一种蒸发源挡板结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种蒸发源挡板结构包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板；所述金属挡板包括弧形遮挡面，所述遮挡面背向所述蒸发源的一面为凸面，所述遮挡面朝向所述蒸发源的一面为凹面，并且相邻两个所述金属挡板的遮挡面的弧面角度一致；所述遮挡面的两端分别向所述蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿，所述下边沿与所述遮挡面之间形成内凹口。本发明可有效解决在OLED试验线以及量产线上，一个腔体里面同时加热几种材料而导致的材料交叉污染的问题；可有效防止在OLED试验线以及量产线上，蒸发源挡板上面材料沉积多导致材料脱落而引起的堵孔现象发生；可以更好地收集使用过的OLED材料，用于材料回收提纯，降低成本。
【专利说明】一种蒸发源挡板结构
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜【技术领域】，尤其涉及一种蒸发源挡板结构。
【背景技术】
[0002]真空热蒸发镀膜工艺包括沉积速率、真空度、基底温度等多种工艺控制方式，其中沉积速率控制主要决定了光学薄膜的聚集密度和厚度均匀性，对膜厚的控制也有直接的影响，不同的沉积速率可使薄膜的光谱性能和机械性能产生显著的差异。真空蒸发镀膜机主要以调节蒸发电流或者电子束电流来控制材料的蒸发速率，通过挡板的旋转来控制镀膜过程的开始和结束。
[0003]现行大部分的蒸发源挡板都是直接采用金属挡板稍微加工后便投入使用，这样的挡板存在以下几个技术缺点:
[0004]1、对材料的阻挡效果不明显，容易造成材料的交叉污染。如果金属挡板的面积过小，或者当材料蒸发速率比较大的情况，金属挡板对材料的吸附效率不好就会造成材料交叉污染；
[0005]2、吸附的材料容易脱落，造成坩埚堵孔。由于材料沉积到挡板上面的均与性是不一样的，这就会导致沉积到挡板上面的材料的内应力不均衡，重量不均衡，就会很容易导致材料脱落；
`[0006]3、普通的盖式挡板，容易在边沿处形成材料的堆积导致材料的溢出。由于试验线腔体较小，一般设计的盖式挡板面积都比较小，而且又不能保证蒸发源处于挡板正中间位置，这样就会导致材料在边沿处堆积，导致材料脱落或者材料溢出甚至有堵孔现象发生。
【发明内容】
[0007]有鉴于此，本发明的目的是提供一种蒸发源挡板结构，以解决现有技术中的缺陷。
[0008]为了达到上述目的，本发明的目的是通过下述技术方案实现的:
[0009]一种蒸发源挡板结构，其中，包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板；
[0010]所述金属挡板包括弧形遮挡面，所述遮挡面背向所述蒸发源的一面为凸面，所述遮挡面朝向所述蒸发源的一面为凹面，并且相邻两个所述金属挡板的遮挡面的弧面角度一致；
[0011]所述遮挡面的两端分别向所述蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿，所述下边沿与所述遮挡面之间形成内凹口。
[0012]上述蒸发源挡板结构，其中，两条所述下边沿相互平行。
[0013]上述蒸发源挡板结构，其中，相邻两个所述金属挡板的下边沿长度不一致。
[0014]上述蒸发源挡板结构，其中，设相邻两个所述金属挡板的下边沿长度分别为a和b且3 > b，所述遮挡面的弧面角度均为K，所述内凹口的高度为C，则相邻两个所述金属挡板的重叠距离L满足以下公式:
[0015]L= (a_b_c)/tanK。[0016]上述蒸发源挡板结构，其中，两条所述下边沿分别向内倾斜或向外倾斜。
[0017]上述蒸发源挡板结构，其中，所述遮挡面内部铺设有冷却水管，所述冷却水管与外部冷水源连通。
[0018]上述蒸发源挡板结构，其中，所述遮挡面的凹面上还具有若干内凹面，以增加所述凹面的表面积。
[0019]上述蒸发源挡板结构，其中，所述遮挡面的凹面表面粗糙。
[0020]上述蒸发源挡板结构，其中，所述金属档板的内凹口与所述下边沿的交界处设计有倒角。
[0021]与已有技术相比，本发明的有益效果在于:
[0022]I)遮挡面的两端设计成内凹口的样式，可以避免边沿设计成直角样式材料大量堆积在边沿的情况，并且可以通过稍微更改金属挡板的高度与边沿高度的比例来降低两个相邻金属挡板互相碰撞的危险；
[0023]2)在金属挡板的材料里面铺设冷却水管，可以使得金属挡板表面保持在一个较低的温度，增加材料在金属挡板表面的附着率，大大降低材料交叉污染的风险；
[0024]3)增加金属挡板遮挡面的弯曲度和凹面的粗糙度，以增加材料附着面积和材料附着力道，避免材料出现脱落；
[0025]4)金属挡板的遮挡面的背向蒸发源的一面设计成凸面，以防止蒸镀速率很大时出现材料急速堆积而导致材料脱落和堵孔的情况发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构`成对本发明的不当限定。在附图中:
[0027]图1是本发明蒸发源挡板结构优选实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相
互组合。
[0030]本发明一种蒸发源挡板结构包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板，参照图1，金属挡板包括弧形遮挡面4，遮挡面4背向蒸发源的一面为凸面，遮挡面4朝向蒸发源的一面为凹面，并且相邻两个金属挡板的遮挡面4的弧面角度一致。
