溅射装置(以下，称为溅射装置)进行说明。图I是表示溅射装置的结构的纵剖视图。此外，图2是表示包含靶的区域的主要部分放大立体图。派射装置10具备反应室11、阳极(anode) 12、阴极(cathode) 13、真空泵17和Ar气供给装置18。反应室11的内部可以通过真空泵17减压，在成膜时例如减压到真空度6Pa的程度。阳极(anode) 12例如由多个平板形电极构成。阳极12可以通过电缆与地线电连接。在这种平板形电极的阳极12的一面上，放置被成膜物，例如玻璃板19。阴极(cathode) 13构成与后述的靶21电连接的端子，通过电缆与交流(AC)电源装置14电连接。此外，该阴极13通过与冷却水供给装置15连接的冷却水循环管16抑制成膜时的温度上升。Ar气供给装置18通过供气管与反应室11的内部连接。由此，在成膜时，Ar气作为用于产生等离子体的气体被供给到反应室11内。如图2所示，靶21整体形成为大致圆筒形。靶21由中空圆筒形的基体(支持管)22和在沿着该基材22的轴心方向R的中央区域SI覆盖基体22的外周面的靶材23构成。并且，除了该中央区域SI的两端侧成为基体22露出的连结区域S2。基体(支持管)22例如可以由厚度为数毫米左右的不锈钢管形成。覆盖基体22的中央区域SI的靶材23可以是将希望成膜在被成膜物上的薄膜的材料，例如W、Ti、Ta、Mo、Al合金等的各种金属材料、硅、铟一锡氧化物(以下称为ΙΤ0)等以规定的厚度形成的靶材。当这种圆筒形的靶21被设置于溅射装置10时，在基体22的内部配有磁铁51(参照图I)。该磁铁51在靶材23的周围形成磁场，进行磁控溅射。通过由这种磁铁51将等离子体封闭在靶21附近，从而使溅射速度高速化，并防止在靶21的附近堆积靶的薄膜。在靶21的两端部，即连结区域S2与阴极13电连接且机械连接。该连结区域S2和阴极13的连接通过形成在阴极的连结部S3的夹具41进行。这种靶21例如可以是相同的两个靶并列形成。并且，各个靶21通过未图示的电机，在成膜中以规定的旋转速度旋转。当利用如上结构的溅射装置10，将例如金属薄膜成膜在作为被成膜物的玻璃19的一面上时，首先，从Ar气供给装置18将Ar气导入反应室11内，同时通过真空泵17使反应室11内减压，例如将压力设定为I. 3Pa。接着，使放置有作为被成膜物的玻璃19的阳极12与并列配置的两个靶21、21相对。并且，从交流(AC)电源装置14通过阴极13向两个靶21、21流过交流电流(AC)。这时，在，电流以阴极和阳极交替切换的方式施加到一方的靶21和另一方的靶21。若对靶21、21施加交流电流(AC)，则反应室11内的Ar气成为辉光放电等离子体，产生很多Ar+离子。并且，该很多Ar+离子冲击与阴极13连接的靶21的靶材23。靶材23由于该Ar+离子的冲击而被溅射，靶材的构成材料的粒子(溅射粒子)堆积到放置于阳极12的玻璃19上。由此，可以在玻璃19的一面形成由靶材23的构成材料构成的薄膜。在这种溅射时，通过使靶21、21以轴心方向R为旋转中心以规定的速度旋转，从而靶材23以均匀的厚度减少，并且可以对大面积的玻璃19的整个一面形成膜厚均匀的薄膜。(第一实施方式)图3是表示本发明的靶安装机构的放大立体图。此外，图4是表示本发明的靶安装机构的剖视图。在靶21的两端部基体22露出的连结区域S2，沿着基体22的圆周方向形成有第一卡合凸部61。第一卡合凸部61是从基材22的周面22a向外突出的突起，沿着基体22的圆周方向Q，例如均等地配置在六个部位。该第一卡合凸部61可以与基体22 —体形成。第合凸部61包括从基材22的周面22a在低的位置突出的导入部61a ;从该导入部61a沿着基体22的圆周方向Q,朝从周面22a向外远离的方向倾斜的倾斜部61b ;与该倾斜部61b相连，且与倾斜部61b相比以更急的角度(大的角度)在从周面22a向外远离的方向上竖起(倾斜)的卡止部61c (还参照图5A的剖视图)。