一种用于抛光的多路径融合方法
【专利摘要】本发明一种用于抛光的多路径融合方法，属于光学加工【技术领域】，解决了现有多路径加工表面不均匀、加工痕迹残留的技术问题；首先确定两相邻路径的分界线并将其扩充为一定区域；然后对该交界区域内的面形进行分割；将分割后的面形分别归于左右区域，并重新计算两区域的路径与面形；根据两区域的路径与面形分别计算驻留时间；控制机床分别按两路径进行加工；重复以上过程直至加工结果满足要求。本方法计算简单、处理速度快，加工效果好，可充分利用不同路径的优点进行综合加工。
【专利说明】一种用于抛光的多路径融合方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于光学加工【技术领域】，具体涉及一种用于抛光的多路径融合方法。
【背景技术】
[0002] 在光学加工中，通常机床带动抛光模沿一定的路径来对光学元件表面进行加工。 目前常用的加工路径有螺旋路径、光栅扫描路径、同心路径以及在此基础上衍生的其他路 径等。但是每种路径都有其各自的优缺点，如螺旋路径加工效率较高，但是在中心容易产生 奇点，给后续的加工带来困难；而光栅扫描路径则在整个表面范围内加工较均匀，但是加工 效率较低。这样就产生了多种路径相结合使用的需求。然而，简单的路径结合效果并不能 让人满意，如中心区域使用一种路径，而边缘区域使用另一种路径，则由于两种路径本身的 差别，在路径的结合区域会产生比较明显的结合痕迹，而这种结合痕迹在频段上往往属于 中频范围，在后续加工中难以完全去除。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的是提供一种用于抛光的多路径融合方法，解决现有技术多路径结合 痕迹难以完全去除，加工表面不均匀的技术问题。
[0004] 本发明一种用于抛光的多路径融合方法，具体步骤如下：
[0005] 步骤1 :确定多路径中任意两条相邻路径P和路径Q的边界线；
[0006] 步骤2 :将两条相邻路径P和路径Q的临界线进行扩充，扩充的宽度为H，扩充后的 边界线分别为边界线A和边界线B，边界线A在路径P的区域内，边界线B在路径Q的区域 内；
[0007] 步骤3 :将扩充后的边界线A和边界线B之间的面形进行分割，在路径P的区域这 侧的面形为M，在路径Q的区域这侧的面形为N;
[0008] 步骤4 :将面形M与路径P所在区域的面形合并，得到路径P所在区域的总面形α; 将面形N与路径Q所在区域的面形合并，得到路径Q所在区域的总面形β;
[0009] 步骤5 :在合并后的面形区域内重新生成路径P和路径Q，路径P延拓至边界线B 处，路径Q延拓至边界线A处；
[0010] 步骤6 :根据重新生成的路径P以及路径P所在区域的总面形α，计算在路径P中 驻留点的驻留时间；根据重新生成的路径Q以及路径Q所在区域的总面形β，计算在路径 Q中驻留点的驻留时间；
[0011] 步骤7 :根据在路径P和在路径Q中驻留点的驻留时间，控制机床分别沿重新生成 的路径P和路径Q运动，以修正元件的面形误差；
[0012] 步骤8:检测修正后的元件的面形误差，重复步骤1至步骤7,直到元件面形误差满 足加工要求；
[0013] 对多路径中的任意两相邻路径的融合重复步骤1至步骤8。
[0014] 所述多路径中任意两相邻路径的面形分割通过如下方法进行分割：
[0015]
【权利要求】
1. 一种用于抛光的多路径融合方法，其特征在于，具体步骤如下： 步骤1 :确定多路径中任意两条相邻路径P和路径Q的边界线； 步骤2 :将两条相邻路径P和路径Q的临界线进行扩充，扩充的宽度为H，扩充后的边界 线分别为边界线A和边界线B，边界线A在路径P的区域内，边界线B在路径Q的区域内； 步骤3 :将扩充后的边界线A和边界线B之间的面形进行分割，在路径P的区域这侧的 面形为M，在路径Q的区域这侧的面形为N ; 步骤4:将面形M与路径P所在区域的面形合并，得到路径P所在区域的总面形a ;将 面形N与路径Q所在区域的面形合并，得到路径Q所在区域的总面形0 ; 步骤5 :在合并后的面形区域内重新生成路径P和路径Q，路径P延拓至边界线B处，路 径Q延拓至边界线A处； 步骤6 :根据重新生成的路径P以及路径P所在区域的总面形a，计算在路径P中驻 留点的驻留时间；根据重新生成的路径Q以及路径Q所在区域的总面形0，计算在路径Q 中驻留点的驻留时间； 步骤7 :根据在路径P和在路径Q中驻留点的驻留时间，控制机床分别沿重新生成的路 径P和路径Q运动，以修正元件的面形误差； 步骤8 :检测修正后的元件的面形误差，重复步骤1至步骤7,直到元件面形误差满足加 工要求。
2. 根据权利要求1所述的一种用于抛光的多路径融合方法，其特征在于，对多路径中 的任意两相邻路径的融合重复步骤1至步骤8。
3. 根据权利要求1所述的一种用于抛光的多路径融合方法，其特征在于，所述多路径 中任意两相邻路径的面形分割通过如下方法进行分割：
其中，1为在边界线A和边界线B之间的任意一点到边界线A的距离；F (1)为距离边界 线A为1的点处的分割后的面形值；F(A)为A边界处的面形值；〇为分割参数。
【文档编号】B24B13/06GK104493665SQ201410838054
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月30日 优先权日:2014年12月30日
【发明者】王绍志, 刘健, 隋永新, 杨怀江 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所