一种射频溅射蓝色膜层的方法与流程

1.本发明涉及一种射频溅射蓝色膜层的方法。


背景技术：

2.当前，随着消费水平升级，人们对生活品质要求越来越高，对于消费产品的外观多样化、个性化的需求与日俱增，多彩装饰性膜层越来越受到消费者青睐。以厨卫家居产品为例，产品色系从过往的单调的镀铬银色系，逐步扩展到如今黑色系、金色系等，但蓝色系装饰膜因工艺难度大、工艺不成熟等问题尚很少见于市场，具备较大开发价值。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种射频溅射蓝色膜层的方法。
4.本发明通过以下技术方案来实现：一种射频溅射蓝色膜层的方法，包括步骤如下：
5.步骤一：清洁基材，将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；
6.步骤二：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至5.0*10
‑3～1.0*10
‑2pa；
7.步骤三：通入惰性气体，使得腔体内的真空度维持在3.0*10
‑1～5.0*10
‑1pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属zr进行打底处理；
8.步骤四：通入惰性气体和氮气，使腔体内真空度维持在1.0～1.6pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属氮化物zrn。
9.较佳的，步骤三中，将沉积金属zr的沉积时间控制为5～10min。
10.较佳的，步骤四中，将沉积金属氮化物zrn的沉积时间控制为20～30min。
11.较佳的，步骤三或步骤四中，采用射频溅射方式进行镀膜，靶材为锆靶。
12.较佳的，所述基材为金属或非金属的材料。
13.较佳的，步骤三或步骤四中，调节输出功率为100w。
14.较佳的，步骤三中的惰性气体为氩气，所述氩气的体积流量控制为5sccm。
15.较佳的，步骤四中的惰性气体体积流量为5sccm，氮气的体积流量为8sccm。
16.本发明的蓝色膜层采用射频溅射方式对金属或非金属基材进行镀膜，在镀膜过程中，基材无需施加偏压，均能够在金属或非金属材料表面获得蓝色膜层，且所获得的蓝色膜层颜色均匀；再者，步骤四中所镀的蓝色膜层成分为zrn，镀膜过程中除了通入惰性气体外，只需要通入反应气体氮气即可，整个镀膜过程只需使用锆靶，膜层结构简单，工艺参数可稳定重现，膜层稳定，工艺简便，可靠性高。
具体实施方式
17.下面将结合本发明实施例中对发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
18.一种射频溅射蓝色膜层的方法，其可将蓝色膜层溅镀于各种金属或非金属的材料表面，其镀膜机可利用例如双钯磁控溅射仪对金属或非金属材料表面进行射频溅镀，其具体实施步骤如下：
19.步骤一：清洁基材，将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；
20.步骤二：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至5.0*10
‑3～1.0*10
‑2pa；
21.步骤三：通入惰性气体(例如氩气，其体积流量控制为5sccm)，使得腔体内的真空度维持在3.0*10
‑1～5.0*10
‑1pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率(例如为100w)，沉积金属zr 5～10min进行打底处理；
22.步骤四：通入惰性气体和氮气，使腔体内真空度维持在1.0～1.6pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率(例如为100w)，沉积金属氮化物zrn20
‑
30min，获得颜色均匀的蓝色膜层。较佳的，将上述惰性气体为氩气，控制氩气的体积流量为5sccm，氮气的体积流量为8sccm。
23.本发明的蓝色膜层采用射频溅射方式对金属或非金属基材进行镀膜，在镀膜过程中，基材无需施加偏压，均能够在金属或非金属材料表面获得蓝色膜层，且所获得的蓝色膜层颜色均匀；再者，步骤四中所镀的蓝色膜层成分为zrn，镀膜过程中除了通入惰性气体外，只需要通入反应气体氮气即可，整个镀膜过程只需使用锆靶，膜层结构简单，工艺参数可稳定重现，膜层稳定，工艺简便，可靠性高。
24.实施例一
25.一种射频溅射蓝色膜层的方法，其步骤如下：
26.步骤1：采用abs基材测试板，表面电镀铜镍铬并拉丝，经表面清洁处理后置于镀膜机腔体中的转台上；
27.步骤2：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至8.0*10
‑3pa；
28.步骤3：通入氩气5sccm，使腔体内真空度维持在4.6*10
‑1pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率为100w，沉积金属zr 10min进行打底处理；
29.步骤4：通入氩气8sccm，氮气8sccm，使腔体内真空度维持在1.5pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率为100w，沉积金属氮化物zrn 30min，获得颜色均匀的蓝色膜层。采用分光光度计在镀膜后的abs基材表面取对角线中心及其上下左右2cm处测试其lab数值，数据如下：
[0030][0031]
实施例二
[0032]
一种射频溅射蓝色膜层的方法，其步骤如下：
[0033]
步骤1：采用abs基材测试板，表面电镀铜镍铬(光亮面)，经表面清洁处理后置于镀膜机腔体中的转台上；
[0034]
步骤2：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至8.0*10
‑3pa；
[0035]
步骤3：通入氩气5sccm，使腔体内真空度维持在4.6*10
‑1pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率为100w，沉积金属zr 5min打底；
[0036]
步骤4：通入氩气8sccm，氮气8sccm，使腔体内真空度维持在1.5pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率为100w，沉积金属氮化物zrn 25min，获得颜色均匀的蓝色膜层。采用分光光度计在abs基材表面取对角线中心及其上下左右2cm处测试其lab数值，数据如下：
[0037][0038]
本发明采用射频溅射氮化锆的方法，制备出颜色均匀的蓝色膜层，工艺参数简单可控，在装饰镀膜领域具备广阔的市场前景；从实施例一和实施例二的lab数值可以很容易看出，其所获得蓝色膜层颜色均匀性较好，具有较高的应用价值。
[0039]
上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。


技术特征：
1.一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，包括步骤如下：步骤一：清洁基材，将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；步骤二：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至5.0*10
‑3～1.0*10
‑2pa；步骤三：通入惰性气体，使得腔体内的真空度维持在3.0*10
‑1～5.0*10
‑1pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属zr进行打底处理；步骤四：通入惰性气体和氮气，使腔体内真空度维持在1.0～1.6pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属氮化物zrn。2.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤三中，将沉积金属zr的沉积时间控制为5～10min。3.根据权利要求1或2任一所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤四中，将沉积金属氮化物zrn的沉积时间控制为20～30min。4.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤三或步骤四中，采用射频溅射方式进行镀膜，靶材为锆靶。5.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，所述基材为金属或非金属的材料。6.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤三或步骤四中，调节输出功率为100w。7.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤三中的惰性气体为氩气，所述氩气的体积流量控制为5sccm。8.根据权利要求1所述的一种射频溅射蓝色膜层的方法，其特征在于，步骤四中的惰性气体体积流量为5sccm，氮气的体积流量为8sccm。

技术总结
本发明公开了一种射频溅射蓝色膜层的方法，包括步骤如下：步骤一：清洁基材，将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；步骤二：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至5.0*10


技术研发人员：黄先杰 蒋义锋 乔永亮 潘弦 陈招豪
受保护的技术使用者：厦门建霖健康家居股份有限公司
技术研发日：2021.06.08
技术公布日：2021/10/29