连续式镀膜机动力引入装置制造方法

文档序号:3306878阅读:125来源:国知局
连续式镀膜机动力引入装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种连续式镀膜机动力引入装置,属于机械传动【技术领域】。所述的动力引入装置包括旋转机构、进给机构和插入组件;所述插入组件连接在旋转机构的末端,在旋转机构的驱动下实现旋转,进而带动转架工作;所述旋转机构在进给机构的驱动下向下运动或者向上运动,进而调整插入组件的高度。本实用新型提供的动力装置中,插入组件可以调整高度,在需要的时候引入动力,因此动力引入更加按需索取;可以分别与连续镀膜机腔室内的转架配合工作,对于腔室内动力引入分别控制,方便灵活。
【专利说明】连续式镀膜机动力引入装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型属于机械传动【技术领域】,具体涉及一种连续式镀膜机动力弓I入装置。
【背景技术】
[0002]传统镀膜机为单体独立式,即只有一个腔室,转架的公转和自转动力引入一般从腔室的前后门或上部引入。而对于连续式镀膜机,由于多个腔室相连接,无法从腔室前后进行动力引入。且由于整个镀膜过程为自动进行,为保证转架自动完成各腔室间的行走,需要设备自动实现动力引入与退回。
实用新型内容
[0003]本实用新型为了解决现有技术中存在的动力引入问题,提供一种适用于连续式镀膜机的动力引入装置,所述的引入装置旋转机构、进给机构和插入组件,所述的旋转机构固定在进给机构上,插入组件连接在旋转机构上,当进给机构带动旋转机构竖直向下运动到达指定位置后,旋转机构驱动插入组件旋转,进而插入组件带动连续镀膜机腔室内的转架旋转,实现连续镀膜机腔室内的动力引入。
[0004]所述的进给机构包括进给电机、电机联轴器、弯板、丝杠、光杆、固定压环、调整架和支板,所述进给电机固定在弯板上,并且进给电机到达输出轴通过电机联轴器连接丝杠;丝杠与调整架之间为螺纹连接,丝杠在进给电机驱动下旋转,进而驱动调整架沿着丝杠轴向运动;所述固定压环和调整架均具有半圆弧形开口结构,二者相对组成圆环形结构,所述圆环结构的内壁具有圆环形凹槽,所述凹槽直径与旋转电机上的磁流体密封转轴上的法兰盘外径配合;所述支板设置在调整架的下方,螺纹连接在丝杠上;支板具有半圆弧开口,并且支板的半圆弧开口与调整架的半圆弧开口在水平面上的投影重合;在所述弯板上设置有光杆,光杆分别穿过调整架和支板,并且光杆平行于丝杠,用于对调整架和支板的轴向运动进行限位。
[0005]所述的旋转机构,在旋转电机的输出轴上通过电机联轴器连接磁流体密封转轴,磁流体密封转轴的另一端固定连接波纹管导管,在旋转电机的旋转驱动下,磁流体密封转轴、波纹管导管同步转动。
[0006]本实用新型的优点在于:
[0007](I)本实用新型提供的动力装置中,插入组件可以调整高度,在需要的时候引入动力,因此动力引入更加按需索取。
[0008](2)本实用新型提供的动力装置可以分别与连续镀膜机腔室内的转架配合工作,对于腔室内动力引入分别控制,方便灵活。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1为本实用新型提供的动力引入装置的整体结构示意图;
[0010]图2为本实用新型提供的动力引入装置中进给机构的结构示意图;[0011]图3为本实用新型提供的动力引入装置中旋转机构的结构示意图;
[0012]图4为本实用新型提供的动力引入装置中插入组件的连接关系示意图;
[0013]图5为连续镀膜机腔室内部转架结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细说明。
[0015]本实用新型提供一种适用于连续镀膜机的动力引入装置,如图1所示,所示的动力引入装置包括旋转机构1、进给机构2和插入组件3。所述插入组件3连接在旋转机构I的末端,可以在旋转机构I的驱动下实现旋转,进而带动转架工作(包括自转和公转)。所述旋转机构I可以在进给机构2的驱动下向下运动或者向上运动,进而调整插入组件3的高度。
[0016]所述的进给机构2如图2所示,包括进给电机4、电机联轴器5、弯板6、丝杠7、光杆8、固定压环9、调整架10和支板11,所述进给电机4固定在弯板6上,并且进给电机4的输出轴通过电机联轴器5连接丝杠7。所述进给电机4的输出轴和丝杠7同轴,并且为竖直方向。丝杠7与调整架10之间为螺纹连接,丝杠7在进给电机4驱动下旋转,进而驱动调整架10沿着丝杠7轴向运动。所述固定压环9和调整架10均具有半圆弧形开口结构,二者相对组成圆环形结构,圆环形所在平面为水平面。所述圆环结构的内壁具有圆环形凹槽,所述凹槽直径与旋转电机I上的磁流体密封转轴13上的法兰盘外径配合。所述支板11设置在调整架10的下方,螺纹连接在丝杠7上。支板11具有半圆弧开口,并且支板11的半圆弧开口与调整架10的半圆弧开口在水平面上的投影重合。在所述弯板6上设置有光杆8,光杆8分别穿过调整架10和支板11,并且光杆平行于丝杠7,用于对调整架10和支板11的轴向运动进行限位。
