一种可调节的基片装夹机构的制作方法

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空环境下的动力传输装置。

背景技术：

在卫浴产品、汽车装饰、五金工具、五金模具、电子行业用品等的单体镀膜机中，基片规格大小各异，而现有的基片装夹机构不能兼容不同规格的产品，所以，不同规格的产品需要采用不同的装夹机构，同时，现有的基片装夹机构挂片少、无效区多，从而影响靶材的耗损和产品加工的效率。

技术实现要素：

本发明针对上述现有技术中存在的问题，提供一种可调节的基片装夹机构，可兼容不同规格的产品，节约安装时间、提高生产效率。

本发明采用的技术方案如下：一种可调节的基片装夹机构，包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹在相邻的两个挂钩组件的挂钩上，整个基片装夹机构通过上部连接框架、下部连接框架安装在镀膜腔内。

进一步地，所述挂杆两端通过抱箍和螺栓与圆杆连接。

进一步地，所述上部连接框架上设有连接杆ⅰ，连接杆ⅰ上设有导向铜套。

进一步地，所述下部连接框架上设有连接杆ⅱ，连接杆ⅱ上设有固定销。

本发明的基片装夹机构，采用外框统一、内部调整的方式，在生产过程中不需要更换夹具就能实现不同产品的安装，挂钩组件活动连接在两边的两根圆杆上，使得挂钩组件可以在圆杆上上下移动，以适用不同的基片规格，更换挂钩组件可以挂不超过外框尺寸的多种规格的基片，更换方便，大大节约了安装时间，挂钩组件固定基片的同时也起到了配重的作用，从而保证工件在真空室高速运转时的平稳性，工件与工件之间通过调整挂钩组件可以把间隙调整到很小，这样减少了工件之间的无效区域，保证了高效的溅射速率，此结构简单方便，装夹时间短，有效的提高了运行效率。上部连接框架通过连接杆ⅰ上的导向铜套与附属件连接，有效的降低了装夹机构的磨损，下部连接杆ⅱ上设置一根固定销，固定销可以保证装夹机构的平稳。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1所示，本实施例的一种可调节的基片装夹机构，包括上部连接框架3、下部连接框架7，上部连接框架3、下部连接框架7之间通过两根圆杆4连接，在两根圆杆4之间设有多个挂钩组件5，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别通过抱箍和螺栓与圆杆4活动连接，使得挂钩组件5可以在圆杆4上上下移动，在挂杆上设有多个挂钩，基片6装夹在相邻的两个挂钩组件5的挂钩上。整个基片装夹机构通过上部连接框架3、下部连接框架7安装在镀膜腔内。所述上部连接框架上设有连接杆ⅰ2，连接杆ⅰ2上设有导向铜套1，上部连接框架3通过连接杆ⅰ2上的导向铜套1与附属件连接，有效的降低了装夹机构的磨损，下部连接框架7上设有连接杆ⅱ8，连接杆ⅱ8上设有固定销9，固定销9可以保证装夹机构的平稳。

本发明的基片装夹机构，采用外框统一、内部调整的方式，在生产过程中不需要更换夹具就能实现不同产品的安装，挂钩组件活动连接在两边的两根圆杆上，使得挂钩组件可以在圆杆上上下移动，以适用不同的基片规格，更换挂钩组件可以挂不超过外框尺寸的多种规格的基片，更换方便，大大节约了安装时间，挂钩组件固定基片的同时也起到了配重的作用，从而保证工件在真空室高速运转时的平稳性，工件与工件之间通过调整挂钩组件可以把间隙调整到很小，这样减少了工件之间的无效区域，保证了高效的溅射速率。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本发明所属领域的技术人员将会想到本发明的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本发明不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种可调节的基片装夹机构，包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹在相邻的两个挂钩组件的挂钩上，整个基片装夹机构通过上部连接框架、下部连接框架安装在镀膜腔内。本发明采用外框统一、内部调整的方式，在生产过程中不需要更换夹具就能实现不同产品的安装，可以适用不同的基片规格，通过调整挂钩组件可以把间隙调整到很小，减少了工件之间的无效区域，挂钩组件同时也起到了配重的作用。

技术研发人员：舒逸;刘光斗;李赞
受保护的技术使用者：湖南玉丰真空科学技术有限公司
技术研发日：2018.12.15
技术公布日：2019.02.22