一种酸性蚀刻液循环利用装置的制作方法

1.本实用新型涉及酸性废液的再生与利用技术领域，尤其涉及一种酸性蚀刻液循环利用装置。


背景技术：

2.目前现有的酸性蚀刻设备采用的为双液型药水，即盐酸(hci)+双氧水(ho2)体系，该体系药水易产生大量氯气(c12t)，容易造成环境污染，且对人体有一定危害，因此，在当前环保政策下，亟需设计一种酸性蚀刻液循环利用装置来降低换环境污染。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种酸性蚀刻液循环利用装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种酸性蚀刻液循环利用装置，包括蚀刻机，所述蚀刻机的表面设置有溢流管道，所述溢流管道的输出端设置有引流管a，所述引流管a的一端连通有废液存储罐，所述废液存储罐的输出端装有引流管b，所述引流管b的一端连通有电解装置，所述电解装置的一端连通有再生液存储罐，所述再生液存储罐的一端连通有再生子液调配罐。
5.为了方便输送，本实用新型改进有，所述再生液存储罐和再生子液调配罐之间设置有引流管c，所述再生液存储罐和再生子液调配罐通过引流管c相连通。
6.为了避免溢出，本实用新型改进有，所述再生液存储罐和再生子液调配罐的容积相同。
7.为了保证电解效果，本实用新型改进有，所述电解装置包括电解循环槽、电解槽和泡铜槽，所述电解槽的内部以金属钛板为阴极，用隔离膜包裹，置于阳极槽内，使阴极槽与阳极槽分开，分别有管道连接阴极阳极循环槽和阳极循环槽。
8.为了保证分隔阴阳离子，本实用新型改进有，所述隔离膜的外部设置有栅栏式固定板，固定所述隔离膜和里面的金属钛板，用于隔开电解槽内的阴阳离子。
9.为了连通电解槽，本实用新型改进有，所述泡铜槽与电解槽里面的阴极槽相连通。
10.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
11.本实用新型中，通过电解装置以及再生子液调配罐可以对蚀刻药水进行回收再利用，提高了蚀刻药水的利用率，降低了环境污染，而通过废气处理步骤，可以通过液碱中和氯气，进一步降低了环境污染，实用性较高，进步性显著。
附图说明
12.图1为本实用新型提出一种酸性蚀刻液循环利用装置的示意图；
13.图2为本实用新型提出一种酸性蚀刻液循环利用装置中电解装置示意图；
14.图3为本实用新型提出一种酸性蚀刻液循环利用装置中栅栏式固定板放大图；
15.图4为本实用新型提出一种酸性蚀刻液循环利用装置中金属钛板放大图。
16.图例说明：
17.1、蚀刻机；2、溢流管道；3、引流管a；4、废液存储罐；5、引流管b；6、电解装置；601、电解循环槽；602、电解槽；603、泡铜槽；604、阴极阳极循环槽；605、阳极循环槽；607、栅栏式固定板；608、隔离膜；609、金属钛板；7、再生液存储罐；8、再生子液调配罐；9、引流管c。
具体实施方式
18.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
19.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
20.实施例一
21.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种酸性蚀刻液循环利用装置，包括蚀刻机1，蚀刻机1的表面设置有溢流管道2，溢流管道2的输出端设置有引流管a3，引流管a3的一端连通有废液存储罐4，废液存储罐4用来储存溢流管道2溢出的药水，废液存储罐4的输出端装有引流管b5，引流管b5的一端连通有电解装置6。
22.请参阅图2-4，电解装置6包括电解循环槽601、电解槽602和泡铜槽603，泡铜槽603与电解槽602里面的阴极槽相连通，电解槽602的内部以金属钛板609为阴极，用隔离膜608包裹，置于阳极槽内，使阴极槽与阳极槽分开，分别有管道连接阴极阳极循环槽604和阳极循环槽605，隔离膜608的外部设置有栅栏式固定板607，固定隔离膜608和里面的金属钛板609，用于隔开电解槽602内的阴阳离子，电解装置6的一端连通有再生液存储罐7，再生液存储罐7的一端连通有再生子液调配罐8，再生液存储罐7和再生子液调配罐8之间设置有引流管c9，再生液存储罐7和再生子液调配罐8通过引流管c9相连通，再生液存储罐7和再生子液调配罐8的容积相同，通过电解装置6以及再生子液调配罐8可以对蚀刻药水进行回收再利用，提高了蚀刻药水的利用率。
23.工作原理：通过电解装置6以及再生子液调配罐8可以对蚀刻药水进行回收再利用，提高了蚀刻药水的利用率，降低了环境污染，而通过废气处理步骤，可以通过液碱中和氯气，进一步降低了环境污染，实用性较高，进步性显著。
24.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。


技术特征：
1.一种酸性蚀刻液循环利用装置，包括蚀刻机(1)，其特征在于：所述蚀刻机(1)的表面设置有溢流管道(2)，所述溢流管道(2)的输出端设置有引流管a(3)，所述引流管a(3)的一端连通有废液存储罐(4)，所述废液存储罐(4)的输出端装有引流管b(5)，所述引流管b(5)的一端连通有电解装置(6)，所述电解装置(6)的一端连通有再生液存储罐(7)，所述再生液存储罐(7)的一端连通有再生子液调配罐(8)。2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环利用装置，其特征在于：所述再生液存储罐(7)和再生子液调配罐(8)之间设置有引流管c(9)，所述再生液存储罐(7)和再生子液调配罐(8)通过引流管c(9)相连通。3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环利用装置，其特征在于：所述再生液存储罐(7)和再生子液调配罐(8)的容积相同。4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环利用装置，其特征在于：所述电解装置(6)包括电解循环槽(601)、电解槽(602)和泡铜槽(603)，所述电解槽(602)的内部以金属钛板(609)为阴极，用隔离膜(608)包裹，置于阳极槽内，使阴极槽与阳极槽分开，分别有管道连接阴极阳极循环槽(604)和阳极循环槽(605)。5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液循环利用装置，其特征在于：所述隔离膜(608)的外部设置有栅栏式固定板(607)，固定所述隔离膜(608)和里面的金属钛板(609)，用于隔开电解槽(602)内的阴阳离子。6.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液循环利用装置，其特征在于：所述泡铜槽(603)与电解槽(602)里面的阴极槽相连通。

技术总结
本实用新型提供一种酸性蚀刻液循环利用装置，涉及酸性废液的再生与利用技术领域，包括蚀刻机，所述蚀刻机的表面设置有溢流管道，所述溢流管道的输出端设置有引流管A，所述引流管A的一端连通有废液存储罐，所述废液存储罐的输出端装有引流管B。本实用新型中，在蚀刻过程中，采用的为单液型药水体系，置换该体系药水后，蚀刻性能有所上升，同时很好的解决了氯气溢出的问题，生产车间环境得到极大改善，同时通过电解装置以及再生子液调配罐可以对蚀刻药水进行回收再利用，提高了蚀刻药水的利用率，降低了环境污染，而通过废气处理步骤，可以通过液碱中和氯气，进一步降低了环境污染，实用性较高，进步性显著。进步性显著。进步性显著。


技术研发人员：王显
受保护的技术使用者：领跃电子科技（珠海）有限公司
技术研发日：2022.03.24
技术公布日：2022/10/13