[0017]优选在丝杠7两边分别设置一个光杆8,并且三者共面。
[0018]所述的旋转机构I如图3所示,包括旋转电机12、磁流体密封转轴13和波纹管导管14,三者在竖直方向同轴并顺次固定连接。在旋转电机12的输出轴上通过电机联轴器连接磁流体密封转轴13,磁流体密封转轴13的另一端固定连接波纹管导管14,在旋转电机I的旋转驱动下,磁流体密封转轴13、波纹管导管14同步转动。
[0019]所述磁流体密封转轴13的两端具有法兰盘结构,所述法兰盘结构的外径大于固定压环9和调整架10组成的圆环形结构的内径,小于所述圆环内部凹槽直径。这样,在所述圆环形结构带动磁流体密封转轴13上下运动到指定位置后,磁流体密封转轴13可以在所述凹槽内转动。
[0020]所述插入组件3通过万向节连杆15连接在波纹管导管14的末端,如图4所示,所述的插入组件3的末端设置圆盘结构,并且在圆盘面上设置有四个圆柱形杆状突起16,与转架一端的齿轮箱17配合,实现驱动。所述插入组件3在波纹管导管14和万向节连杆15的带动下,沿竖直轴,在水平面上转动。所述万向节连杆15用于调节插入组件3与转架上齿轮箱17的配合连接,保证插入组件3和齿轮箱17的有限的误差范围内实现配合转动驱动连接。
[0021]所述转架结构如图5所示,包括齿轮箱17、公转机构18、自转机构19和中心连接管21,中心连接管21起到支撑工件20和传输力的作用。当插入组件3上的圆柱形突起16与齿轮箱17内的相应圆柱形孔结构配合后,旋转电机12开始旋转,进而插入组件3带动齿轮箱17将转动力依次传递给公转机构18和自转机构19,所述的自转机构19分别驱动中心连接管20和工件21旋转。
[0022]单体镀膜机动力引入是从齿轮箱17左侧引入,动力装置在封头上,本实用新型将动力从齿轮箱17上侧引入,可以在连续腔室内通入动力,实现工件的自动旋转。使用过程中,每个腔室内都设置转架结构,并且每个转架都对应一个所述的动力弓I入装置,因此可以实现连续腔室内的动力引入。
【权利要求】
1.连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:所述的动力引入装置包括旋转机构、进给机构和插入组件;所述插入组件连接在旋转机构的末端,在旋转机构的驱动下实现旋转,进而带动转架工作;所述旋转机构在进给机构的驱动下向下运动或者向上运动,进而调整插入组件的高度。
2.根据权利要求1所述的连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:所述的进给机构包括进给电机、电机联轴器、弯板、丝杠、光杆、固定压环、调整架和支板,所述进给电机固定在弯板上,并且进给电机到达输出轴通过电机联轴器连接丝杠;丝杠与调整架之间为螺纹连接,丝杠在进给电机驱动下旋转,进而驱动调整架沿着丝杠轴向运动;所述固定压环和调整架均具有半圆弧形开口结构,二者相对组成圆环形结构,所述圆环结构的内壁具有圆环形凹槽,所述凹槽直径与旋转电机上的磁流体密封转轴上的法兰盘外径配合;所述支板设置在调整架的下方,螺纹连接在丝杠上;支板具有半圆弧开口,并且支板的半圆弧开口与调整架的半圆弧开口在水平面上的投影重合;在所述弯板上设置有光杆,光杆分别穿过调整架和支板,并且光杆平行于丝杠,用于对调整架和支板的轴向运动进行限位。
3.根据权利要求2所述的连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:在丝杠两边分别设置一个光杆,并且三者共面。
4.根据权利要求1所述的连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:所述的旋转机构,在旋转电机的输出轴上通过电机联轴器连接磁流体密封转轴,磁流体密封转轴的另一端固定连接波纹管导管,在旋转电机的旋转驱动下,磁流体密封转轴、波纹管导管同步转动。
5.根据权利要求2或4所述的连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:所述磁流体密封转轴的两端具有法兰盘结构,所述法兰盘结构的外径大于固定压环和调整架组成的圆环形结构的内径,小于所述圆环内部凹槽直径。
6.根据权利要求1所述的连续式镀膜机动力引入装置,其特征在于:所述插入组件通过万向节连杆连接在波纹管导管的末端,所述的插入组件的末端设置圆盘结构,并且在圆盘面上设置有四个圆柱形杆状突起,与转架一端的齿轮箱配合,实现驱动。
【文档编号】C23C14/56GK203625464SQ201320836149
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年12月17日 优先权日:2013年12月17日
【发明者】范兵, 张春元, 张广慧, 朱磊, 王静, 杨兴 申请人:沧州天瑞星光热技术有限公司
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