此外，倾斜部61b从与导入部61a相连的一侧朝向与卡止部61c相连的一侧呈沿着祀21的轴心方向R宽度扩展的形状。在构成阴极13的一端的连结部S3可旋转地安装有夹具71。该夹具71形成为内置有阴极13的连结部S3和靶21的连结区域S2的、中空的大致圆筒形状。即，靶21的中空的内径形成为与阴极13的连结部S3或靶21的连结区域S2的直径相同或比其更大，安装靶21时，呈现覆盖这些连结部S3和连结区域S2的形状。在夹具71的内周面71a，沿着该夹具71的内周方向D形成第二卡合凸部72。第二卡合凸部72是在从内周面71a朝向夹具71的外侧挖出的预定宽度的槽71b的两侧面支撑(固定)的圆筒棒状的部件。槽71b沿着夹具71的内周方向D，例如均等地配置在六个部位。另一方面，第二卡合凸部72在这六个部位的槽71b中，隔一个在三个部位均等地形成。槽71b在第一卡合凸部61和第二卡合凸部72的卡合时，形成于六个部位的第一卡合凸部61与该槽71b在内周方向D上相对。并且，六个部位的槽71b中，形成于三个部位的槽71b的第二卡合凸部72和第一卡合凸部61滑动，并且抵接，从而靶21被固定到夹具71 (靶21和夹具71的卡合在后面记载)。在夹具71的一端侧形成有由紧固螺丝73和螺丝孔74构成的固定机构75。该固定机构75在使夹具71与靶21卡合时，将紧固螺丝73沿着轴心方向R朝向靶21紧固，从而夹具71被固定而不会沿着内周方向D松开。在相对于轴心方向垂直地扩展的阴极13的连结部S3与夹具71的内表面之间形成的间隙T中，进一步设有衬垫76。该衬垫76是中心设有使阴极13贯穿的孔的圆盘形部件，例如可以由不锈钢、铝等形成。衬垫76在紧固构成固定机构75的紧固螺丝73时防止其前端直接抵接于阴极13的连结部S3而造成损伤。衬垫76优选被实施表面处理。例如，可以在由铝形成的衬垫76的表面形成氧化铝皮膜。此外，例如可以在由铝形成的衬垫76的表面形成微裂纹等的微细凹凸丰富的硬质氧化铝膜，还可以形成有合成微小的氟树脂的皮膜。
此外，例如，在由铁、不锈钢、铜合金等形成的衬垫76的表面，使无电解镍和氟树脂在处理液中共析，在皮膜中对于容积比均匀地包含30%左右的氟树脂，在成膜后进行热处理，形成使无电解镍和氟树脂牢固地紧密接合的皮膜。而且，可以在例如由铁、不锈钢、铜合金等形成的衬垫76的表面，将无电解镍作为衬底，进行在该以粒子状析出的无电解镍中合成氟树脂的表面处理而形成皮膜。这样，通过进行衬垫76的表面处理，可以实现衬垫76的耐磨性的提高、滑动性的提闻，防粘附等。在阴极13的连结部S3的端部形成有垫圈77。该垫圈77例如由铝或铜合金等形成，通过抵接在靶21的基材22的端部，气密地保持基材22的中空的内部。对这种结构的本发明的靶安装机构的作用进行说明。利用本实施方式的靶安装机构，在溅射装置10的阴极13上安装圆筒形的靶21时，如图5A所示，使形成于阴极13的连结部S3的夹具71接近靶21的基材22露出的连结区域S2。并且，在夹具71的内部插入基材22的连结区域S2。在夹具71的内部插入了基材22的连结区域S2后，接着，如图5B所示，使夹具71绕着轴心方向R只沿着靶21的圆周方向Q旋转。若使夹具71只沿着圆周方向Q开始旋转，则形成于三个部位的槽71b上的第二卡合凸部72与第一卡合凸部61的导入部61a在内周面71a的径向上重叠。在该状态下，由于导入部61a的距离周面22a的高度低，所以第二卡合凸部72和第一卡合凸部61几乎不接触。如图5C 图5E所示，若进一步使夹具71只沿着靶21的圆周方向Q旋转，则第二卡合凸部72与朝着夹具71的旋转方向逐渐变高地倾斜的倾斜部61b抵接。并且，第二卡合凸部72在从侧面看时，以登上倾斜部61b的方式在倾斜部61b上滑动。夹具71只沿着靶21的圆周方向Q旋转，在滑动经过倾斜部61b时，由于倾斜部61b从与导入部61a相连的一侧朝着与卡止部61c相连的一侧形成沿着祀21的轴心方向R宽度扩宽的形状，所以第二卡合凸部72和第一卡合凸部61的接触面积逐渐增加。