一种带搅拌的蒸发源装置的制作方法

文档序号:30796374发布日期:2022-07-19 20:05阅读:90来源:国知局
一种带搅拌的蒸发源装置的制作方法

1.本实用新型涉及蒸发镀膜领域,具体为一种带搅拌的蒸发源装置。


背景技术:

2.蒸发镀膜,vtd等类似工艺设备利用一些材料加热融成液态后,液态材料蒸发成蒸汽,沉积在基材上,实现镀膜;此类设备的一个关键器件是蒸发器,蒸发器的功能,就是容器受热后,容器内的材料受热融化成液态,液态材料的蒸发成蒸汽,镀膜速度取决于温度,材料的饱和蒸汽压,液面的面积和液面的表面状态;有些材料,如se, li等容易和空气的氮气和氧气等反应,即便在高真空下,腔体内也会有少量的残余气体,也会在液面上形成一层反应物,这个反应物会改变液面的表面状态,而改变蒸发器的蒸发速度,造成蒸发速度的不稳定,为此提供了一种带搅拌的蒸发源装置。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种带搅拌的蒸发源装置,以解决上述背景技术提出的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种带搅拌的蒸发源装置,包括带加热的蒸发容器,所述带加热的蒸发容器的顶部安装有搅拌电机,所述搅拌电机上连接有搅拌轴,所述带加热的蒸发容器的内部设有液体物料,所述液体物料的顶部设有蒸发液面,所述带加热的蒸发容器的顶部一侧连接有蒸汽输送管道。
5.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述搅拌电机通过螺栓安装在带加热的蒸发容器的顶部上,所述搅拌轴通过联轴器与搅拌电机的转轴固定相连。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述搅拌轴上焊接有搅拌杆。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述蒸汽输送管道与带加热的蒸发容器通过连接法兰固定相连。
8.本实用新型的有益效果是:该装置在进行镀膜的时候,通过对液体物料进行搅拌的方式,从而破坏液体物料表面形成的氧化膜,达到稳定蒸发的效果,保障镀膜质量。
附图说明
9.图1为本实用新型的结构示意图。
10.图中:带加热的蒸发容器1、搅拌轴2、搅拌电机3、液体物料4、蒸汽输送管道5、蒸发液面6。
具体实施方式
11.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
12.实施例:请参阅图1,本实用新型提供一种技术方案:一种带搅拌的蒸发源装置,包括带加热的蒸发容器1,带加热的蒸发容器1的顶部安装有搅拌电机3,搅拌电机3上连接有搅拌轴2,带加热的蒸发容器1的内部设有液体物料4,液体物料4的顶部设有蒸发液面6,带加热的蒸发容器1的顶部一侧连接有蒸汽输送管道5。
13.搅拌电机3通过螺栓安装在带加热的蒸发容器1的顶部上,搅拌轴2通过联轴器与搅拌电机3的转轴固定相连。
14.搅拌轴2上焊接有搅拌杆。
15.蒸汽输送管道5与带加热的蒸发容器1通过连接法兰固定相连。
16.工作原理:一种带搅拌的蒸发源装置,包括带加热的蒸发容器1,使用的时候,通过接通搅拌电机3的电源,让搅拌电机3通电工作从而带动搅拌轴2上的搅拌杆转动,利用搅拌杆转动从而对液体物料4进行搅拌,搅拌的时候对液体物料4表面的氧化膜进行破坏,让蒸发更加稳定,与此同时,带加热的蒸发容器1在进行加热的时候,液体物料4受热会进行蒸发,让物料蒸汽通过蒸汽输送管道5输送到镀膜工件上。
17.上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征:
1.一种带搅拌的蒸发源装置,包括带加热的蒸发容器(1),其特征在于:所述带加热的蒸发容器(1)的顶部安装有搅拌电机(3),所述搅拌电机(3)上连接有搅拌轴(2),所述带加热的蒸发容器(1)的内部设有液体物料(4),所述液体物料(4)的顶部设有蒸发液面(6),所述带加热的蒸发容器(1)的顶部一侧连接有蒸汽输送管道(5)。2.根据权利要求1所述的一种带搅拌的蒸发源装置,其特征在于:所述搅拌电机(3)通过螺栓安装在带加热的蒸发容器(1)的顶部上,所述搅拌轴(2)通过联轴器与搅拌电机(3)的转轴固定相连。3.根据权利要求1所述的一种带搅拌的蒸发源装置,其特征在于:所述搅拌轴(2)上焊接有搅拌杆。4.根据权利要求1所述的一种带搅拌的蒸发源装置,其特征在于:所述蒸汽输送管道(5)与带加热的蒸发容器(1)通过连接法兰固定相连。

技术总结
本实用新型公开了一种带搅拌的蒸发源装置,包括带加热的蒸发容器,所述带加热的蒸发容器的顶部安装有搅拌电机,所述搅拌电机上连接有搅拌轴,所述带加热的蒸发容器的内部设有液体物料,所述液体物料的顶部设有蒸发液面,所述带加热的蒸发容器的顶部一侧连接有蒸汽输送管道,所述搅拌电机通过螺栓安装在带加热的蒸发容器的顶部上,所述搅拌轴通过联轴器与搅拌电机的转轴固定相连,所述蒸汽输送管道与带加热的蒸发容器通过连接法兰固定相连;该装置在进行镀膜的时候,通过对液体物料进行搅拌的方式,从而破坏液体物料表面形成的氧化膜,达到稳定蒸发的效果,保障镀膜质量。保障镀膜质量。保障镀膜质量。


技术研发人员:刘晓东
受保护的技术使用者:上海晶普材料科技有限公司
技术研发日:2021.12.31
技术公布日:2022/7/18
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