本实用新型涉及真空加工技术领域，具体涉及一种机械式自定位样品托。
背景技术：
磁控溅射是物理气相沉积（physicalvapordeposition，pvd）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。
在真空条件下，对机器的性能要求十分严格，操作人员的规范操作也很重要，由于存在机器误差，在工作的时候，样品托盘往往不能完全和支架上的凹槽完全重合，这时候需要一些柔性部件帮助样品托盘顺利进入支架上的凹槽中。
技术实现要素：
针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种机械式自定位样品托，能够在设备存在误差的情况下有效将基片架放到样品盘支架上，大幅提高了工作效率。
本实用新型的技术方案如下:
一种机械式自定位样品托，其特征在于，包括样品盘、基片储备盘、基片架、基片及压紧机构，所述基片固定设置在基片架上，所述样品盘上设有定位架，所述基片架通过压紧机构设置在基片储备盘上，所述基片架的上设有销孔，所述基片架端部设有圆柱体托，并通过销轴与销孔的配合实现基片架与圆柱体托的铰链，使圆柱体托与基片架之间能发生相对转动，从而实现基片架与定位架的配合安装。
所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述圆柱体托的左右位置处分别设有左弹簧及右弹簧，所述左弹簧及右弹簧一端分别与圆柱体托相连，另一端分别与基片架相连。
所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述基片架采用拱门型结构，包括半圆形架体及长方形架体，所述基片架的边缘处设有楔形凸起。
所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述定位架包括楔形支架及设置在楔形支架顶部的限位盖板，所述基片架通过楔形凸起与定位架相契合。
所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述圆柱体托端部设有长方体托。
所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述压紧机构包括压杆、三角支架、电磁铁及压杆弹簧，所述压杆设置在基片储备盘上，所述电磁铁及压杆弹簧分别设置在基片储备盘上，并与压杆末端位置相对应，所述压杆与三角支架活动连接，构成杠杆结构，从而实现对长方体托进行压紧。
本实用新型的有益效果：在圆柱体托和基片架之间设有柔性部件，使得圆柱体托和基片架之间可以发生相对转动，使得安装过程更加快捷高效。
附图说明
图1为本实用新型的整体示意图；
图2为本实用新型的基片架安装示意图；
图3为本实用新型的基片架卸载示意图；
图4为本实用新型的基片架整体示意图；
图中：1-样品盘，102-支架，103-基片盘边缘凸起，2-基片架，202-基片，3-圆柱体托，401-右弹簧，402-左弹簧，5-长方体托，6-压杆，7-三角支架，8-电磁铁，9-压杆弹簧，10-基片储备盘。
具体实施方式
以下结合说明书附图，对本实用新型的技术方案做进一步的描述。
如图1-4所示，一种机械式自定位样品托，包括样品盘1、基片储备盘10、基片架2、基片202及压紧机构，基片202固定设置在基片架2上，样品盘1上设有定位架，基片架2通过压紧机构设置在基片储备盘10上，基片架2的上设有销孔，基片架2端部设有圆柱体托3，并通过销轴与销孔的配合实现基片架2与圆柱体托3的铰链，使圆柱体托3与基片架2之间能发生相对转动，从而实现基片架2与定位架的配合安装。
圆柱体托3的左右位置处分别设有左弹簧402及右弹簧401，所述左弹簧402及右弹簧401一端分别与圆柱体托3相连，另一端分别与基片架2相连；由于弹簧的弹性作用，圆柱体托3的轴线在不工作工况下与基片架2的一端的端面保持垂直，但是在外力的作用下，圆柱体托3相对于基片架2依然可以转动一定的角度。并且在弹簧达到弹性极限的时候，即在外力较大的情况下，长方体托5和压杆6的接触表面摩擦力不足以抵消外力，其接触表面也能够发生相对转动。
基片架2采用拱门型结构，包括半圆形架体及长方形架体，所述基片架2的边缘处设有楔形凸起。
