一种新型真空设备用传动辊道的制作方法

本发明涉及镀膜技术应用领域，具体为一种新型真空设备用传动辊道。

背景技术：

1、真空镀膜传动系统是真空镀膜设备的核心部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空室中进行,在真空镀膜室中安装不同的功能部件，真空镀膜设备的传动系统带动基板就能实现不同的镀膜工艺，真空镀膜设备传动系统的结构设计应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，且应具有良好的传动平稳性，才能保证镀膜基板的加工质量，真空传动系统中传动辊道的结构设计是整个传动系统的关键部件，起到至关重要。真空辊道的绝缘性能、绝缘的稳定性等直接影响着镀膜设备生产的产品质量性能；

2、目前真空镀膜设备传动辊道绝缘性差、绝缘不稳定，不能灵活互换，加工制造、装配困难、传动稳定性差，造成镀膜产品质量差，镀膜维护次数频繁，获得的产品质量不稳定，产能效率低，使用成本高，不能满足目前高质量镀膜工艺生产需求。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种新型真空设备用传动辊道，解决了产品质量不稳定，产能效率低，使用成本高，不能满足目前高质量镀膜工艺生产需求的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊，所述传动辊的外壁一端固定连接有辊筒，所述辊筒的外壁固定连接有上下对称的o型圈，所述传动辊的内部中心处设置与销轴，所述辊筒的内壁设置有第一绝缘套。

3、优选的，所述第一绝缘套的下表面一侧设置有第一轴头，所述第一轴头的下表面设置有第二绝缘套。

4、优选的，所述第二绝缘套设置在辊筒的内部。

5、优选的，所述传动辊的外壁另一端设置有第二轴头。

6、优选的，所述辊筒的内部开设有阻隔槽。

7、优选的，所述第二绝缘套和第一绝缘套均采用特殊绝缘材料。

8、优选的，所述第一轴头和第二轴头的之间设置有传动辊，所述第一绝缘套和第二绝缘套的之间设置有第二轴头。

9、优选的，一种新型真空设备用传动辊道的使用方法，包括以下步骤；

10、s1、首先将传动辊的轴头与滚轮通过第一绝缘套和第二绝缘套进行连接，使第一轴头和第二轴头与辊筒起到绝缘，为第一轴头和第二轴头与辊筒牢固固定，采用销轴穿过辊筒与轴头，销轴中与轴头接触的地方通过绝缘套隔离，避免轴头与辊筒导通，绝缘套采用特殊绝缘材料，绝缘性和稳定性好；

11、s2、第一轴头和第二轴头与辊筒连接的绝缘套结构采用多环式结构，防止在镀膜室内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使第一轴头和第二轴头与辊筒导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷；

12、s3、第一轴头和第二轴头与辊筒连接的绝缘套采用内镶嵌式结构，防止在镀膜室内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使轴头与辊筒导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷；

13、s4、辊筒的滚轮装有氟橡胶o型圈，o型圈与基片直接传动接触同时起到第一道绝缘作用，o型圈采用氟橡胶耐温度达到300℃，摩擦性好。

14、本发明提供了一种新型真空设备用传动辊道。具备以下有益效果：

15、1、本发明通过传动辊道的轴头与辊筒通过绝缘套的连接，使轴头与辊筒起到绝缘；在通过销轴为使轴头与辊筒牢固固定，；绝缘套采用特殊绝缘材料，绝缘性和稳定性好。

16、2、本发明通过轴头与辊筒连接的绝缘套结构采用多环式结构和内镶嵌式结构，防止在镀膜室内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使轴头与辊筒导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷。

17、3、本发明通过辊筒的滚轮装有氟橡胶o型圈，o型圈与基片直接传动接触同时起到第一道绝缘作用，o型圈采用氟橡胶耐温度达到300℃，摩擦性好。

技术特征：

1.一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊(1)，其特征在于：所述传动辊(1)的外壁一端固定连接有辊筒(2)，所述辊筒(2)的外壁固定连接有上下对称的o型圈(4)，所述传动辊(1)的内部中心处设置与销轴(5)，所述辊筒(2)的内壁设置有第一绝缘套(6)。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第一绝缘套(6)的下表面一侧设置有第一轴头(7)，所述第一轴头(7)的下表面设置有第二绝缘套(8)。

3.根据权利要求2所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第二绝缘套(8)设置在辊筒(2)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述传动辊(1)的外壁另一端设置有第二轴头(10)。

5.根据权利要求1所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述辊筒(2)的内部开设有阻隔槽(9)。

6.根据权利要求2所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第二绝缘套(8)和第一绝缘套(6)均采用特殊绝缘材料。

7.根据权利要求2所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第一轴头(7)和第二轴头(10)的之间设置有传动辊(1)，所述第一绝缘套(6)和第二绝缘套(8)的之间设置有第二轴头(10)。

8.根据权利要求1所述的一种新型真空设备用传动辊道的使用方法，其特征在于，包括以下步骤；

技术总结
本发明提供一种新型真空设备用传动辊道，涉及镀膜技术应用领域。该新型真空设备用传动辊道，包括传动辊，所述传动辊的外壁一端固定连接有辊筒，所述辊筒的外壁固定连接有上下对称的O型圈，所述传动辊的内部中心处设置与销轴，所述辊筒的内壁设置有第一绝缘套，所述第一绝缘套的下表面一侧设置有第一轴头，所述第一轴头的下表面设置有第二绝缘套，所述第二绝缘套设置在辊筒的内部，所述传动辊的外壁另一端设置有第二轴头，所述辊筒的内部开设有阻隔槽。通过传动辊道的轴头与辊筒通过绝缘套的连接，使轴头与辊筒起到绝缘；在通过销轴为使轴头与辊筒牢固固定，绝缘套采用特殊绝缘材料，绝缘性和稳定性好。

技术研发人员：张俊峰,赵子东,张志阳,魏庆瑄
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/25