多功能真空镀膜机的制作方法

本发明涉及蒸发镀膜的，尤其涉及一种多功能真空镀膜机，其既可以在聚酯薄膜上镀膜，也可以在硬质塑料基片上镀膜。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，一般包括：蒸发镀膜和溅射类镀膜。

2、需要镀膜的被称为基材，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。

3、蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

4、真空镀膜机是比较成熟的技术，但是均只能针对某类特定基材进行镀膜。

技术实现思路

1、为克服现有技术的缺陷，本发明要解决的技术问题是提供了一种多功能真空镀膜机，其既可以在聚酯薄膜上镀膜，也可以在硬质塑料基片上镀膜。

2、本发明的技术方案是：这种多功能真空镀膜机，其包括：真空抽气系统(1)、真空室(2)、pet基材卷绕系统(3)、硬质基材旋转系统(4)、蒸发系统(5)、电气控制系统(6)、水冷却系统(7)；

3、真空抽气系统均布于真空室侧面并避开大门位置，真空抽气系统通过真空室侧面法兰与真空室相连接，真空室为圆柱体且开有用于进出硬质基材的大门(21)，大门上开有用于进出pet基材卷绕系统的小门(22)；蒸发系统布置于真空室底部，水冷却系统的水管均匀布置于真空室内壁，通过管道连接真空室外的制冷装置；pet基材卷绕系统两端固定于真空室侧面，硬质基材旋转系统通过转轴固定于真空室顶部，pet基材卷绕系统与硬质基材旋转系统在真空室内同时安装，根据镀膜需要选择一种安装；

4、镀pet材料时，将蒸发系统安装成直线排列，pet基材卷绕系统通过真空室小门装入真空室内并通过两端的端面固定于真空室内；将真空室密闭通过电气控制系统控制真空抽气系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及pet基材卷绕系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、pet基材卷绕系统速度来控制膜层厚度；

5、镀硬质基材时，将蒸发系统按需求移动到安装位置，将硬质基材固定于硬质基材旋转系统，硬质基材旋转系统通过真空室大门装入真空室，将硬质基材旋转系统固定于真空室顶部的旋转轴上，关闭真空室门；通过电气控制系统控制抽真空系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及硬质基材旋转系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、硬质基材旋转速度及镀膜时间控制膜层厚度。

6、本发明镀pet材料时，将蒸发系统安装成直线排列，pet基材卷绕系统通过真空室小门装入真空室内并通过两端的端面固定于真空室内；将真空室密闭通过电气控制系统控制真空抽气系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及pet基材卷绕系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、pet基材卷绕系统速度来控制膜层厚度；镀硬质基材时，将蒸发系统按需求移动到安装位置，将硬质基材固定于硬质基材旋转系统，硬质基材旋转系统通过真空室大门装入真空室，将硬质基材旋转系统固定于真空室顶部的旋转轴上，关闭真空室门；通过电气控制系统控制抽真空系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及硬质基材旋转系统开始镀膜，通过控制蒸发系统功率、硬质基材旋转速度及镀膜时间控制膜层厚度；从而实现既可以在聚酯薄膜上镀膜，也可以在硬质塑料基片上镀膜。

技术特征：

1.多功能真空镀膜机，其特征在于：其包括：真空抽气系统(1)、真空室(2)、pet基材卷绕系统(3)、硬质基材旋转系统(4)、蒸发系统(5)、电气控制系统(6)、水冷却系统(7)；

2.根据权利要求1所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：该多功能真空镀膜机还包括裁剪膜系统，蒸发系统还包括膜厚控制装置。

3.根据权利要求2所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述真空室的表面抛光，为左右滑动方式开门。

4.根据权利要求1-3任一项所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述pet基材卷绕系统采用三电机恒张力卷绕控制方式。

5.根据权利要求4所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述硬质基材旋转系统的旋转轴在真空室的顶部，采用外密封方式，旋转电机是变频电机，硬质基材从旋转导轨进入真空室后固定于导轨上。

6.根据权利要求5所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统的电子枪为独立的若干个电子枪，均具有显示输出电流和功率的单元。

7.根据权利要求6所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统还包括水冷盒，镀pet基材时将真空室分隔为上层的基材卷绕室和下层的蒸发镀膜室。

8.根据权利要求7所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统还包括镀硬质基材时使用的挡板。

9.根据权利要求8所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统还包括霍尔离子源，其在镀膜前对硬质基材进行清洗。

10.根据权利要求9所述的多功能真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发冷却、隔板冷却、真空泵冷却均包括充分冷却管路，在进水管路设有断水报警装置。

技术总结
多功能真空镀膜机，既可以在聚酯薄膜上镀膜，也可以在硬质塑料基片上镀膜。镀PET材料时，将蒸发系统安装成直线排列，PET基材卷绕系统通过真空室小门装入真空室内并通过两端的端面固定于真空室内；将真空室密闭通过电气控制系统控制真空抽气系统对真空室进行抽真空，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及PET基材卷绕系统开始镀膜；镀硬质基材时，将蒸发系统按需求移动到安装位置，将硬质基材固定于硬质基材旋转系统，硬质基材旋转系统通过真空室大门装入真空室，将硬质基材旋转系统固定于真空室顶部的旋转轴上，关闭真空室门，当真空度达到工艺设定要求时开启蒸发系统及硬质基材旋转系统开始镀膜。

技术研发人员：马斌,徐雅冬,马清亮,马晓,李秀凯,马新磊,李海琳
受保护的技术使用者：北京航宇荣康科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7