定位架包括楔形支架102及设置在楔形支架102顶部的限位盖板103，所述基片架2通过楔形凸起与定位架相契合。
圆柱体托3端部设有长方体托5，圆柱体托3的一端可以插入长方体托5内部，并和长方体托5固定连接，圆柱体托3用于与压紧机构配合。
压紧机构包括压杆6、三角支架7、电磁铁8及压杆弹簧9，压杆6设置在基片储备盘10上，电磁铁8及压杆弹簧9分别设置在基片储备盘10上，并与压杆6末端位置相对应，压杆6与三角支架7活动连接，构成杠杆结构，从而实现对长方体托5进行压紧。
工作过程：
在不工作工况下，压杆弹簧9处于压缩状态，压杆6与压杆弹簧9接触，使压杆6和压杆弹簧9接触的一端受到向上的力，使得压杆6的另一端有向下运动的趋势，从而压紧长方体托5。长方体托5在受到压杆6向下的压力时与基片储备盘10紧密贴合，从而达到固定基片架2的作用。在工作过程中，基片架2慢慢向支架102靠近。但是由于存在机器误差，基片架2与支架102往往不能完全重合，此时基片架2的半圆形端起作用，基片架2继续向支架102方向缓缓移动，因为右弹簧401和左弹簧402具有弹性，所以基片架2可以与圆柱体托3发生小角度的相对转动，转动合适的角度使得基片架2可以顺利地进入支架102中。随后电磁铁8开始工作，电磁铁吸引压杆6的右端，压杆6的右端受到电磁铁的吸引力向下运动，压杆6的左端向上运动并松开长方体托5,圆柱体托3受到弹簧的力，保持与基片架2的端面垂直状态。然后基片储备盘10向右缓缓移动远离样品盘1，使得基片架2顺利连接在支架102上面，上述过程为转移基片架的操作。
卸载基片202的过程与上述装载基片202的过程正好相反。首先样品盘1转到合适的位置，然后基片储备盘10慢慢向样品盘1靠近。当基片储备盘10处于合适的位置时，电磁铁8工作。吸引压杆6的右端。弹簧受到压缩。此时长方体托5缓缓进入压杆6的左端，随后电磁铁停止工作，受到压缩的弹簧向上顶起压杆6的右端，此时压杆6的左端向下运动压紧长方体托5，长方体托5与基片储备盘10紧密贴合。基片储备盘10缓缓向右运动，将2与样品盘1慢慢分离，最终完成卸载基片202的操作。
1.一种机械式自定位样品托，其特征在于，包括样品盘（1）、基片储备盘（10）、基片架（2）、基片（202）及压紧机构，所述基片（202）固定设置在基片架（2）上，所述样品盘（1）上设有定位架，所述基片架（2）通过压紧机构设置在基片储备盘（10）上，所述基片架（2）的上设有销孔，所述基片架（2）端部设有圆柱体托（3），并通过销轴与销孔的配合实现基片架（2）与圆柱体托（3）的铰链，使圆柱体托（3）与基片架（2）之间能发生相对转动，从而实现基片架（2）与定位架的配合安装。
2.根据权利要求1所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述圆柱体托（3）的左右位置处分别设有左弹簧（402）及右弹簧（401），所述左弹簧（402）及右弹簧（401）一端分别与圆柱体托（3）相连，另一端分别与基片架（2）相连。
3.根据权利要求1所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述基片架（2）采用拱门型结构，包括半圆形架体及长方形架体，所述基片架（2）的边缘处设有楔形凸起。
4.根据权利要求3所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述定位架包括楔形支架（102）及设置在楔形支架（102）顶部的限位盖板（103），所述基片架（2）通过楔形凸起与定位架相契合。
5.根据权利要求1所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述圆柱体托（3）端部设有长方体托（5）。
6.根据权利要求5所述的一种机械式自定位样品托，其特征在于，所述压紧机构包括压杆（6）、三角支架（7）、电磁铁（8）及压杆弹簧（9），所述压杆（6）设置在基片储备盘（10）上，所述电磁铁（8）及压杆弹簧（9）分别设置在基片储备盘（10）上，并与压杆（6）末端位置相对应，所述压杆（6）与三角支架（7）活动连接，构成杠杆结构，从而实现对长方体托（5）进行压紧。