而且，第二卡合凸部72形成为圆柱状，所以夹具71沿着靶21的圆周方向Q顺畅地旋转。若使夹具71进一步旋转，则第二卡合凸部72登完倾斜部61b之后，抵接在与倾斜部61b相比以急角度竖起的卡止部61c。并且,沿着圆周方向Q的旋转止于此。由此,革巴21与夹具71卡合。在这种卡合状态下，第一^^合凸部61和第二卡合凸部72的接触面B构成靶21的圆周方向Q为短边、靶21的轴心方向(轴方向)R为长边的细长的长方形。通过将这种第一卡合凸部61和第二卡合凸部72的接触面抑制得较小，从在夹具71的内部插入靶21的连结区域S2，使夹具71只沿着靶21的圆周方向Q旋转，直到第二卡合凸部72与卡止部61c抵接为止所需的旋转转矩为Ikgf · cm以上、20kgf · cm以下。由此，例如操作者将夹具71不使用专用工具等而仅用手轻轻旋转夹具71，就能够使靶21卡合在夹具71上。另一方面，第二卡合凸部72也可以是如下结构在登完倾斜部61b而抵接在卡止部61c时，发出判断第一^^合凸部61和第二卡合凸部72的卡合动作的已经完成的信号。例如，这种信号可以是声音。在该实施方式中，通过设为第二卡合凸部72碰到第一卡合凸部61的卡止部6Ic时发出的接触声响起的结构，可以得知已经将夹具71旋转到规定的卡合位置。由此，可以防止由夹具71的旋转不足等引起的卡合不良。 然后，通过将图4所示的固定机构75的紧固螺丝73沿着轴心方向R朝着靶21紧固，阴极13被压向靶21，第一卡合凸部61和槽71b紧密接合，夹具71相对于靶21不容易旋转。因此，维持第—合凸部61和第二卡合凸部72的卡合(接触)状态。如上所述，根据本实施方式的靶安装机构，在溅射装置10的阴极13上安装圆筒形的靶21时，将形成于阴极13的夹具71插入到靶21的端部连结区域S2并使夹具71旋转，仅使第—合凸部61和第二卡合凸部72卡合,便可以将圆筒形的祀21安装在阴极13上。此外，例如，在使用长度为数米等的大型靶的情况下，在安装靶21时，仅使夹具71只沿着圆周方向旋转而使第二卡合凸部72和第—合凸部61卡合,便可以将祀21安装在阴极13上。因此，不需如过去那样使用专用工具以较大的力来使其旋转等，不使用专用工具以较小的力，例如，夹具71的旋转转矩为Ikgf · cm以上、20kgf · cm以下的范围内旋转，就可以将靶21容易地安装到阴极13。在所述的实施方式中，第二卡合凸部72在六个部位的槽71b中，均等地隔一个形成在三个部位。即，如图6A所示，第二卡合凸部72形成有三个，位于夹具71的内周面71a方向的同一线Pl上，还位于将靶21的旋转轴即轴心方向R看作中心的假想圆P2上，并且相对于通过该中心和第二卡合凸部72的线段L轴对称地配置。通过这种结构，在卡合第一卡合凸部61和第二卡合凸部72时，可以准确地使靶21的旋转轴和夹具71的内周面71a上的轴心一致。因此，在成膜时，靶21不会偏心旋转，均匀地形成腐蚀图案，可以提高靶21的寿命。如图6B所示，第二卡合凸部可以位于同一线Pl上，并且还位于假想圆P2上，并且，相对于通过该中心和第二卡合凸部81的线段L轴对称地配置在四个部位。此外，例如图6C所示，可以是位于同一线Pl上，并且还位于假想圆P2上，并且，相对于通过该中心和第二卡合凸部82的线段L轴对称地配置在五个部位。因此，通过第一卡合凸部61和第二卡合凸部72的卡合，可以易于使阴极13的中心和靶21的轴心一致，可以将靶21以轴心为旋转中心无偏心地旋转。由此，被成膜物与靶21的距离在靶21的整个圆周上变得均匀，可以将无差异的厚度均匀的皮膜成膜在成膜物的整个面上。而且，在所述的实施方式中，使夹具71相对于靶21只沿着圆周方向Q旋转进行卡合，但是第—^合凸部和第二卡合凸部只沿着祀的圆周方向相对移动而卡合即可。即，也可以是使靶代替夹具旋转，或者使靶和夹具两者在圆周方向上朝相互不同的方向旋转，以使第一^^合凸部和第二卡合凸部卡合的结构。(第二实施方式)图7是表示本发明的靶安装机构的另一实施方式的放大立体图。此外，图8是该靶安装机构的剖视图。在该实施方式中，在靶21的两端部露出基体22的连结区域S2沿着基体22的圆
