本发明涉及生产蓝宝石、硅片的双面抛光机，具体涉及一种用于双面抛光机的气囊式加压装置。
背景技术：
目前传统的双面研磨抛光机，上盘加压方式均是由上盘自重和固定在横梁上的气缸的共同作用来实现的。例如：浙江工业大学，李伟等人提出的公开号为cn101049680a的发明专利申请；哈尔滨理工大学，徐雳等人提出公开号为cn105127879a的发明专利申请。
对于压力控制要求不大的研磨抛光机，抬升气缸可以实现对上盘的压力控制，但随着蓝宝石、硅片等一系列高硬度产品的出现，对研磨抛光控制压力要求越来越大，势必要使用大规格的抬升气缸，成本大大增加，压力控制精度也得不到保证。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种能有效提升研磨抛光机的压力控制和提高研磨抛光效率的用于双面抛光机的气囊式加压装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：用于双面抛光机的气囊式加压装置，包括上下两组气囊、升降杠杆、主轴、称重传感器和上盘安装座，所述上下两组气囊设在上盘安装座上，所述称重传感器设在上下两组气囊之间，所述升降杠杆的中部与上盘安装座的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆的后端与称重传感器相连接，所述升降杠杆的前端与双面抛光机的主轴相连接。
进一步，还设有安装板，所述安装板设在上下两组气囊与称重传感器之间。
进一步，所述上下两组气囊的一端与上盘安装座固定连接，另一端与安装板的一端相连接，所述安装板的另一端与称重传感器固连。
进一步，所述升降杠杆的中部通过轴承(优选调心滚针轴承)与上盘安装座的支点相连接。
进一步，所述升降杠杆的后端通过轴承(优选调心球轴承)与称重传感器相连接。
进一步，所述升降杠杆的前端通过滚轮与主轴相连接。
进一步，所述滚轮设在升降杠杆的前端，所述主轴内设有凹槽，所述滚轮安装在主轴的凹槽内。
与现有技术相比，本发明具有能有效提升研磨抛光机的压力控制和提高研磨抛光效率的优点。
附图说明
图1为本发明实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
实施例
参照图1，本实施例包括上下两组气囊1、升降杠杆2、主轴3、称重传感器4、调心球轴承5、调心滚针轴承6、滚轮7、安装板8和上盘安装座9；所述上下两组气囊1设在上盘安装座9上，所述称重传感器4设在上下两组气囊1之间，所述安装板8设在上下两组气囊1与称重传感器4之间，所述升降杠杆2的中部通过调心滚针轴承6与上盘安装座9的支点相连接，可实现旋转运动，所述升降杠杆2的后端通过调心球轴承5与称重传感器4相连接，所述升降杠杆2的前端通过滚轮7与主轴3相连接。
本实施例中，所述上下两组气囊1的一端与上盘安装座9固定连接，另一端与安装板8的一端相连接，所述安装板8的另一端与称重传感器4固连。
本实施例中，所述滚轮7设在升降杠杆2的前端，所述主轴3内设有凹槽，所述滚轮7安装在主轴3的凹槽内。
工作过程中，当上下两组气囊1动作时，带动升降杠杆2运动，进而通过滚轮7带动主轴3在连接筒中上下运动，主轴3与双面抛光机的上盘固连，从而实现上盘的抬升或加压动作。