[0031]遮挡面4的两端分别向蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿6，下边沿6与遮挡面4之间形成内凹口 1，整个金属挡板可以通过一体成型而成。遮挡面4的两端设计成内凹口 I的样式，可以避免边沿设计成直角样式材料大量堆积在边沿的情况，并且可以通过稍微更改金属挡板的高度与边沿高度的比例来降低两个相邻金属挡板互相碰撞的危险。[0032]在本发明的优选实施例中，继续参看图1所示，两条下边沿6相互平行，相邻两个金属挡板的下边沿6长度不一致。设相邻两个金属挡板的下边沿长度分别为a和b且a >b，遮挡面4的弧面角度均为K，内凹口 I的高度为C，则相邻两个金属挡板的重叠距离L在满足公式:L= (a-b_c)/tanK的前提下能最大限度地避免相邻两个金属挡板的碰撞。而通过更改两个相邻金属挡板边沿高度的比例(a:b)，既增大金属挡板的有效使用面积，又能避免相邻两个金属挡板相互碰撞。
[0033]将金属挡板整体设计成一个弧面或者其他样式，保证材料附着面为一个弧面，沉积在金属挡板上面的材料就会形成一个拱形，拱形受到压力时，能把向下压的力向下和向外传递给相邻的部分。拱形各部分受到压力时会产生外推力，拱形就能承受很大的压力，这样就会防止蒸镀速率很大时出现材料急速堆积而导致材料脱落和堵孔的情况。增加金属挡板遮挡面4的弯曲度和凹面的粗糙度，以增加材料附着面积和材料附着力道，同样也可以避免材料出现脱落。
[0034]在本发明的其他实施例中，两条下边沿6可以分别向内略微倾斜或向外略微倾斜，倾斜角度控制在一定范围之内，以保证不会对遮挡效果起到负面影响。
[0035]遮挡面4内部还铺设有冷却水管2,冷却水管2与外部冷水源连通,冷却水管2的粗细根据金属挡板的厚度来设计，较佳选用热传递性能好且不易锈蚀的低成本金属作为冷却水管2的制作材料，比如采用铝管等。在金属挡板的材料里面铺设冷却水管2可以使得金属挡板的表面在整个蒸镀过程中始终可以保持在一个较低的温度，以增加材料在金属挡板表面的附着率，大大降低材料交叉污染的风险。
[0036]在本发明的优选实施例中，遮挡面4的凹面上还具有若干内凹面3，以增加凹面的表面积，并且遮挡面4的凹面表面粗糙。内凹面3优选为相互邻接的圆形凹面，或者是相互邻接的圆弧槽等，圆形凹面或 准备圆弧槽面积可以相同，也可以呈中心面积较大、边缘面积逐渐减小的分布。
[0037]在本发明的优选实施例中，金属档板的内凹口 I与下边沿6的交界处设计有倒角5，倒角5可以为30°，60°或者45°等角度，在现有条件的约束下，倒角5可以增大材料的附着面积，减少清洗金属挡板的难度。
[0038]从上述实施例可以看出，本发明的优势在于:
[0039]可有效解决在OLED试验线以及量产线上，一个腔体里面同时加热几种材料而导致的材料交叉污染的问题；可有效防止在OLED试验线以及量产线上，蒸发源挡板上面材料沉积多导致材料脱落而引起的堵孔现象发生；可以更好地收集使用过的OLED材料，用于材料回收提纯，降低成本。
[0040]以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但本发明并不限制于以上描述的具体实施例，其只是作为范例。对于本领域技术人员而言，任何等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作出的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。
【权利要求】
1.一种蒸发源挡板结构，其特征在于，包括若干个相互邻接但是不接触的金属挡板； 所述金属挡板包括弧形遮挡面(4)，所述遮挡面(4)背向所述蒸发源的一面为凸面，所述遮挡面(4)朝向所述蒸发源的一面为凹面，并且相邻两个所述金属挡板的遮挡面(4)的弧面角度一致； 所述遮挡面(4)的两端分别向所述蒸发源的方向折弯后形成两条相同长度的下边沿(6)，所述下边沿(6)与所述遮挡面(4)之间形成内凹口(I)。
2.根据权利要求1所述蒸发源挡板结构，其特征在于，两条所述下边沿(6)相互平行。
3.根据权利要求2所述蒸发源挡板结构，其特征在于，相邻两个所述金属挡板的下边沿(6)长度不一致。
4.根据权利要求3所述蒸发源挡板结构，其特征在于，设相邻两个所述金属挡板的下边沿(6)长度分别为a和b且a > b，所述遮挡面(4)的弧面角度均为K，所述内凹口( I)的高度为c，则相邻两个所述金属挡板的重叠距离L满足以下公式: L= (a_b_c)/tanKo
5.根据权利要求1所述蒸发源挡板结构，其特征在于，两条所述下边沿(6)分别向内倾斜或向外倾斜。
6.根据权利要求1所述蒸发源挡板结构，其特征在于，所述遮挡面(4)内部铺设有冷却水管(2)，所述冷却水管(2)与外部冷水源连通。
7.根据权利要求1所述蒸发源挡板结构，其特征在于，所述遮挡面(4)的凹面上还具有若干内凹面(3)，以增加所述凹面的`表面积。
8.根据权利要求7所述蒸发源挡板结构，其特征在于，所述遮挡面(4)的凹面表面粗糖。
9.根据权利要求1所述蒸发源挡板结构，其特征在于，所述金属档板的内凹口(I)与所述下边沿(6)的交界处设计有倒角(5)。
【文档编号】C23C14/24GK103834921SQ201410073485
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2014年2月28日 优先权日:2014年2月28日
【发明者】王钊, 林信志, 张斌, 倪蔚德 申请人:上海和辉光电有限公司