层体结构的制作方法

文档序号:37261514发布日期:2024-03-12 20:41阅读:11来源:国知局
层体结构的制作方法

本发明涉及机械制造领域,尤其涉及一种表面均匀致密、耐腐蚀、耐磨的层体机构。


背景技术:

1、在机械加工领域,现阶段对于金属零件表面的防腐处理,通常采用锌和铬等材料来完成,这些材料往往不环保,而且对于复杂工件的内外表面,也很难镀均匀。

2、类金刚石碳(dlc)涂层具有高硬度、优良的抗摩擦性能化学稳定性等优点,然而,直接在工件上形成dlc涂层容易导致镀膜不均匀,耐磨性和耐腐蚀性不佳,且结合力不足的问题。

3、因此,亟待提供一种层体结构以克服以上缺陷。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种层体结构,其在金属基层上依次形成过渡层及dlc层,各层结合力强,表面dlc层均匀致密,耐磨性及耐腐蚀性高,从而保证金属基层的质量。

2、为实现上述目的,本发明的层体结构,包括:

3、金属基层;

4、溅射沉积形成于所述金属基层的过渡层;以及

5、沉积在所述过渡层上的类金刚石碳(dlc)层。

6、与现有技术相比,本发明的层体结构,在金属基层上依次形成过渡层及dlc层,各层结合力强,表面dlc层均匀致密,耐磨性及耐腐蚀性高,从而保证金属基层的质量。

7、较佳地,所述过渡层包括cr和/或ti材料。

8、较佳地,所述过渡层的厚度为0.8mm-1.0mm。

9、较佳地,所述dlc涂层的厚度为0.5mm-1.0mm。

10、较佳地,所述过渡层及所述dlc层均在真空镀膜室采用离子束进行溅镀形成。



技术特征:

1.一种层体结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的层体结构,其特征在于:所述过渡层包括cr和/或ti材料。

3.如权利要求1所述的层体结构,其特征在于:所述过渡层的厚度为0.8mm-1.0mm。

4.如权利要求1所述的层体结构,其特征在于:所述dlc涂层的厚度为0.5mm-1.0mm。

5.如权利要求1所述的层体结构,其特征在于:所述过渡层及所述dlc层均在真空镀膜室采用离子束进行溅镀形成。


技术总结
本发明的层体结构,包括:金属基层;溅射沉积形成于所述金属基层的过渡层;以及沉积在所述过渡层上的类金刚石碳层。本发明在金属基层上依次形成过渡层及DLC层,各层结合力强,表面DLC层均匀致密,耐磨性及耐腐蚀性高,从而保证金属基层的质量。

技术研发人员:刘中武
受保护的技术使用者:东莞新科技术研究开发有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/11
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