周方向形成有第--合凸部31。第--合凸部31是从基材22的周面22a向外突出的突
起，沿着基体22的圆周方向例如均等地配置在六个部位。该第一卡合凸部31可以与基体22 —体形成。如图9A所示，第一卡合凸部31例如形成为俯视大致L字形。这样的第一卡合凸 部31具备沿着靶21的轴心方向R延伸的第一卡合机构E1、沿着靶21的圆周方向Q延伸的第二卡合机构E2及配置在与靶21的圆周方向Q大致垂直的方向的第三卡合机构E3。在构成阴极13的一端的连结部S3可旋转地安装有夹具41。该夹具41形成为内置有阴极13的连结部S3和靶21的连结区域S2的、中空的大致圆筒形状。即，靶21的中空的内径形成为与阴极13的连结部S3或靶21的连结区域S2的直径相同或比其大，安装靶21时，呈现覆盖这些连结部S3和连结区域S2的形状。在夹具41的内周面41a，沿着内周方向D形成第二卡合凸部42。第二卡合凸部42是从内周面41a朝中心方向突出的突起，沿着内周方向D，例如均等地配置在六个部位。该第二卡合凸部42可以与夹具41 一体形成。如图9A所示，第二卡合凸部42例如形成为俯视大致矩形。这种第二卡合凸部42的沿着内周方向D的宽度W可以形成为与相互邻接的第一卡合凸部31彼此的间隔相同，或比其小。通过这种结构，第一卡合凸部31和第二卡合凸部42在靶21的安装时可以卡合。在夹具41的一端侧形成有由紧固螺丝43和螺丝孔44构成的固定机构45。该固定机构45在使夹具41与靶21卡合时，将紧固螺丝43沿着轴心方向R朝向靶21紧固，从而使第一卡合凸部31和第二卡合凸部42紧密接合。在阴极13的连结部S3上的相对于轴心方向垂直延伸的部分与夹具41的内表面之间形成的间隙T中，还设有衬垫46。该衬垫46是在中心设有贯穿阴极13的孔的圆盘形的部件，例如可以由不锈钢形成。这种衬垫46在紧固构成固定机构45的紧固螺丝43时，防止其前端直接抵接在阴极13的连结部S3而造成损伤。在阴极13的连结部S3的端部形成有垫圈47。该垫圈47例如由铝等形成，通过抵接在靶21的基材22的端部而气密地保持基材22的中空的内部。对具有这种结构的本实施方式的靶安装机构的作用进行说明。利用本实施方式的靶安装机构，在溅射装置10的阴极13上安装圆筒形的靶21时，如图9A所示，使形成于阴极13的连结部S3的夹具41接近靶21的基板22露出的连结区域S2。并且，使形成于夹具41的各第二卡合凸部42位置对准，以便通过形成于基板22的第一卡合凸部31彼此之间之后，将基材22的连结区域S2插入到夹具41里面。在该插入时，构成第一^^合凸部31的第一^^合机构El和第二卡合凸部42的一面LI沿着轴心方向R滑动的同时，基材22的连结区域S2被插入到夹具41的内部。如图9B所示，使夹具41只沿着靶21的圆周方向Q旋转，插入到第二卡合凸部42的一面LI和第一卡合机构El在圆周方向Q不重叠的位置之后，接着，如图9C所示，使夹具41沿着祀21的圆周方向Q旋转。在该旋转时，构成第—合凸部31的第二卡合机构E2和第二卡合凸部42的另一面L2沿着圆周方向Q滑动的同时，夹具41旋转。若夹具41旋转规定量，则第二卡合凸部42的一面LI抵接到构成第一^^合凸部31的第三卡合机构E3。通过该第三卡合机构E3与第二卡合凸部42的抵接,夹具41的沿着圆周方向的旋转被抑制。然后，将图8所示的固定机构45的紧固螺丝43沿着轴心方向R朝向靶21紧固，从而第一卡合凸部31和第二卡合凸部42紧密接合，夹具41相对于靶21不容易旋转。
符号说明10 :溅射装置12:阳极13:阴极21 :靶22 :基体23 :靶材61:第一卡合凸部71 :夹具72:第二卡合凸部
权利要求
