一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法与流程

文档序号:11768049研发日期:2017年阅读:864来源:国知局
技术简介:
本发明针对镀膜伞内外圈雾度不均问题,发现离子源照射角度与距离差异导致能量分布不均。通过增大加速电压提升离子能量,增加束电流提高单位面积能量密度,从而增强膜层致密度,实现内外圈雾度均匀性改善。
关键词:镀膜伞雾度均匀性,离子源能量优化,膜层致密度提升

本发明涉及一种镀膜技术,具体是一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法。



背景技术:

离子源镀膜原理:镀膜过程中,离子源对膜层表面进行轰击,提升膜层致密度,由于内外圈离子源照射能量有差异,导致膜层致密度不一致,内外圈雾度存在差异。

现有技术存在以下缺点:

问题一:离子源内外圈照射角度不一致,角度越大能量越弱

问题二:离子源到内外圈距离不一致,距离越远能量越弱。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法,包含以下步骤:

a、增大离子源加速电压;

b、增加离子束电流。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:1、通过增大离子源加速电压可以提高离子源能量;2、通过增加离子束电流可以提高离子束密度,使单位面积内的离子源能量增大通过单位面积内离子源能量增大提高膜层致密度,使内圈镜片变透亮。

具体实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

本发明实施例中,一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法,包含以下步骤:

a、增大离子源加速电压;

b、增加离子束电流。

本发明的工作原理是:1、通过增大离子源加速电压可以提高离子源能量;2、通过增加离子束电流可以提高离子束密度,使单位面积内的离子源能量增大通过单位面积内离子源能量增大提高膜层致密度,使内圈镜片变透亮。

对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法,包含以下步骤:A、增大离子源加速电压;B、增加离子束电流,本发明的有益效果是:1、通过增大离子源加速电压可以提高离子源能量;2、通过增加离子束电流可以提高离子束密度,使单位面积内的离子源能量增大通过单位面积内离子源能量增大提高膜层致密度,使内圈镜片变透亮。

技术研发人员:陈伟
受保护的技术使用者:深圳市鼎新光电有限公司
技术研发日:2017.06.13
技术公布日:2017.10.20
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