1.一种靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置中使用的圆筒形的靶，其特征在于， 所述靶具备圆筒形的基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧所述基体露出的连结区域； 在所述阴极的连结部形成有内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具； 在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具中的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。
2.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于， 所述第一^合凸部和所述第二卡合凸部的卡合所需的转矩为lkgf *cm以上、20kgf *cm以下。
3.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于， 所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的接触面是所述靶的圆周方向为短边、所述靶的轴方向为长边的形状。
4.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于，具备发出判断所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的卡合动作已经完成的信号的结构。
5.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于， 所述第二卡合凸部形成有三个以上，位于所述夹具的内周面方向的同一线上，并位于将所述靶的旋转轴看作中心的假想圆上，并且相对于通过所述中心和所述第二卡合凸部中的至少一个的线段，其它的所述第二卡合凸部轴对称配置。
6.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于，进一步具备垫圈，该垫圈设置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体的接触部分。
7.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于，进一步具备固定机构，该固定机构使所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体紧密接合。
8.根据权利要求I所述的靶安装机构，其特征在于，进一步具备衬垫，该衬垫配置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述夹具的间隙。
9.根据权利要求8所述的靶安装机构，其特征在于，在所述衬垫实施有表面处理。
全文摘要
本发明的靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置所使用的圆筒形的靶。所述靶具备圆筒形基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧露出所述基体的连结区域。在所述阴极的连结部形成内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具。并且，在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。
文档编号C23C14/34GK102884222SQ20118002271
公开日2013年1月16日 申请日期2011年6月28日 优先权日2010年6月28日
发明者石丸泰, 大山典生 申请人:日本爱发科泰克能株式会社